Service manual SiH4 硅烷 使用手册

漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 1 氣瓶櫃操作手冊氣瓶櫃操作手冊氣瓶櫃操作手冊 SiH4 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 2 1 1 入門篇 入門篇 1 11 1 特殊氣體的危害特殊氣體的危害 毒性 自燃性 可燃性 窒息性 腐蝕性 1 21 2 危害警告與注意事項危害警告與注意事項 高壓氣體的危害 鋼瓶處理時的危害 電力的傷害 供氣設備處周遭的安全設備 各類特殊氣體所使用的防護配備及設備 1 31 3 設備保養與維修設備保養與維修 系統 盤面閥件巡檢與維修 2 2 系統篇 系統篇 2 12 1 外觀型式外觀型式 CABINET 2 22 2 盤面流程圖盤面流程圖 CABINET 2 32 3 盤面閥件說明盤面閥件說明CABINETCABINET 盤面零組件包括氣動閥 壓力感測器 調壓閥 逆止閥 手動閥隔 離閥以及維護安全與潔淨的組件 2 42 4 控制器簡介控制器簡介 硬體簡介 3 3 功能篇 功能篇 3 13 1 系統功能介紹系統功能介紹 換裝鋼瓶 維修吹淨 手動操作 參數設定 作業紀錄 密碼設定 留言版 回首頁 換瓶程序 静音 供氣壓趨勢圖 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 3 壓力器與磅秤零值補正 4 4 操作篇 操作篇 4 14 1 操作程序說明操作程序說明 4 1 1 控制器的操作 4 1 2 換裝鋼瓶程序 4 1 3 維修吹淨程序 4 1 4 手動操作程序 4 1 5 系統參數設定 4 1 6 開始供氣模式 4 1 7 更換鋼瓶 4 24 2 查閱程序說明查閱程序說明 4 2 1 訊息顯示區 4 2 2 警報操作區 4 2 3 訊息留言版 4 2 4 密碼設定與感測器校正 5 5 附錄篇 附錄篇 緊急關閉程序 備註欄 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 4 1 1 入門篇 入門篇 1 11 1 特殊氣體的危害 特殊氣體的危害 所有人員必須研讀並了解特定使用氣體的物質安全資料表 MSDS 毒性氣體洩漏事件中 人員應避免吸入之可能 過量的吸入將造成死 亡 HCL HCL PH3PH3 SiH4SiH4 DCSDCS TCSTCS NH3 NH3 即屬此項中毒的徵兆 人體會有火燒的感覺 呼吸的抽搐 刺激性 咳嗽 自燃性氣體並不需要點火源就能燃燒起來 然而此類氣體濃度太低時 不會自燃 但會在氣流死角處逐漸累積 當累積至自燃下限值時才發 生瞬間起火燃燒爆炸 PH3 PH3 SiH4 SiH4 即屬此項 可燃性氣體洩漏事件中 適當換氣有助於降低燃燒性混合形成的可能 PH3 PH3 SiH4SiH4 DCSDCS TCSTCS NH3 NH3 即屬此項 高濃度的氮 氦或其他窒息性氣體可能造成局部氧氣不足的環境 而 這可能導致死亡 空氣中含氧量若低於19 5 的氧濃度 人員便有窒 息的可能 理想的氧濃度應介於19 5 23 之間 CHF3 CHF3 CF4 CF4 即屬 此項 窒息的徵兆 窒息的徵兆 呼吸的急促 嘔吐 行動困難 衰弱 脈搏異常 意識模糊 快速疲勞 腐蝕性氣體於外洩後因與空氣中的水氣產生化學反應而產生強烈的腐 蝕性 人員應防範氣體外洩導致灼傷或死亡的可能 HCL HCL DCSDCS TCSTCS NH3 NH3 即屬此項 以氣體洩漏偵測器持續監控 使特殊氣體外洩時 得以即時警告操作 人員 避免自燃性及腐蝕性氣體未經惰性氣體稀釋即排氣 操作氣瓶櫃或更換鋼瓶時 原則上應以二人協同作業 一人執行操作 另一人在旁確認並於意外狀況時進行通報與援助 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 5 1 21 2 危害警告與注意事項 危害警告與注意事項 高壓氣體的危害 高壓氣體管路可能傷害人員並毀壞設備 當管路處於 高壓狀態下 對於任何一組件或配件不可過度鎖緊或 放鬆 因而造成人員的傷害以及設備之損壞 鋼瓶處理時的危害 鋼瓶保護蓋若不易取下不可硬撬開保護蓋 可能會傷害鋼瓶閥造 成氣體的洩漏 促使人員得傷亡 不要抓住鋼瓶閥把手去滾動鋼瓶 這可能打開鋼瓶閥並造成高壓 氣體洩漏之危險 絕不可用另一種型式的氣瓶取代在氣櫃中特定型式的鋼瓶 不相 容的氣體可能導致火災 爆炸極度腐蝕或毒性混合 並可能造成 人員受傷或死亡 電力的傷害 本設備電源系統使用AC110V 60Hz 觸電可能造成人員受傷 或死亡 供氣設備處周遭的安全設備 氣體洩漏偵測系統 頭罩式呼吸空氣供應系統 緊急沖身洗眼設備 緊急醫療救護裝備 消防滅火設備 各類特殊氣體所使用的防護配備及設備 各類特殊氣體所使用的防護配備及設備 毒性氣體所使用的防護配備及設備 可攜式毒性氣體檢知器 全覆型自給式呼吸器 長袖耐火服 Nomex 週邊有遮蔽功能的安全眼鏡 防蝕手套 安全鞋 自燃性氣體所使用的防護配備及設備 可攜式自燃性氣體檢知器 全覆型自給式呼吸器 長袖耐火服 Nomex 防火面罩 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 6 週邊有遮蔽功能的安全眼鏡 防蝕手套 安全鞋 可燃性氣體所使用的防護配備及設備 可攜式可燃性氣體檢知器 全覆型自給式呼吸器 長袖耐火服 Nomex 防火面罩 週邊有遮蔽功能的安全眼鏡 防蝕手套 安全鞋 窒息性氣體所使用的防護配備及設備 週邊有遮蔽功能的安全眼鏡 防蝕手套 安全鞋 腐蝕性氣體所使用的防護配備及設備 可攜式腐蝕性氣體檢知器 全覆型自給式呼吸器 長袖耐火服 Nomex 防火面罩 週邊有遮蔽功能的安全眼鏡 防蝕手套 安全鞋 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 7 1 31 3 設備保養與維修 設備保養與維修 系統 盤面閥件巡檢與維修系統 盤面閥件巡檢與維修 項目項目工作工作頻率頻率 目視檢查損壞 洩漏或失效零件 每日 觀察氣瓶內部 有無任何腐蝕霧化或變色 的訊息 每日 系統系統 檢查系統各項內部設定值並檢討是否符合 生產需求 每次更換鋼瓶之前 氣動空氣調壓器氣動空氣調壓器 打開控制箱上蓋檢查氣動空氣調壓器的顯 示值 正常值約為4 5 5 KG CM2 每一個月 氣瓶櫃排氣網氣瓶櫃排氣網 檢查是否因吸附塵埃而阻塞 如有必要更 換或情況 每次更換鋼瓶之前 調壓閥調壓閥 觀察調壓過程中調壓閥的作用 假如壓力 變化不平順 移除並更換之 每次更換鋼瓶之前 鋼瓶接頭鋼瓶接頭 檢查鋼瓶接頭是否損壞 每次更換鋼瓶之前 檢查所有壓力感測器之零值偏移情形並予 以補正 每次更換鋼瓶之前 壓力感測器壓力感測器 檢查所有壓力感測器之壓力輸出線性並視 情況予以校正 每年 膜片閥膜片閥3 43 4 轉轉 觀察3 4 轉膜片閥在關的位置 是否能有 效關斷 腐蝕氣體每六個月 非腐蝕氣體每一年 過濾器過濾器 檢查過濾器塞住的訊號 並更換過濾器或 過濾器的填充物 它可能需要用隋性氣體 通過過濾器測量流量以確定過濾器是否塞 住 腐蝕氣體每六個月 非腐蝕氣體每一年 逆止閥逆止閥 關閉並完全吹淨整個系統 移除所有逆止 閥 測試逆止閥至製造商指定的洩漏率 修理或更換有缺點的逆止閥 腐蝕氣體每六個月 非腐蝕氣體每一年 過濾器過濾器移除並更換製程管路或吹淨管路的過濾器 如有需要 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 8 2 2 系統篇 系統篇 2 12 1 外觀型式 外觀型式 此設備用於 此設備用於 SiH4SiH4 氣體氣體 10 TFT 人機介面 安全玻璃視窗 循環風量調節孔及濾網 EMO 蜂鳴器狀態指示燈 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 9 2 22 2 盤面流程圖 盤面流程圖 此設備用於 此設備用於 SiH4SiH4 氣體氣體 配備 定溫破裂式灑水噴頭 Sprinkler 櫃體抽風差壓計 Diff Pressure Gauge 控製箱氮氣吹淨 Z Purge 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 10 2 32 3 盤面閥件說明 盤面閥件說明 PTL1 R 高壓端壓力傳送器 用以讀取高壓側的管線壓力值 並作為 鋼瓶剩餘壓力切換及警報偵測 PT2L R 低壓端壓力傳送器 用以讀取低壓側的管線壓力值 並作為 供氣壓力異常警報偵測 PTC 排放管線壓力傳送器 用以檢知排放管線內的壓力值 並於判 別真空抽引程度 以確保吹淨效果完整 ESVL R 緊急遮斷氣動閥 裝設於氣瓶連接管上用以阻斷氣體進入 供氣盤面 HPIL R 高壓隔離氣動閥 用以隔離高壓氣體進入調壓器 當調壓 器故障時 可以保護低壓端閥件不受高 壓損壞 PLIL R 低壓隔離氣動閥 用以隔離低壓端氣體進入供應主管線 並且作為左右側自動切換時的控制閥 HPVL R 高壓排放氣動閥 高壓側氣體排放閥 於Cycle Purge 時 控制加減壓程序 LPVL R 低壓排放氣動閥 低壓側氣體排放閥 於時控制加減壓程 序 LPP 氮氣供給氣動閥 於吹淨程序時 控制Purge N2進入管錄 用 HPP 氮氣吹淨氣動閥 於吹淨程序時 容許大流量的Purge N2 進行管路吹淨 PGIL R 高壓測漏氣動閥 於鋼瓶接頭高壓測漏時 導入高壓氮氣 或氦氣之隔離閥 MVL R 維修手動隔離閥 裝設於左側及右側管線出口處 當系統閥 件需要在線維修時 用以確保其與供氣 管線確實隔離之手動閥 VVS 吹淨管線氣動閥 用以控制吹淨氣體進入盤面之用 RL1 R 製程氣體調壓閥 用以調節製程氣體之供應壓力 VG 真空產生器 利用伯努利原理當GN2 高速流過狹窄通 道時所產生的局部真空效應 將系統內 的氣體抽出並排放 C3 4 V GN2 逆止閥 裝置於GN2 管線上 用以阻隔高壓排放 時倒灌入GN2 管線內 CL2 R 低壓排放逆止閥 裝置於低壓測排放閥後端 於另一側進 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 11 行高壓排放時 以阻斷高壓氣體逆向倒 灌 C6 P GN2 逆止閥 裝置於Purge N2 管線 阻隔高壓製程氣 體以及高壓測漏氣體倒灌進入Purge N2 之低壓管路系統 C5 高壓測漏逆止閥 裝置於高壓測漏氣體入口處 用以防止 高壓測漏氣體管路系統之意外污染及擴 散 LPB P N2 洩漏限流孔 在拆換鋼瓶時 允許一個小流量的P N2 從鋼瓶連接管吹出 避免大氣中的水氣 氧氣及塵埃進入管內 藉以增進氣體的 供應品質 VIV 低壓排放氣動閥 低壓側氣體排放閥 於時控制加減壓程序 CL1 R 高壓排放逆止閥 裝置於高壓測排放閥後端 於另一側進行 高壓排放時 以阻斷高壓氣體逆向倒灌 FL1 R 製程氣體過濾氣 製程氣體管路過濾器 過濾製程氣體的微 粒子雜質 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 12 2 42 4 控制器簡介 控制器簡介 硬體簡介 A 人機介面 作為人與控制器的控制與溝通介面 一方面可顯示系 統目前的狀況 同時亦可接受操作人員下達的指令 作為系統運 作的確認 B PLC 整體控制的處理中心 C 電磁閥 控制氣動閥的開閉 可依需求強制開啟電磁閥 D 緊急遮斷鈕 系統發生異常時按此鈕關閉盤面氣動閥 E LED 指示燈 以亮燈表示系統目前的狀態 系統正常 Normal 警示警報 Warning 停氣警報 Shutdown F 蜂鳴器 系統發生異常時警鳴 依警報得設定可分別傳出兩種不 同的警報音訊 G 紫 紅外線火燄感知器 當感測到火災發生時作動 將訊息傳至 PLC 處理 H 差壓設定開關 當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作 將訊息 傳至PLC 處理 設定範圍為20 Pa 200 Pa I 差壓計 顯示箱體與大氣壓之差壓 J 繼電器 依電路設計可作為控制或接點之輸出 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 13 3 3 功能篇 功能篇 3 13 1 系統功能介紹 系統功能介紹 換裝鋼瓶換裝鋼瓶 以自動流程以及人機介面訊息的告知 防止人為的疏忽 達 到管內的潔淨以利更換鋼瓶 維修吹淨維修吹淨 以自動流程以及人機介面訊息的告知 防止人為的疏忽 達 到管內的潔淨以利更換閥件或其他組件 手動操作手動操作 當系統異常時自動操作無法執行 即可採用手動模式強制閥 的開閉 註 唯對此系統深入瞭解人員方可操作 準備供氣準備供氣 調整系統在準備供氣狀態 參數設定參數設定 人性化的設計便於供氣壓的需求 含警報值設定 作業紀錄作業紀錄 紀錄系統每一動作 便於事後追蹤 密碼設定密碼設定 防止外界人員不當的操作而造成不必要的傷害 留言板留言板 便於操作人員對其他人員的告示 回首頁回首頁 回主畫面 換瓶程序換瓶程序 換裝鋼瓶程序顯示 静音静音 手動操作静音 保壓測漏保壓測漏 系統可自行針對管路保正壓的方式 偵測是否有洩漏情形 供氣壓趨勢圖供氣壓趨勢圖 以線性表示供氣壓力值 便於察看供氣穩定與否系統可 自行針對管路保正壓的方式 偵測是否有洩漏情形 壓力器與磅秤零值補正壓力器與磅秤零值補正 因壓力傳輸器與磅秤的零點對應值會隨著周遭 的各種因素而有所飄移 故以數值補正的方式校正顯示的壓 力 重量 值 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 14 4 4 操作篇 操作篇 4 14 1 操作程序說明 操作程序說明 4 1 1 控制器首頁 開機畫面 控制系統主畫面 出現開機畫面後數秒即可進入控制系統主畫面 如 下圖所示 動態流程圖顯示動態流程圖顯示模式設定模式設定 換裝鋼瓶換裝鋼瓶 維修吹淨維修吹淨 手動操作手動操作 準備供氣準備供氣 參數設定參數設定 作業紀錄作業紀錄 密碼設定密碼設定 留言版留言版 回首頁回首頁 換瓶程序換瓶程序 靜音靜音 說明說明 管路畫面中顯示系統管路之簡化圖 表示氣動閥處於開路狀態 表示氣動閥處於關閉狀態 上方英文數字表示閥之編號 表 示調壓閥 5 個方塊當中的數字顯示所處位置管路目前的壓力值 管 路呈動畫閃爍狀態者表示管路正處於通氣狀態 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 15 4 1 2換裝鋼瓶程序 製程氣體鋼瓶換裝之流程如下圖所示 在開啟特殊氣體氣瓶櫃時 請先確認系統無警告訊號產生 且由差壓計之 讀數確認抽氣系統是否運作正常 操作人員必須接受過本系統及本程序的訓 練 方可執行換鋼瓶程序 換裝鋼瓶之操作人員 請務必穿戴個人防護配備及設備 執行鋼瓶換裝程序時 操作人員需2 3人 2人在場時 一人操作 一人做 二次校核 若3人在場 另一人則為工安人員 換裝鋼瓶 輸入密碼 拆換新鋼瓶 負壓測漏 排除微塵 POST PURGE N2 保壓測漏 N2 高壓測漏 程序完成 選擇左 右鋼瓶 鋼瓶關斷檢測 直接供氣 或 備用供氣 鋼瓶關斷檢測 殘留氣體排除 PRE PURGE 充填製程氣體 PROCESS PURGE A N Y 充填純 度完成 A 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 16 自動操作程序 在自動吹淨模式下 系統將按照既定的程序 自動進 行完整的鋼瓶更換程序 並於適當時機在畫面上提示 必要的手動操作 例如開閉瓶頭閥及裝卸鋼瓶等 此 一自動程序為一貫作業流程 其主要程序如下 Pre PurgePre Purge 以氮氣置換管路內的特殊氣體 以達安全拆卸氣瓶的條件 CylinderCylinder ChangeChange 由畫面提示進行氣瓶更換動作 LeakLeak CheckCheck 以高壓氮氣進行鋼瓶接頭處的洩漏測試 After PurgeAfter Purge 以氮氣置換管路內空氣及水分 達安全導入特氣的條件 Gas PurgeGas Purge 以特氣置換管路內的氮氣 以達特氣供給的純度條件 A 換裝鋼瓶 當鋼瓶內氣體低於設定的下限時 系統自動切換至另一供氣管路供氣 而原送氣管路出現警告訊號 蜂鳴器作響 紅色燈號閃示 蜂鳴器的 響聲將於按之後停止 但未換裝鋼瓶前 黃色燈號持續 閃示 此時在操作選擇畫面選擇換裝鋼瓶操作模式 B 輸入 3 級密碼 按利用數字鍵輸入正確密碼即可進入操作模式 顯示換裝 鋼瓶畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 17 註 流程圖閥件說明 主管路區域 ESV L R 左 右側 警急遮斷氣動閥 HPI L R 左 右側 高壓隔離氣動閥 LPI L R 左 右側 低壓隔離氣動閥 排放管路區域 HPV L R 左 右側 高壓排放氣動閥 LPV L R 左 右側 低壓排放氣動閥 VVS 真空產生氣動閥 控制G N2 進氣驅動真空產生器 吹淨管路區域 PGI L R 左 右側 氮氣吹淨氣動閥 控制吹淨N2 進入主管路 HPP 高壓測漏氣動閥 控制高壓N2 進入吹淨管路 LPP 吹淨氮氣供給氣動閥 控制吹淨N2 進入吹淨管路 壓力感測器 PT1 L R 左 右側 鋼瓶端壓力值 一次側壓 PT2 L R 左 右側 輸出端壓力值 二次側壓 PTC 排放管路壓力值 開閥程序 由高壓側依序往低壓側開啟 關閥程序 由低壓側依序往高壓側關閉 C 選擇左 右鋼瓶 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 18 a 按回主畫面回到操作選擇畫面 b 輸入密碼按左瓶選擇或右瓶選擇鍵選擇左 右 鋼瓶 c 按重置則可重新選擇 按確定則繼續 下面步驟 d 依畫面指示操作後 按確定鍵則繼續下面步驟 顯示確定已關閉 鋼瓶閥 D 鋼瓶關斷檢測 a 按確定則進入換裝鋼瓶的自動程序 b 系統自動打開 VENT 抽氣管路 檢測 PTC1 之真空度是否達到預設 值 倘若時間內達不到預設之真度 系統將產生真空度不足之警 告 註註 若在警告下 PTC2 達到預設真空度 則警告消失 系統繼續作 業 c 依序進行鋼瓶關斷檢測試 1 1 鋼瓶關斷檢測試鋼瓶關斷檢測試 2 2 N N2 2保壓測試保壓測試 3 3 負壓測試負壓測試檢測中的步驟 d 若步驟執行中發生異常 則會跳至相對應的警報族群畫面 顯示 相對應的警報訊息 E 殘留氣體排除 PRE PURGE a 顯示殘留製程氣體排除中 的步驟 以安全為前題 將管路的高純 製程氣體 由 VENT 管路排出 b 殘留氣體排除作業前 系統會先檢測 PURGE N2壓力是否足夠 c 殘留氣體排放之方式如下 1 P N2 吹氣 3 秒 2 檢測壓力值 3 抽真空 3 秒 4 檢測真空值 5 P N2 吹氣抽真空同時進 行 5 秒 管內產生亂流 6 抽真空 5 秒後依序關畢 所有閥 7 P N2 微量吹氣使管內保 持正壓 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 19 註 本步驟結束時 管路中以 N2正壓靜置 d 若步驟執行中發生異常 則會跳至相對應的警報族群畫面 顯示 相對應的警報訊息 F 拆換新鋼瓶 a 顯示請著護具換鋼瓶後請確認 b 依指示完成換裝鋼瓶動作 c 按確定鍵則顯示再次確認已接妥瓶接頭 G 排除微塵 a 顯示排除微塵中 進行排除微塵步驟 POST PURGE 排除因換裝 鋼瓶 可能侵入的微塵 b 本盤面管路之設計 當換鋼瓶時 裸露之鋼瓶接頭口會有 3 5 SLPM 之 N2 流出以減低微塵侵入管路之可能性 c 本步驟開始之初 會先檢測 N2 壓力是否足夠 d 進行靜置 5 秒 抽氣 5 秒 吹氣 5 秒 顯示吹氣 5 秒 進行循環 步驟 以達到排除微塵目地 註註 如在操作過程當中 需要開啟箱體或防爆窗時 務必再次確認 差壓計之讀值正確 並穿戴個人防護配備作業 e 顯示 BIAS 1 檢測中 進行負壓壓差容許範圍測漏步驟 用負壓 檢測鋼瓶閥是否關斷 檢測時間及允許漂移壓力範圍 由使用者 自定 建議最大值 6PSIG 最小的值 3PSIG H 保壓測漏 a 顯示 N2保壓測漏 進行 N2保壓測漏步驟 N2之壓力大約介於 75 95PSIG 檢測時間於參數設定中設定 I N2 高壓測漏 a 顯示高壓測漏中 進行 N2 高壓測漏步驟 請注意高壓氮氣 其壓 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 20 力值必須 1 5 倍新的特殊氣體鋼瓶壓力 若壓力不足則更換另 一新 N2 瓶 原有之鋼瓶可移作 PURGE N2 之用 b 顯示檢測高壓 N2 壓力 進行 N2 高壓壓力檢測步驟 c 顯示通過檢測高壓 N2 靜置 20 秒 進行 N2 高壓靜置 20 秒檢測 步驟 d 顯示排除高壓 N2 進行 N2 高壓靜置 20 秒檢測步驟 J 負壓測漏 a 顯示負壓測漏中 進行負壓測漏步驟 負壓測漏前 必須先將管路 之污染氣體排至 VENT b 啟動抽氣管路 用負壓檢測鋼瓶接頭之洩漏 K 充填製程氣體 a 在換裝鋼瓶狀態圖中顯示純化製程氣體進行充填製程氣體步驟 PROCESS PURGE b 顯示請打開鋼瓶閥打開後請確認 按確定鍵 c 顯示請關閉鋼瓶閥關閉後請確認 按確定鍵 L 鋼瓶關斷撿測 a 顯示鋼瓶關斷撿檢測進行鋼瓶關斷檢測步驟 M 充填純度完成 a 充填製程氣體是依據系統參數設定的數值 反覆循環執行 直到 完成設定次數才進行下面步驟 N 程序完成 a 顯示完成換裝鋼瓶程序請開鋼瓶 按確定鍵 b 進入準備供氣模式的狀態圖 O 直接供氣或備用供氣 a 此時自動檢查另一管路狀態 若另一管路正在供氣中 則顯示另 管路正在供氣中 請按回主畫面 b 跳回主畫面狀態圖 顯示該瓶備用 c 若另一管路非正在供氣中 顯示供氣 註註 請確實依照人機介面上的指示操作 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 21 4 1 3 維修吹淨模式 維修吹淨模式之流程如下所示 A 維修吹淨 a 當管路有問題 欲執行檢修或更換零件 必須先將管路中殘存製 程氣體排除乾淨 才可進行檢修或更換作業 b 此時在操作選擇畫面選擇維修吹淨操作模式 維修吹淨 輸入 3 級密碼 選擇左右鋼瓶 鋼瓶關斷檢測 盤面吹淨 程序完成 可進入 換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 22 B 輸入 3 級密碼 a 利用數字鍵輸入正確密碼即可進入操作模式 顯示維修吹淨畫面 C 選擇左右鋼瓶 a 按回主畫面鍵回到主畫面 b 按左瓶選擇或右瓶選擇鍵選擇左 右 鋼瓶 D 盤面吹淨 a 按重置鍵則可重新選擇 按確定鍵則繼續下面步驟 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 23 b 依畫面指示操作後 按確定鍵則繼續下面步驟 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 24 E 鋼瓶關斷檢測 a 顯示確定已關閉鋼瓶閥 b 按確定鍵則進入換裝鋼瓶的自動程序 c 依序進行鋼瓶關斷檢測試 1 1 鋼瓶關斷檢測試鋼瓶關斷檢測試 2 BIAS 3 N 2 BIAS 3 N2 2壓力檢測壓力檢測 中 殘留製程氣體排除中中 殘留製程氣體排除中的步驟 d 若步驟執行中發生異常 則會跳至相對應的警報族群畫面 顯示相 對應的警報訊息 e 顯示殘留製程氣體排除中 依自動程序完成步驟 f 顯示請關閉管路隔絕閥 依指示完成步動作 按確定鍵 F 程序完成 a 顯示完成維修吹淨 G 可進入換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 a 按回主畫面鍵 則跳回主畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 25 4 1 4手動操作模式 手動操作模式之流程如下 唯資深之操作人員 並對本系統熟悉者 才可以使用手動模式操作 手動模 式不可作為供氣模式 手動模式開始前 請務必確認鋼瓶閥已關斷 手動模式操作時 可能會發生如下的危險導致人員的傷害 高壓製程氣體可能倒灌至PURGE N2管路 高壓製程氣體可能直接從一次側排放到VENT管路 引起危險 若在SiH4氣瓶櫃操作本程序 請先打開BURN BOX之CDA進氣閥 以及稀釋用 N2進氣閥 以確保安全 當管路中有高壓製程氣體時 此高純製程氣體第一次不可以由高壓側排放至 抽氣管路 以免發生危險 當管中有高壓高純製程氣體時 首次之排放務必 由低壓側排出 手動操作管路的一般操作規範如下 開閥的順序 正壓時 由高壓側 鋼瓶側 順次往低壓側開啟 抽真空時 則由真空 產生器之負壓側逐漸往鋼瓶方向開啟 關閥的順與前述相反 經常檢視管路中的壓力狀態 在開啟或關閉閥件之前 請先考慮所有可能的結果 手動模式操作 手動模式 輸入 2 級密碼 選擇左右鋼瓶 可進入 換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 26 A 手動模式 a 當 PLC 無法自動執行換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式時 或欲對單 獨區域執行操作時 可選擇手動操作模式 以手動方式開關氣動 閥 b b 此時在操作選擇畫面選擇鍵進行手動操作模式 B 輸入 2 級密碼 a 按 利用數字鍵輸入正確密碼即可進入操作模式 顯示手動操作畫面 C 選擇左右鋼瓶或雙邊 a 按選擇左瓶或右瓶選擇鍵或雙邊選擇左 右 鋼瓶 D 手動模式操作 a 按確定進入手動模式 b 依畫面指示操作後 按確定鍵 c 按各氣動閥鍵即可控制該氣動閥之開關動作 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 27 若選擇左側鋼瓶 則祇可控制左鋼瓶氣動閥的開關動 若選擇右側鋼瓶 則祇可控制右鋼瓶氣動閥的開關動作 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 28 若選擇雙邊則可控制兩邊氣閥 註註 欲回操作選擇畫面前 務必依畫面指示 結束手動操作務必關閉閥件 F 可進入換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 a 按回主畫面操作選擇畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 29 4 1 5系統參數設定 於主畫面按即可進入參數設定模式 參數設定模式之流程如下所示 A 參數設定 a 為使系統運轉更能符合使用者的期望 提供系統參數設定模式 由 使用者依期望值設定系統運轉參數 B 輸入 3 級密碼 a 按利用數字鍵輸入正確密碼即可進入操作模式 顯示 系統參數畫面 如為自動切換缸 自動切換鍵 需設定為 ON b D I 接點狀況可外接警報 記住線路接上端子台後 需將無點選 為有 參數設定 輸入 1 級密碼 設定參數 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 30 C 設定參數 a 直接按欲設定之參數項目 進入系統參數之一畫面 按鈕下沉或 功能狀態 利用數字鍵輸入數值 按 ENT 即輸入完成 b 按下頁鍵進入系統參數之二畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 31 c 按下頁鍵進入系統參數之三畫面 d 按下頁鍵進入參數設定四畫面 按上頁鍵回系統參數之三畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 32 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 33 警報值及操作參數設定 註註 此畫面用以設定系統之主要操作參數 各項參數功能如下 L Low Quantity PT1L PT1R L 鋼瓶殘壓切換值設定 L Delivery Pressure Over PT2L PT2R HH 供氣壓力上限值設定 L Delivery Pressure Low PT2L PT2R L 供氣壓力下限值設定 L Low Quantity Weight LC1L LC1R L 液態殘重切換值設定 L Emptily Alarm Weight LC1L LC1R LL 液態殘重下限警報值設 定 R Low Quantity PT1L PT1R L 鋼瓶殘壓切換值設定 R Delivery Pressure Over PT2L PT2R HH 供氣壓力上限值設定 R Delivery Pressure Low PT2L PT2R L 供氣壓力下限值設定 R Low Quantity Weight LC1L LC1R L 液態殘重切換值設定 R Emptily Alarm Weight LC1L LC1R LL 液態殘重下限警報值設 定 Vent Line Pressure Over PT3 HH 排放管路壓力過高上限值 Purge N2 Pressure Over PT4 H 吹淨氮氣壓力過高上限值 Purge N2 Low Quantity PT1N L 吹淨氮氣鋼瓶殘壓下限值 Purge N2 Pressure Over PT2N HH 吹淨氮氣供應壓力上限值 D PT WT 之校正 於參數設定模式中 選擇或即可 E 可進入換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 a 按回主畫面則可跳回主畫面畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 34 b 按欲進入之選擇模式項目 即可直接跳至該畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 35 各參數及建議值 預設 如下所示 各參數及建議值 預設 如下所示 第一頁 項項 目目參參 考考 設設 定定 值值備備 註註 密碼設定 LEVEL 1 111 密碼設定鍵 密碼設定 LEVEL 2 222 密碼設定鍵 密碼設定 LEVEL 3 333 密碼設定 左過流量檢測開關有 無 警報自動偵測模式為有 右過流量檢測開關有 無 警報自動偵測模式為有 氣動閥低壓力有 無 可設定有 另有壓力開 關目前設定值 5 5Kg cm2 主管路警告延遲2 秒過流量檢測延遲時間 排氣管路警告延遲2 秒過流量檢測延遲時間 左一次側真空度設定 8 Psig 鋼瓶與調壓閥間之管路 右一次側真空度設定 8 Psig 鋼瓶與調壓閥間之管路 左二次側真空度設定 8 Psig 調壓閥後段之管路 右二次側真空度設定 8 Psig 調壓閥後段之管路 VENT 真空度設定 10 Psig 抽氣口真空度 PRE PURGE 週期數20 次 POST PURGE 週期數10 次 PROC PURGE 週期數5 次 檢查鋼瓶關閉 閥開次數 2 次 第二頁 參參 考考 設設 定定 值值項項 目目 左側左側右側右側 備備 註註 鋼瓶最低壓力 100 Psig100 Psig 輸送壓力過低 30 Psig30 Psig 輸送壓力過高 80 Psig80 Psig PURGE N2最低 65 Psig65 Psig Vent 測漏檢測時間 20 Sec N2壓力檢測時間 10 Sec N2保壓測漏時間 600 Sec 左高壓氮氣壓力 1000 Psig 右高壓氮氣壓力 1000 Psig 有 無有 無 有無 有有無 無有 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 36 註 氣動閥壽命次數設定 30 000 次 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 37 4 1 6 開始供氣模式 開始供氣模式之流程如下 A 開始供氣 a 換裝鋼瓶程序的最後步驟即是進入準備供氣的畫面 但為使用者 方便 在停電或緊急停止 復電後 只要管路正常 沒有洩漏 為節省執行換裝鋼瓶程序的時間 可以立即進入開始供氣模式供 氣 開始送氣 輸入密碼 停止供氣 無法回復成為供氣或 備用狀態 瓶關斷檢測 開始供氣 備用供氣 停電或暫停供氣 換裝鋼瓶程序 完成且未再經 維修吹淨 或手動模式 No Yes 重新執行 維修吹淨或 換裝鋼瓶模式 或手動模式 No Yes 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 38 B 輸入 1 級密碼 a 利用數字鍵輸入正確密碼即可進入操作模式 顯示準備供氣畫面 C 換裝鋼瓶程序完成且未再經維修吹淨或手動模式 a 祇要是換裝鋼瓶程序完成且未再經維修吹淨或手動模式就可進入 準備供氣畫面 供選擇停用鍵 按下後備用供氣 備用供氣 再按下後 則開始供氣開始供氣 b 若是換裝鋼瓶程序完成又再經維修吹淨或手動模式就進入停止供 氣程序 必須再重新經換裝鋼瓶程序才可進入準備供氣的畫面 D 開始供氣 備用供氣 a 顯示開始供氣 則按開始供氣鍵 b 即可進入開始供氣狀態 c 若顯示另管路正在供氣中 請按操作選擇 即進入備用供氣狀態 自動切換功能情況下 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 39 E 停電或暫停供氣 a 發生停電現象 待恢復供電時 程式無法記憶停電前左右鋼瓶狀 態 F 重新執行維修吹淨或換裝鋼瓶模式或手動模式 a 由使用者依據管路狀況 決定是否重新執行維修吹淨或換裝鋼瓶 模式或手動模式 b 選擇不須重新執行維修吹淨或換裝鋼瓶模式或手動模式 則可選 擇開始供氣或備用供氣 c 選擇須重新執行維修吹淨或換裝鋼瓶模式或手動模式 則停止供 氣 G 停止供氣 可回復成為供氣或備用狀態 a 停止供氣 可回復成為供氣或備用狀態 H 可進入換裝鋼瓶模式 維修吹淨模式 手動模式 參數設定 a 按操作選擇鍵則可跳回操作選擇畫面 b 按欲進入之選擇模式項目 即可直接跳至該畫面 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 40 4 1 7 更換鋼瓶 註註 請著個人防護配備及設備操作 A 移除舊鋼瓶 a 確認人機界面上的指示 b 再確認差壓正確 以確保箱體抽風口有足夠的抽風量 c 打開防爆窗 d 再次確認鋼瓶閥確實關斷 註註 請勿用扳手或其他輔助工具來鎖緊鋼瓶閥 因鋼瓶中仍有殘 留之氣體 過度的扭力可能會損壞鋼瓶閥 導致危險 e 鬆離鋼瓶接頭並適當支持此引管 Pigtail 以免使引管和盤面啣 接之 VCR 接頭鬆動 造成洩漏的危險 f 將拆下之鋼瓶接頭的保護栓 蓋旋上 註註 引管 Pigtail 上的鋼瓶接頭保護栓 蓋 所有的毒性 腐蝕性 易燃 自燃性氣體都需使用之 g 打開氣瓶櫃門 h 稍微鬆開鋼瓶固定帶 但切勿於此時完全解開 i 將鋼瓶保護蓋旋上 j 解開固定帶 並移出鋼瓶 k 3 9 1 11 將移出的鋼瓶置於搬運車上 繫好固定帶 並將 殘氣 鋼瓶 之標籤貼上 再把鋼瓶移至適當的儲放區安置 B 安裝新鋼瓶 a 確認新的鋼瓶 其內裝氣體與氣瓶櫃或盤面上的氣體相同 並注 意鋼瓶接頭型式是否與先前拆下的相同 註註 切勿嘗試於同一管路中換裝他種氣體鋼瓶 因為不相容的 氣體可能引起火災 爆炸 嚴重的腐蝕 或產生毒性化合物 b 將新鋼瓶移入氣瓶櫃當中 繫上固定帶 先不繫緊 旋出鋼瓶閥 保護蓋 註註 倘若鋼瓶閥保護蓋很難旋出 請勿過度施力去移除 將此 鋼瓶移出不用 並貼上標籤註明問題 改用另一新鋼瓶 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERNATIONAL CORPORATION 氣瓶櫃操作手冊 41 c 檢查鋼瓶閥是否旋緊 d 緩慢將鋼瓶閥口之保護栓 蓋 仔細傾聽及觀察 是否有任何洩漏 的訊息 如有 馬上將保護栓 蓋迅速旋上 關閉氣瓶櫃 並將附 近人員驅散 請依照工廠之安全規範執行之 此洩漏的鋼瓶必須 退回給供應商 不能再使用 e 檢討鋼瓶閥口是否有任何污垢或損壞 如有 請勿使用 將此鋼 瓶用標籤標註問題 並換裝另一新鋼瓶 f 將鋼瓶閥口與鋼瓶接頭對齊 然後將固定帶繫緊 註註 嚴禁握著鋼瓶閥之把手旋轉鋼瓶 因為如此的操作很可能 誤開鋼瓶 引起高壓氣體或有害氣體洩漏 而導致操作人員 的傷亡 g 移除鋼瓶接頭的保護栓 蓋 h 在鋼瓶接頭內裝上新的墊圈 i 連結引管之鋼瓶接頭與鋼瓶閥口 注意螺牙是正螺牙或反螺牙 j 使用扳手鎖緊 請勿施加過度的扭力 建議最大扭力為 35lb ft 漢科系統科技股份有限公司 WHOLETECH INTERN