02.工程分析专项

江苏纳沛斯半导体有限公司江苏纳沛斯半导体有限公司 晶圆级芯片封装技术改造项目晶圆级芯片封装技术改造项目 工程分析专项工程分析专项 江苏纳沛斯半导体有限公司江苏纳沛斯半导体有限公司 2020 年年 3 月月 目目 录录 1 项目概况项目概况 3 1 1 项目名称 地点 性质 及投资 3 1 2 平面布置及周边概况 3 2 现有项目工程分析现有项目工程分析 5 2 1 现有项目主要产品环评手续 5 2 2 现有项目公辅工程 5 2 3 现有项目工艺流程及主要污染物排放状况 6 2 4 现有项目卫生防护距离设置情况 6 2 5 现有项目环境风险防范体系建设 6 2 6 现有项目环评批复及验收意见执行情况 7 2 7 现有项目存在的问题及解决方案 7 3 拟建项目建设内容拟建项目建设内容 8 3 1 产品方案 8 3 2 项目组成 9 3 3 项目主要原辅材料 燃料动力消耗 16 3 5 项目主要生产设备 21 3 6 拟建项目工艺流程简述 24 3 7 晶圆凸块的生产工艺 25 3 8PKG 封装生产工艺 31 3 9 晶圆检测生产工艺 33 4 物料平衡及元素平衡物料平衡及元素平衡 34 4 1 物料平衡 34 4 2 元素平衡 48 5 水量平衡水量平衡 52 6 污染源强分析污染源强分析 55 6 1 废水污染源 55 6 2 废气污染源 60 6 3 固体废弃物 66 6 4 噪声污染源 69 6 5 非正常情况下污染物的产生与排放状况 70 7 项目污染物排放项目污染物排放 三本帐三本帐 71 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 3 1 项目概况项目概况 1 1 项目名称 地点 性质 及投资项目名称 地点 性质 及投资 项目名称 晶圆级芯片封装技术改造项目 建设地点 江苏淮安市淮安工业园区发展大道以北 昆仑路以东 建设单位 江苏纳沛斯半导体有限公司 项目性质 改建 行业类别 C3979 其他电子器件制造 项目投资 本项目总投资 1 1 亿美元 其中一期改建项目投资 1 千万美元 二期扩建项目投资 1 亿美元 一期工程环保设施依托现有 二期新增环保投资 为 205 万元 占总投资的 0 28 建设规模及内容 企业原有项目一期工程建设规模为年产 12 吋晶圆凸块 3 万张和 8 吋晶圆凸块 12 4 万张 PKG 封装 2 28 亿颗 晶圆检测 1 2 亿张 年 本项目一期内容对原有项目进行改建 改建后的规模为年产 12 吋晶圆凸块 2 4 万张和 8 吋晶圆凸 28 8 万张 PKG 封装 2 28 亿颗 配套提供 21 6 万张 年的晶 圆检测服务 预计从 2020 年 3 月开始施工 2020 年 11 月投入生产 本项目二 期在现有厂区东侧空地进行扩建 扩建规模为年产 12 吋和 8 吋晶圆凸块 51 6 万张 PKG 封装 30 72 亿颗 晶圆检测 14 4 万张 预计从 2021 年 3 月开始施 工 2022 年 3 月投入生产 本项目建成后后全厂可形成年产 12 吋和 8 吋晶圆 凸块共 82 8 万张 PKG 封装共 33 亿颗 晶圆检测 36 万张的生产能力 职工人数 本项目共需要员工 900 人 一期工程在现有基础上增至 450 人 二期工程再新增员工 450 人 工作制度 年工作时间 330 天 生产班制为三班四运转的生产方式 年工 作 7920 小时 1 2 平面布置平面布置及周边概况及周边概况 1 2 1 厂房平面布置厂房平面布置 本项目位于江苏淮安市淮安工业园区发展大道以北 昆仑路以东 厂区地 块呈矩形 面积为 66667 平方米 约合 100 亩 一期工程位于厂区西侧 占地 约 50 亩 厂区出入口设置发展大道一侧 项目生产车间布置在厂区的北部 公 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 4 用辅助设施布置在厂区西侧 主要为厂区变配电 污水处理站 化学品库 危 险品库等设施 原项目的办公楼及食堂不再建设 办公生活区域企业另行解决 本项目不再讨论 二期工程位于厂区东侧 现为空地 二期厂区布置与一期相 似 呈对称分布 详见厂区平面布置图 附图 7 全厂区各建筑周围及厂界 处均设置绿化系统 既美化厂区环境 又有一定的降噪效果等 总体来说 江 苏纳沛斯半导体有限公司厂区平面布局紧凑 1 2 2 项目周边概况项目周边概况 项目位于江苏淮安工业园区 厂区西邻昆仑路 南邻发展大道 北邻智能 制造产业园 本项目位于淮安工业园区 项目周边以工业企业主 距离本项目 最近的环境敏感目标为东南方约 680 米的朱桥花园 建设项目周围环境概况图 见附图 6 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 5 2 现有项目工程分析现有项目工程分析 2 1 现有项目主要产品环评手续现有项目主要产品环评手续 江苏纳沛斯半导体有限公司于 2014 年 6 月注册成立 江苏纳沛斯半导体有 限公司晶圆片级芯片封装项目由 2014 年 6 月经淮发改投资备 2014 13 号文 予以立项备案 2015 年 8 月 25 日由淮安市环保局以淮环发 2015 254 号文予以 批复 2015 年 10 月企业补充了 江苏纳沛斯半导体晶圆片级芯片封装项目一 期项目废水排放体系环境影响补充报告 2018 年 1 月又补充了 江苏纳沛斯 半导体有限公司晶圆片级芯片封装项目一期项目变动环境影响分析 2018 年 4 月 28 日 项目一期建设项目通过淮安市环境保护局工业园区分局组织的竣工 环境保护验收 原有项目产品方案及环评手续履行情况汇总表见报告表 1 7 1 8 2 2 现有项目公辅工程现有项目公辅工程 现有项目建设内容组成见表 2 1 表表 2 1 现有项目公辅工程一览表现有项目公辅工程一览表 序号工程类别现有情况备注 1 主体 工程 生产车间 车间长 96 米 宽 72 米 占地面积 6912 平方米 建 筑面积 6912 平方米 其中 12 吋晶圆凸块制造占地面 积 1720 平方米 8 吋晶圆制造车间占地面积 1720 平 方米 COF 封装占地面积 1376 平方米 晶圆检测占 地面积 1376 平方米 为项目一期生产厂房 二 三期均未建设 给水系统 由城南水厂供水 接入自来水管直径不小于 DN300 接入设计容量不小于 100m3 h 供水水压为 0 3MPa 纯水系统 纯水站一座 主要用于生产线清洗及配液 冷却塔2 台方型逆流式冷却水塔在厂房楼顶室外 给排 水系 统 排水系统 1 生活污水经化粪池处理后接管淮安市第三污水 处理厂 2 冷却塔循环系统和纯水制备 RO 反渗 透排放的清净下水以及雨水部分用于厂区绿化及冲厕 其余清净下水排水管道排入雨水管网 3 各类生 产废水经厂区预处理后分别通过各自管网排放入淮安 市第三污水处理厂 电镀废水暂未建设中水回 用装置 供热系统 由于园区供热不稳定 本项目原有两台 3t h 燃气锅炉 燃料是天然气 其中一台将在项目建成后拆除 另外 一台予以保留备用 2 公用 工程 供电系统依托工业园区电网 化学品仓库设置于厂区西侧 占地面积及建筑面积为 336m2 3 储运 工程氧气储罐47 升储罐 4 个 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 6 氮气储罐制氮机一台 二氧化碳储罐直接供货 无需储存 氩气储罐47 升储罐 3 个 最大储存量 运输 工厂的运输以陆路公路交通运输为主 厂内的运输采 用叉车及人力手推车运送 废气处理系统 现有 6 套废气净化设施 其中含氰废气吸收塔 1 套 活性炭吸附装置 3 套 酸性废气吸收塔 2 套 废气经处理后经 5 根排气 筒达标排放 废水处理系统 本项目现有污水处理站一座 污水处理站设置一般清 洗废水预处理系统 含镍废水废水处理系统 含铜废 水废水处理系统 含银废水废水处理系统 含氰废水 废水处理系统等 生活污水沿用现有化粪池处理 4 环保 工程 固废处理系统 固废仓库约 250 平方米 分隔出三间危险废物仓库和 一间一般固废仓库 底部采用整体砼基础及防渗处理 一般固体废物和危险固废分区存放 2 3 现有项目工艺流程及主要污染物排放状况现有项目工艺流程及主要污染物排放状况 现有项目工艺流程及主要污染物排放状况见报告表 P10 23 2 4 现有项目卫生防护距离设置情况现有项目卫生防护距离设置情况 根据现有项目环评报告及批复等相关资料 现有项目以厂界为边界设置 100m 卫生防护距离 目前卫生防护距离内无环境敏感目标 2 5 现有项目环境风险防范体系建设现有项目环境风险防范体系建设 为健全江苏纳沛斯半导体有限公司环境污染事件应急机制 指导和规范突 发性环境污染应急处理工作 提高企业环境保护方面人员的应急反应能力 有 效预防 及时控制和消除突发性环境污染事件的危害 最大限度的保障人民群 众的身体健康和生命安全 江苏纳沛斯半导体有限公司已编制了环境应急预案 并备案 企业根据厂区危险化学品的使用 储存情况 以及可能存在发生中毒 人员受伤事故 针对这些复发性事故 按照 预防为主 自救为主 统一指挥 分工负责 的原则 成立了应急指挥机构 应急指挥机构下避难引导班组 防 护组 抢救组 救护组 企业建立预防与预警体系 形成信息报告与通报制度 建立分级响应机制 制定企业应急监测方案 规定了应急终止的条件和应急终止后的行动 根据环境事件应急预案 企业定期组织培训和演练 针对应急救援小组进 行专业培训 对企业员工进行环境应急基本知识培训 企业规定了演练的内容 方式 范围 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 7 2 6 现有项目环评批复及验收意见执行情况现有项目环评批复及验收意见执行情况 根据现有项目已建工程验收合格通知书 现有项目已建工程均已按照项目 环保批复要求建成 2 7 现有项目存在的问题及解决方案现有项目存在的问题及解决方案 经调查 现有已建项目自投产以来 生产和环保工作正常 没有出现重大 环保事故 没有发生群众环保纠纷 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 8 3 拟建项目建设内容拟建项目建设内容 3 1 产品方案产品方案 1 产品方案 本项目对原项目一期工程进行调整 进行技术改造 工艺及产品保持不变 仅产能发生变化 并取消原项目二期及三期工程 本项目一期改建后的规模为 年产 12 吋晶圆凸块 2 4 万张和 8 吋晶圆凸 28 8 万张 PKG 封装 2 28 亿颗 配 套提供 21 6 万张 年的晶圆检测服务 预计从 2020 年 3 月开始施工 2020 年 11 月投入生产 本项目二期在现有厂区东侧空地进行扩建 二期项目新增 12 吋 Gold 凸块生产线 其余生产工艺与一期相同 扩建规模为年产 12 吋和 8 吋晶 圆凸块 51 6 万张 PKG 封装 30 72 亿颗 晶圆检测 14 4 万张 预计从 2021 年 3 月开始施工 2022 年 3 月投入生产 本项目建成后后全厂可形成年产 12 吋和 8 吋晶圆凸块共 82 8 万张 PKG 封装共 33 亿颗 晶圆检测 36 万张的生产能力 各类产品产品方案见表 3 1 表表 3 1 本项目产品方案一览表本项目产品方案一览表 改建项目 扩建项 目 序号 工程名称 车间 生 产装置或生 产线 产品名称及规格单位 原项目 一期 增减量 二期 全厂合 计 年运行 时数 h 1 12 吋 Gold 凸块万张 年0003 63 67920 2 12 吋晶圆 凸块制造 12 吋 WLP万张 年32 4 0 64 87 27920 3 8 吋 Gold 凸块万张 年926 4 17 421 6487920 4 8 吋晶圆凸 块制造 8 吋 WLP万张 年3 42 4 2 421 6247920 5 COG 封装百万颗 年180240025807920 6 PKG 封装 COF 封装百万颗 年 40 48 188 6727207920 7 晶圆检测8 吋万张 年120021 6 1178 4 14 4367920 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 9 图图 3 1 晶圆凸块产品示意图晶圆凸块产品示意图 图图 3 2 封装产品示意图封装产品示意图 3 2 项目组成项目组成 项目由主体工程 辅助工程 储运工程 环保工程等组成 本项目各工程 的主要建设内容见表 3 2 一二期相互依托关系见表 3 3 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 10 表表 3 3 本项目组成一览表本项目组成一览表 序号工程类别设计情况备注 1 厂房 已建 车间长 96 米 宽 72 米 厂房占地面积 11231 平 方米 建筑面积 11231 平方米 生产车间占地 6912 平方米 为项目一期生产厂房 为单层框架结构 布置晶圆凸块生产线 PKG 封装生产线 晶圆检测生产线 楼顶设施废气净化设施等 1 主体 工程 生产车 间 2 厂房 拟建 车间长 96 米 宽 72 米 厂房占地面积 11231 平 方米 建筑面积 11231 平方米 生产车间占地 6912 平方米 为项目二期生产厂房 为单层框架结构 布置晶圆凸块生产线 楼顶设施废气净化设施等 给水系统 本项目一期和二期新鲜水日用量分别为 180619m 3 a 和 768905m3 a 总计新鲜水日用量 949524m3 a 本项目由城南水厂供水 接入自来水管直径不小于 DN300 接 入设计容量不小于 100m3 h 供水水压为 0 3MPa 纯水系统 本项目纯水总用量为 465337m3 a 其中一期和 二期用量分别为 85597m3 a 和 379740m3 a 分别建设纯水站 一期和二期纯水设备设计能力均为 20m3 h 主 要用于生产线清洗及配液 冷却塔设有 4 台方型逆流式冷却水塔 每期各两台 均设置在厂房楼顶室外 给排水 系统 排水系统 厂区内排水按照 清污分流 雨污分流 分质处 理 回水利用 的原则设计 设有生产废水 生 活污水 清净下水三套管网 本项目一 二期排 入污水处理厂的废水量分别为 84860m3 a 和 349591m3 a 厂区内污水排水采用管道收集 1 生活污水经化粪池处理后接管淮安市第三污水处理厂 2 冷却塔循环系统和纯水制备 RO 反渗透排放的清净下水以 及雨水部分用于厂区绿化及冲厕 其余清净下水排水管道排入雨 水管网 3 各类生产废水经厂区预处理后分别通过各自管网 排放入淮安市第三污水处理厂 供热系统 本项目蒸汽总用量为 12000t a 其中一期用量约 为 4500t a 二期用量约为 7500t a 由于园区供热不稳定 本项目原有两台 3t h 燃气锅炉 燃料是天 然气 其中一台将在项目建成后拆除 另外一台予以保留备用 2 公用 工程 供电系统全厂年用电量约 2500 万 kW h 依托工业园区电网 原材仓库 项目原辅材料库房设置于生产厂房东侧 面积约 600 平方米 3 储运 工程 成品仓库 项目成品仓库位于设置于生产厂房东侧 面积约 600 平方米 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 11 化学品仓库 设置于厂区西侧 占地面积及建筑面积为 336m2 项目液体化学品采用桶装 分区隔离储存 固体化学品采用原出 厂包装储存 氧气储罐47 升储罐 4 个 氮气储罐一期和二期分别设置制氮机一台 二氧化碳储罐直接供货 无需储存 氩气储罐47 升储罐 3 个 最大储存量 运输 工厂的运输以陆路公路交通运输为主 厂内的运 输采用叉车及人力手推车运送 废气处理系统 本项目全厂共设置 11 套废气净化设施 其中含 氰废气吸收塔 2 套 活性炭吸附装置 5 套 酸性 废气吸收塔 4 套 废气经处理后经 9 根排气筒达标排放 废水处理系统 本项目现有污水处理站一座 污水处理站设置一 般清洗废水预处理系统 含镍废水废水处理系统 含铜废水废水处理系统 含银废水废水处理系统 含氰废水废水处理系统等 生活污水沿用现有化 粪池处理 含镍废水 含铜废水 含银废水 含氰废水及含氰废气吸收塔排 水经各自预处理达到 半导体行业污染物排放标准 DB32 3747 2020 间接排放标准后接管至园区污水处理厂 淮 安市第三污水处理厂 电镀污水处理设施处理 非电镀工段清洗 废水及酸性废气吸收塔排水经厂区污水处理站处理后与预处理后 的生活污水一起达到污水处理厂接管要求后通过污水管网排入园 区污水处理厂 淮安市第三污水处理厂 一般工业废水污水处理 设施集中处理 淮安工业园污水处理厂处理达到 城镇污水处理 厂污染物排放标准 GB18918 2002 中一级 A 标准后 排入清安 河 4 环保 工程 固废处理系统 固废仓库约 250 平方米 分隔出三间危险废物仓 库和一间一般固废仓库 底部采用整体砼基础及 防渗处理 一般固体废物和危险固废分区存放 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 12 表表 3 4 现有项目建设内容 本项目一二期主要建设内容及依托关系一览表现有项目建设内容 本项目一二期主要建设内容及依托关系一览表 序 号 工程类别现有项目已建设内容一期建设内容二期建设内容备注 1 主 体 工 程 生产厂房 位于 1 厂房 安装楼内及楼顶生产设备以及相关纯 水 冷却及废气治理设施等 依托现有 位于 2 厂房 安装楼内及 楼顶生产设备以及相关纯 水 冷却及废气治理设施 等 目前 1 厂房已建成 设备 已安装完成 2 厂房尚未 建设 二期的 PKG 封装生 产及晶圆检测生产仍依托 一期的生产设备 给水系 统 给水系统包括供水泵房 自来水池以及消防水池和 消防泵房 接入自来水管直径不小于 DN150 接入 设计容量不小于 100m3 h 供水水压为 0 3MPa 依托现有二期只增加供水水泵 泵房和水池已一次性建成 已考虑远期容量 二期只 需增加相应供水水泵即可 纯水系 统 设置在纯水站 采用 RO 反渗透工艺 冷却塔均设置在所在厂房楼顶室外 均位于各自纯水站内 一 期依托现有 一期和二期 厂房供应均相互独立 给 排 水 系 统 排水系 统 采用分流制排水 设污水排水系统和雨水 清净下水 系统 车间内污水收集管网为地沟形式铺设 二期废水处理及排口依托 一期系统 一期依托现有 二期新增管网铺设 供电系统建设 1 座配电房 设置三台变压器 依托现有新增三台变压器 2 公 用 工 程 供热系统 蒸汽供热依托园区 但由于园区供热不稳定 本项 目保留 1 台燃气锅炉备用 依托现有依托一期 原料仓库各类原辅材料库房分别按工序设置于生产厂房内 化学品仓库项目一期 二期各设置化学品仓库 位于厂区西侧 3 储 运 工 成品仓库产品仓库一期 二期各设置于生产厂房内 一期依托现有厂房 一期 和二期厂房均为独立系统 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 13 程运输汽车运输 废气处理系 统 1 厂房楼顶设置 5 套废气净化设施 通过 4 根排气 筒排放 危废仓库设置 1 套废气净化设施 通过 1 根排气筒排放 依托现有 2 厂房楼顶设置 5 套废气 净化设施 通过 4 根排气 筒排放 危废依托一期 二期危废仓库及配套废气 处理设备依托一期 其余 一期和二期均为独立系统 全厂共设置排气筒 9 根 废水处理系 统 本项目现有污水处理站一座 污水处理站设置一般 清洗废水预处理系统 含镍废水废水处理系统 含 铜废水废水处理系统 含银废水废水处理系统 含 氰废水废水处理系统等 生活污水沿用现有化粪池 处理 一期利用现有的 电镀废水处理系 统及一般清洗废 水处理厂站 在一期的基础上扩大处理 能力并增加配套管网 二期废水处理系统在一期 建设处理设施基础上进行 扩建 4 环 保 工 程 固废暂存系 统 均暂存于危险固废和一般固废仓库 二期固废存储依托于一期 仓库 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 14 1 供水系统 水源 本项目厂区水源接自市政供水管网 经 DN150 管进入厂区内形成环 网 在厂区设置生产 生活和消防供水系统 生产 生活用水从供水干管接至 各用水点 消防用水从室外供水管网接至室内外消火栓 鲜水 本项目总用水量 949524m3 a 其中一期和二期用量分别为 180619m3 a 和 768905m3 a 来自市政自来水管网 纯水制备 项目每期设纯水制备装置各一套 一期依托现有 其处理工艺流程如下 原水 原水箱 原水泵 多介质过滤器 活性炭过滤器 过滤水箱 加 SBS 阻垢剂 加碱 RO 增压水泵 热交换器 保安过滤器一级高压泵 一级反渗 透 中间水箱 二级高压泵 二级反渗透 CDI 装置 超纯水箱 超纯水泵 冷却器 UV 杀菌器 终端过滤器 外供超纯水 消防系统 建设项目室外消防水量为 40L s 室内消防水量为 10L s 一次最大消防水 量为 50L s 本项目消防给水系统为独立供水系统 室内设置有消火水箱 建筑 室内消防给水采取直接从室外给水管网接入给水管或从室外给水管网上接入两 个消防给水进口 并在进口处设阀门 止回阀 2 排水及污水处理系统 厂区排水分为雨水 清下水和污水两部分 采用 雨污分流 清污分流 制 建设项目纯水制备废水及冷却塔定期排水部分用于厂区绿化及冲厕 其 余作为清下水与雨水一起可通过厂区雨水管道就近排入附近水体 建设项目厂区排水实行雨污分流 清污分流 雨水 清下水经雨水管 网就近排入水体 含镍废水 含铜废水 含银废水 含氰废水及含氰废气吸 收塔排水经各自预处理达到 半导体行业污染物排放标准 DB32 3747 2020 间接排放标准后接管至园区污水处理厂 淮安市第三污水处理厂 电 镀污水处理设施处理 非电镀工段清洗废水及 酸性废气吸收塔排水经厂区污 水处理站处理后与预处理后的生活污水一起达到污水处理厂接管要求后通过污 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 15 水管网排入园区污水处理厂 淮安市第三污水处理厂 一般工业废水污水处理 设施集中处理 淮安工业园污水处理厂处理达到 城镇污水处理厂污染物排 放标准 GB18918 2002 中一级 A 标准后 排入清安河 3 供电 厂区供电依托工业园区电网 供电电压为 20kV 经项目配电房变压后提供 生产和生活使用 4 空压系统 设项目生产过程中需使用净化压缩空气 本项目一期空压站设有 3 台风水 冷无油螺杆式空压机 二期再新增一台 单台供气量均为 20m3 h 供气压力 0 85 0 7MPa MAX 压缩空气经过两级过滤及冷冻式 吸附式干燥器后送至工 艺使用点 压缩空气最终压力露点温度为 70 压缩空气最终含油量 0 01ppm 含尘量 0 01um 设置的空压系统可满足建设项目的生产需求 6 中央空调系统 本项目空调系统包括净化空调和一般空调系统 生产区为净化空调 温湿 度控制要求为 22 2 50 5 其中芯片核心区的湿度控制精度为 50 5 芯 片辅助生产区洁净度为 ISO7 级 1 千级 0 5 m 芯片核心区洁净度为 ISO6 级 1 百级 0 5 m 生产区采用新风机组加循环空调箱来进行温湿度及洁净 度控制 7 供热系统 由于园区供热不稳定 本项目原有两台 3t h 燃气锅炉 其中一台将在项目 建成后拆除 另外一台予以保留备用 锅炉燃料是天然气 锅炉型号 LHS3 1 0 Y Q 额定蒸发量 3 0t h 额定工作压力 1 0MPa 额定蒸汽温度 184 工作压 力 0 5MPa 150 锅炉供热主要用途是空调箱加热 加湿及纯水板交 加 热及板交压力 0 2MPa 130 加湿 0 05MPa 80 8 循环冷却系统 本项目设 4 台方型逆流式冷却水塔 能力均为 936m3 h 可满足生产需求 9 净化车间 建设项目所有工序都在净化车间内进行 净化车间换气量为 10200CMH 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 16 换气率为 65 次 H 最大湿度为 55 空气温度为 20 25 净化设计参数见表 2 3 表表 2 3 净化车间设计参数净化车间设计参数 空调和净化参数 空调和净化参数 0 5um 地面地面 工作间及其内设备工作间及其内设备 名称名称 吊顶高度吊顶高度 m 温度温度 相对湿度相对湿度 洁净等级洁净等级 ISO 照度照度 LX 防静电防静电防腐防腐 生产间3 322 250 5千级400需要PVC 清洗间322 250 5千级400需要PVC 电 光学测试室322 250 5千级400需要PVC 技术夹道3舒适性空调400需要PVC 焙烤间322 250 5千级400需要PVC 芯片清洗 腐蚀间322 250 5千级400需要需要 光刻间322 250 5百级 400 黄光 需要需要 镀膜 沉积间322 250 5千级400需要PVC 研磨间322 250 5千级400需要需要 切割间322 250 5千级400需要PVC 成品测试间322 250 5千级400需要PVC 成品控制322 250 5千级400需要PVC 可靠性测试322 250 5千级400需要PVC 二次更衣322 350 5千级200需要PVC 一次更衣3舒适性空调200需要PVC 制品间3舒适性空调200需要PVC 洁净走廊322 250 5千级200需要PVC 3 3 项目主要原辅材料 燃料动力消耗项目主要原辅材料 燃料动力消耗 本项目原材料和能源消耗情况见表 3 4 表表 3 4 主要原辅料消耗主要原辅料消耗 改建项目改建项目 扩建项扩建项 目目 原料名称原料名称规格 成分规格 成分单位单位 原有项原有项 目用量目用量 一期用量一期用量 增减量增减量 二期用二期用 量量 总用量总用量 12 吋万张 a3 0152 415 0 68 4510 865 晶圆 8 吋万张 a12 46228 86216 472 5101 362 钛靶材 水滴状 宽 383mm 长 353mm 厚 9 5mm t a0 0180 2720 2540 3590 631 铜靶材 水滴状 宽 383mm 长 353mm 厚 9 5mm t a0 0860 064 0 0220 3520 416 金靶材 直径 327mm 厚 6 4mm 纯度 99 995 t a0 0460 140 0940 1330 273 光刻胶 成分 丙二醇甲醚醋酸酯 丙烯酸 多功能丙烯酸等 t a1 041 360 322 333 69 丙二醇甲醚醋酸 酯 丙二醇甲醚醋酸酯t a11 58827 1415 55238 5365 67 丙酮丙酮t a0 8691 30 4312 153 45 显影液成分 四甲基氢氧化铵t a53 338 9 14 482 58121 48 铜电镀液 UTB W25 A 成分 硫酸铜 硫酸 铜电极等t a 10 5565 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 17 原料名称原料名称规格 成分规格 成分单位单位 改建项目改建项目 扩建项扩建项 目目 总用量总用量 原有项原有项 目用量目用量 一期用量一期用量 增减量增减量 二期用二期用 量量 镍电镀液成分 磺酸镍 硼酸 镍电极等t a 2 4 13 215 6 锡银电镀液成分 甲醇 烷基硫酸盐 锡等t a 1 5 56 5 BMS 902 四甲基氢氧化铵 1 10 二甲基 亚砜 90 99 t a11 71952 1240 401168 88221 钛蚀刻液成分 氢氧化钾 双氧水t a29 5984 8 24 79852 857 6 铜蚀刻液成分 双氧水 柠檬酸t a26 6143 6 23 01419 823 4 甲酸甲酸t a0 5240 760 2364 184 94 金电镀液 成分 氰化亚金钾 无机酸 有机 酸盐等 t a1215 773 7715 0530 82 金蚀刻液KI I2t a1 9542 850 8962 735 58 MR HH2O2t a 10 5 10 0120 51 MSC10010 硫酸t a3 6115 251 6395 0410 29 树脂 t a10 5 0 51 52 箔层 卷 a10100100110 项目主要原辅材料相关理化特性见表 3 5 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 18 表表 3 5 主要原辅材料理化性质 毒性性质主要原辅材料理化性质 毒性性质 名称名称分子式分子式理化特性理化特性燃烧爆炸性燃烧爆炸性毒性毒理毒性毒理 硫酸H2SO4 纯品为无色透明油状液体 无臭 蒸汽压 0 13kPa 145 8 熔点 10 5 沸点 330 0 与 水混溶 相对密度 水 1 1 83 空气 1 3 4 主要 用于生产化学肥料 在化工 医药 塑料 染料 石油提炼等工业也有广泛的应用 与易燃物和有机物接触会发生剧烈反 应 甚至引起燃烧 能与一些活性金 属粉末发生反应 放出氢气 遇水大 量放热 可发生沸溅 具有强腐蚀性 属中等毒性 LD5080mg kg 大鼠经口 LC50510mg m3 2 小时 大鼠吸入 320mg m3 2 小时 小鼠吸入 丙二醇 甲醚醋 酸酯 C6H12O3 外观 无色透明液体 有轻微的醚类气味 熔点 87 沸点 145 146 摄氏度 水溶解性 19 8g L 比重 25 25 C 0 963 0 966 馏程 760mmHg 146 C 自 燃温度 522 F 凝固点 67 蒸发速率 BuAc 100 34 爆炸极限 下限 上限 1 5 10 Vol 闪点 Tag 闭杯 47 C 易燃 蒸汽能与空气形成爆炸性 混合物 爆炸极限为 1 5 7 遇高 热 明火 氧化剂有引起燃烧危险 毒性 低毒 丙酮 C3H6O CH 3COCH3 无色透明易流动液体 有芳香气味 极易挥发 熔 点 94 6 沸点 56 5 蒸气压 53 32kPa 39 5 闪点 20 与水混溶 可混溶于乙醇 乙醚 氯 仿 油类 烃类等多数有机溶剂 相对密度 水 1 0 80 相对密度 空气 1 2 00 基本的有机原料和低 沸点溶剂 其蒸气与空气可形成爆炸性混合物 遇明火 高热极易燃烧爆炸 与氧化 剂能发生强烈反应 其蒸气比空气重 能在较低处扩散到相当远的地方 遇 明火会引着回燃 若遇高热 容器内 压增大 有开裂和爆炸的危险 毒性 属低毒类 急性毒性 LD505800mg kg 大鼠经口 20000mg kg 兔 经皮 人吸入 12000ppm 4 小时 最小中 毒浓度 人经口 200ml 昏迷 12 小时恢 复 刺激性 家兔经眼 3950 g 重度刺 激 家兔经皮开放性刺激试验 395mg 轻 度刺激 致突变性 细胞遗传学分析 拷贝 酒酵母菌 200mmol 管 对生物降解的影响 水中含量 4g L 以上时污泥消化受到抑制 水中含量 840mg L 时 活性污泥对氨氮的 硝化作用降低 75 氰化亚 金钾 KAu CN 4 白色结晶 是亚金离子和氰根离子形成的复盐 溶 于水 微溶于乙醇 不溶于乙醚 易受潮 有剧毒 氰化亚金钾是剧毒化学品 毒性基本同氰化钾 致 死量约 0 1 克 氰化亚金钾易与酸作用 甚至很弱的 酸亦能与之反应而析出黄色氰化亚金并放出氰化氢 气体 活泼金属溶解于氰化亚金钾水溶液 还原出 金 酸或吸收空气中的二氧化碳 水分可 分解出剧毒的氰化氢气体 受高热分 解 放出高毒的烟气 燃烧分解产物 为氰化氢 氰化物 氧化钾 氧化金 A 级无机剧毒品 酸或吸收空气中的二氧化 碳 水分可分解出剧毒的氰化氢气体 吸入 摄入或经皮肤吸收均有毒 对眼睛 皮肤有 刺激作用 口服剧毒 非骤死者 先出现感 觉无力 头痛 眩晕 恶心 呕吐 四肢沉 重以及呼吸困难等症状 随后面色苍白 失 去知觉 甚至呼吸停止而死亡 硼酸H BO 白色粉末状结晶或三斜轴面鳞片状光泽结晶 有滑不可燃数致死量 大鼠 经口 5 14g kg 有刺激 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 19 腻手感 无臭味 溶于水 酒精 甘油 醚类及香 精油中 水溶液呈弱酸性 相对密度 1 4347 熔点 184 分解 沸点 300 性 有毒 内服严重时导致死亡 致死最低 量 成人口服 640mg kg 皮肤 8 6g kg 静 脉内 29mg kg 婴儿口服 200mg kg 空气中 最高容许浓度 10mg m3 甲酸CH2O2 甲酸 又称作蚁酸 分子式为 HCOOH 甲酸无色而 有刺激气味 且有腐蚀性 pH 值 2 2 熔点 8 4 沸点 100 8 相对蒸气密度 空气 1 1 59 溶解性 与水混溶 不溶于烃类 可混溶于乙醇 乙醚 溶于苯 甲酸为可燃酸性腐蚀品 遇火种 受 热有燃烧危险 蒸气能与空气形成爆 炸性混合物 闪点 68 9 OC 69 CC 引燃温度 480 爆炸上限 57 0 爆炸下限 12 0 毒性 属低毒类 急性毒性 LD501100mg kg 大鼠经口 LC5015000mg m3 15 分钟 大鼠吸入 人吸入 750mg m3 15 秒 剧烈刺激粘膜 引起咽痛 咳嗽 胸痛 人经口约 30g 肾 功能衰竭或呼吸功能衰竭而死亡 刺激性 人经眼 1ppm 6 分钟 非标 准接触 轻度刺激 人经皮 150 g 3 天 间歇 轻度刺激 甲醇CH4O 透明 无色液体 纯品清淡 类似乙醇 粗品刺激 难闻 分子量 32 04 沸点 64 7 与水完全互溶 可混溶与醇类 乙醚等多数有机溶剂 熔点 97 8 沸点 64 7 相对蒸气密度 空气 1 1 1 饱和蒸气压 kPa 12 3 20 易燃 其蒸气与空气可形成爆炸性混 合物 遇明火 高热能引起燃烧爆炸 与氧化剂接触发生化学反应或引起燃 烧 在火场中 受热的容器有爆炸危 险 能在较低处扩散到相当远的地方 遇明火会引着回燃 燃烧分解一氧化 碳 二氧化碳 引燃温度 464 爆炸上限 36 5 爆炸下 限 6 毒性 属中等毒类 急性毒性 LD505628mg kg 大鼠经口 15800mg kg 兔经皮 LC5082776mg kg 4 小时 大鼠吸入 人经口 5 10ml 潜伏期 8 36 小时 致昏迷 人经口 15ml 48 小 时内产生视网膜炎 失明 人经口 30 100ml 中枢神经系统严重损害 呼吸衰 弱 死亡 四甲基 氢氧化 铵 C4H13NO 有一定的氨气味 具有强碱性 易吸收空气中的 CO2 通常制 10 25 的水溶液 含 5 分子结晶水 的四甲基氢氧化铵为无色潮解性针状结晶 沸点 110 C 密度 0 866 g mL at 25 C 溶于水和乙醇 等 易燃 小鼠皮下 LD50 19mg kg 兔子静脉 LD50 1mg kg 猪皮肤 LD50 25mg kg 蛙肠胃 LDL0 5mg kg 蛙 LDL0 1515 ug kg 二甲基 亚砜 C H OS 无色液体 重要的极性非质子溶剂 它可与许多有 机溶剂及水互溶 性状 无色黏稠透明油状液体或 结晶体 具弱碱性 几乎无臭 稍带苦味 熔点 18 45 沸点 常压 189 爆炸下限 V V 2 6 爆炸上限 V V 28 5 闪点 开口 95 燃点 300 302 属微毒类 大鼠经口 LD50 为 18g kg 但对 人体皮肤有渗透性 对眼有刺激作用 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 20 硫酸铊Tl2SO4 无色或白色斜方晶系结晶 熔点 632 相对密 度 水 1 6 7700 溶于水 易溶于硫酸 本身不能燃烧 受高热分解放出有毒 的气体 剧毒 急性毒性 LD50 16 mg kg 大鼠经 口 19 mg kg 小鼠经口 双氧水H O 过氧化氢化学式为 H2O 俗称双氧水 外观为无色 透明液体 是一种强氧化剂 水溶液为无色透明液 体 溶于水 醇 乙醚 不溶于苯 石油醚 纯过 氧化氢是淡蓝色的粘稠液体 熔点 0 43 C 沸点 150 2 C 纯的过氧化氢其分子构型会改变 所以熔 沸点也会发生变化 凝固点时固体密度为 1 71g 密 度随温度升高而减小 它的缔合程度比 H O 大 所 以它的介电常数和沸点比水高 纯过氧化氢比较稳 定 加热到 153 C 便猛烈的分解为水和氧气 值得 注意的是 过氧化氢中不存在分子间氢键 爆炸性强氧化剂 过氧化氢自身不燃 但能与可燃物反应放出大量热量和气 氛而引起着火爆炸 过氧化氢在 pH 值为 3 5 4 5 时最稳定 在碱性溶液 中极易分解 在遇强光 特别是短波 射线照射时也能发生分解 当加热到 100 以上时 开始急剧分解 急性毒性 LD50 4060mg kg 大鼠经皮 LC50 2000mg m3 4 小时 大鼠吸入 致突变性 微生物致突变 鼠伤寒沙门氏菌 10 L 皿 大肠杆菌 5ppm 姊妹染色单体交 换 仓鼠肺 353 mol L 致癌性 IARC 致癌性评论 动物可疑阳性 丙烯酸C3H4O2 无色液体 有刺激性气味 与水混溶 可混溶于乙 醇 乙醚 饱和蒸气压 kPa 1 33 39 9 熔点 14 沸点 141 相对密 度 水 1 1 05 燃烧热 kJ mol 1366 9 闪点 50 自燃温度 438 爆炸上限 V 8 0 爆炸 下限 V 2 4 其蒸汽与空气形 成爆炸性混合物 遇明火 高热能引 起燃烧爆炸 遇氧化剂能发生强烈反 应 属低毒类 LD50 2520mg kg 大鼠经口 950 mg kg 兔经皮 LC50 5300mg m3 2 小时 小鼠吸入 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 21 3 5 项目主要生产设备项目主要生产设备 本项目主要生产设备见下表 3 6 表表 3 6 本项目主要设备清单本项目主要设备清单 单位 台 单位 台 套 套 改建项目改建项目 扩建项扩建项 目目 生产线生产线设备名设备名型号型号 原有原有 项目项目 一期改一期改 建后建后 增减量增减量 二期二期 合计合计备注备注 晶圆清洗机MS 3221100112 喷镀机Axcela 30010 100 Tango01 11212 溅射机 01 10112 外观检查机CC 1501 030001 1018 涂层 显影机ACT12 2C 1D 1101212 曝光机MA300GEN211012 8 12 WLP 共用 显微镜OTPI 3100011212 显微镜 测试 DM120001101212 显微镜DM800010 100 显微镜 测试 OPTI 3100 10 100 显微镜 自动 OPTI 3000 30 300 光照清洗机KS M350 1CL01 112 8 12 WLP 共用 外观检查机CC 1501 020001 112 8 12 WLP 共用 电浆清洗机ICE3001101212 锡银电镀机Stratus S30001 11212 电镀机RE12F2ECD12401 11212 电镀机DM800001 11212 电镀机OTPI 300001 11212 接触式高度测量机HRP34001 112 接触式高度测量机HRP34001 11212 光阻去除机TRAUM 310LS1101212 金属蚀刻机ASTRO 30831101212 回流焊机GENEVA STP3001101212 凸块成份分析仪SFT 9550X110128 12 共用 推拉力测试机DAGE430001 01212 显微镜OTPI 30001101212 低功率显微镜SMZ745 US30 300 烤箱300mm BAKE OVEN01 11212 清洗机SA 0802 M140 400 退火箱200mm Baker Oven10 100 退火烘箱Special10 100 植球机BM1300W10 100 助焊剂清洗机FX20010 100 回流焊机1707MKIII10 100 自动外观检测机WHS WHS1161 10 100 处理机HS70040 400 打标机UF20010 100 包装机GVDS 60LW10 100 喷镀机Endura550010 100 涂层 显影机Mark810 100 电阻测量机HP4155C P12XL01 1128 12 共用 3D 成型高度测量机Nanox 200001 1128 12 共用 Condor303110128 12 共用 Eage ap01 1128 12 共用 12 吋晶 圆凸块 生产线 外观检测机 Eage ap01 1128 12 共用 江苏纳沛斯半导体有限公司晶圆级芯片封装技术改造项目工程专项分析 22 推拉力测试机DAGE 4300IC20 200 湿式清洗机10 100 光阻储存柜LD 623R20 200 包装机VS 80001 11212 晶圆筛选机Wafer Sorter 300110128 12 共用 晶圆清洗机DNS 80A01 112 8 DDI WLP 共用 晶圆清洗机DNS 80A11012 8 DDI WLP 共用 溅射机Endura 550001 101 8 DDI WLP 共用 溅射机Endura 550001 1018 DDI 电阻测试仪SR 5000110128 12 共用 晶圆回收系统TRAUM 310CS10 100 电镀机 全自动Stratus S300 FX10 100 凸块成分分析仪DVID C 1008 750H10 100 气体高压罐NA30 300 化学分析仪AA10 100 阻抗测试仪NA10 100 光罩板清洗机ASTRO 3011M10 100 化学品供应装置80 800 氧化层检测机ST4000M110128 12 共用 外观检查机CC 1501 010001 112 8 DDI WLP 共用 PR 涂层 显影机Mark 801 1018 DDI 涂层 显影机Mark 801 1018 WLP 曝光机PPS 830001 101 8 DDI WLP 共用 涂层 显影机Mark 701 1018 DDI 显影机Mark 701 1018 DDI 显微镜NWL200TMB86 TH20011012 8 DDI WLP 共用 显微镜 测试 MM 800 LM 300 x200 21 112 8 DDI WLP 共用 测量显微镜MM 800 LM 200 x150 40 400 显微镜 晶圆入厂检查 NWL200TMB86 TH20001 112 8 DDI WLP 共用 显微镜 NWL200TMB ECLIPSE L200N 01 112 8 DDI WLP 共用 显微镜AL120 TMB86 MX61 F01 112 8 DDI WLP 共用 烤箱IGF888001 1128 WLP 用 电浆清洗机Ecolite 200001 112 8 DDI WLP 共用 电镀机 14 杯 MP 140801 1018 DDI SnAg 电镀机STATUS 30011001 8 12 WLP 共用 Cu Ni 电镀机MINI RAIDER 20 200 电镀机MP 1408K Ne01 1018 DDI 电镀机MP 1408K Ne01 1018 DDI 电镀机MP 1408KNps01 1018 DDI 电镀机 14 杯 MP 1408 Nps10 100 显微镜NWL200TMB86 TH2000