单晶部PPT教材2

Aworld sLeadingVertically integratedPVM 单晶部培训教材 教材负责人 王敬磊解翼田龙王文杰夏斌齐平 经理 汪奇 Aworld sLeadingVertically integratedPVM Aworld sLeadingVertically integratedPVM 2 01 05 04 一 岗位注意事项二 车间生产案例纠正及异常处理三 在岗安全教育 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 一 岗位注意事项 一 早会要求 1 员工每天上班必须提前15分钟到达车间开早会 不得迟到 早退 2 员工在开早会时须呈跨立姿势站立端正 认真听主管或组长的讲话 不得做一些与早会无关的事项 3 班长每天上班必须提前15分钟到达车间组织员工准时开早会 4 班长在开早会时必须及时向员工传达前天的工作情况以及当天的生产计划 时间应控制在15分钟 5 组长开早会时讲话应宏亮有力 多以激励为主 不得随意批评和责骂员工 6 未经同意 不得擅自离开工作岗位和工作区域 因工作需要跨厂区走动需申请领用跨厂区出入证 离岗证 图见后页 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 车间使用的证件 Aworld sLeadingVertically integratedPVM Aworld sLeadingVertically integratedPVM 5 1 如特殊事情必须亲自处理 应提前一天用书面的形式请假 经主管与相关领导签字后 才属请假生效 不可代请假或电话请假 如生病无法亲自请假 事后必须交医生证明方可 否则按旷工处理 2 杜绝非上班时间私下请假或批假 3 员工每月请假不得超过两次 每天请假不得超过一人 二 请假制度 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 单晶拉制对单晶车间的环境卫生要求很高 所以实施6S非常重要 1 物品已划分好区域放置 要按规定位置放置整齐 不得到处乱放 2 每天拖地三次 早上8 00 中午12 00 下午19 00 各一次 包括外面走廊 3 单晶炉每天早上8 00和下午19 00用抹布擦拭一遍 以防止灰尘掉落影响产品质量 4 单晶炉控制柜上面不得放任何物品 放键盘的抽屉里要保持干净 不得放无尘纸 手套等 只能放一支笔 5 辅助工具已放在车间规定的区域内 用完后及时归位 三 S管理制度 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 1 清炉不干净不到位 在清扫过程中有很多误区 未按操作规程作业 并且操作工没有对清炉效果做仔细检查 清炉是项非常重要的工作 目的是为了将拉晶过程中产生的挥发物及其他脏东西清除掉 以保证在后续的拉制生产工程中有个干净的环境 对策 清炉一定要认真 按照步骤每个地方都要清理到位 否则会污染源影响下次成晶 尤其是大清炉的时候 一点也不能马虎 二 车间案例纠正 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 2 石墨件不能用酒精擦拭 因为对石墨件有腐蚀性 使石墨件表面变粗糙 杂质不容易清除 最重要的是容易引起单晶碳含量超标 石墨件表面应该用吸尘毛刷刷吸干净 严禁用酒精去清洁石墨件 对策 石墨件表面如果有熔硅渣 就必须要用砂轮机 锉刀等打磨干净 最后再用洗尘器将附着的挥发物吸干净 绝对不能使用酒精等物品 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 3 打磨好的石墨件没有用毛刷清扫吸尘 纤维纸擦拭干净 留有石墨 氧化物等粉尘 化料和拉晶过程中带入很多杂质 不利于单晶的生长 回熔很多 石墨件应该是先用砂轮去磨硅残渣 也可以用锤子等物品轻轻敲打残渣及结垢部位 再用洗尘器搞干净 对策 石墨件表面如果有熔硅渣 就必须要用砂轮机 锉刀等打磨干净 最后再用洗尘器将附着的挥发物吸干净 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 4 重锤氧化污染严重 没有定期及时打磨 卸开 造成拉晶中掉杂变晶 分解后重锤 组合时 重锤一定要定期清除干净 尤其是表面的硅残渣和氧化物 以防止在生产过程中掉入坩埚中 而导致断棱 影响产品质量 在高温运转中 氧化物会落入硅液中 而影响成晶 对策 重锤要定期卸开打磨 这样才能将螺纹里的颗粒也清理干净 以保证不会有污物落入硅液中 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 5 籽晶使用 籽晶是比较贵重的物品 但到目前为止 人为损坏籽晶的现象还是比较多发 主要是使用不当 另一个原因就是剪细颈时没有用钳子 而是用锤子等非规定使工具而造成的 对策 籽晶安装要牢固 如果遇到需要剪断提杂料或者棒时务必请使用老虎钳 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 6 提杂时细颈与提杂料接触不牢 致使料块掉入熔料中 导流筒粘硅 难以成晶 提杂料 断开 跌入硅液 溅出硅液 提杂时一定要充分接触 溶接牢固 否则会发生溅硅污染石墨部件的事情 对策 提料提杂时一定要充分确认是否完全熔接牢固 如果没有完全熔接牢固就不能盲目提料 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 7 引晶埚位过高 液面距太小 造成炉内导气不畅 挥发物不能及时抽走 粘附在单晶炉内壁和石墨件上 时间一长杂质容易脱落 很难成晶 正常的炉位挥发物能及时被抽走 埚位太高将影响炉内的导气状态 而导致排气不畅 挥发物无法及时抽走停留粘附在单晶炉内壁和石墨器件上 而脱落入硅液中影响成晶 空间太小 排气不畅 产生的挥发物能及时全部被抽走 对策 引晶前要密切确认埚位是否过高或者过低 只有在合适的埚位上 才能引出好的晶棒 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 8 引晶时认为用原籽晶部位接触较好 这是一误区 没有注意到原籽晶部位已氧化严重 导致变晶 只要接触部位是洁净的就可以 籽晶由于在高温状态下 长时间暴露而容易产生氧化 一旦氧化发生就会变晶 所以我们考虑引晶的部位时要充分认识到这一点 并不是所有的时候都是原籽晶比细晶好 而且老是用原籽晶会导致原籽晶损耗过大 只要没有氧化的 细晶也一样能引出好的硅棒 氧化 氧化 对策 如果遇到原籽晶发生了氧化 就要注意更换引晶的部位 以防止变晶 另外就是要避免籽晶发生氧化 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 9 氧化变色的晶棒很容易碎裂 细颈太细造成断裂 引起晶棒掉落事故 此类现象细颈直径不能低于5mm 正常的棒如果没有氧化发生 引晶直径在3 5MM就属于合格 有氧化的棒 由于氧化发生破坏了晶体本身的特性 所以此类细晶不能低于5MM 建议部分炉子氧化发生相对比较多的 此类引晶最好在6MM左右 以防止发生晶体落入坩埚中造成损失 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 10 引晶方法有误 接触方法有误 接触温度的高低直接影响细颈的质量 引晶速度的高低变化同样影响细颈质量 可参考拉晶作业规程 找温度要有耐心 如果太低或者太高都影响引晶质量及效率 对策 引晶温度和速度是个经验值 温度太高不易引晶 太低则容易放肩断棱 一般建议引晶时为高温慢引 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 11 放肩是当前我们拉晶中存在的严重问题 一是责任心不到位 没有严格监控肩的生长 致使生长过快变晶 二是技术水平的提高 没有总结和分析放肩失败的原因 如何解决 蓝色线区域 表示在一定时间内符合要求的放肩直径 红色线区域 表示在一定时间内超出要求的放肩直径 放肩过快 放肩的速度和温度直接关系放肩的质量 不能太快或者太慢 形状要圆形平滑 而且棱线要饱满 不能放的太平或者太尖 对策 放肩时人员一定要密切关注这个过程 注意温度变化对放肩质量的影响 另外就是要控制好直径的变化 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 12提肩和提杂过程中 容易污染重锤 引起掉渣 高温下 重锤氧化污染 在以后的拉晶过程中 氧化物落入硅液中而影响成晶 对策 对氧化的重锤一定要在停炉时卸开打磨干净 去除污染物 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 13不仔细检查钢丝绳是否有断丝现象 埋下隐患 每炉清炉时必须检查 对策 每炉结束时要检查钢丝绳是否有问题 主要是 是否有毛刺 有无松动 有无松股等 尤其和是重锤接触的地方 有无断开的痕迹 有无氧化严重的状况 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 14 提肩或一段晶棒时 时间不宜过快 应按拉晶作业规程操作 避免因温度过高造成重锤部分氧化 甚至造成籽晶内裂 提肩或一段晶棒时 时间不要过快 应按拉晶作业规程操作 避免因温度过高造成重锤部分氧化 甚至造成籽晶内裂 对策 提肩或一段晶棒时 时间不要过快 应按拉晶作业指导操作 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 15 忘记校准侧取光孔 影响正常拉晶 对策 每炉开机前必须要对好取光孔 以确保直径受控制 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 16 在拆炉时不注意 使晶棒受到撞击 致使掉落 造成事故 对策 拆炉时 一定要密切注意 晶棒不能摇晃 要平稳垂直地下降进入取晶框中 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 17 回熔过多 且提肩提料未按操作规程作业 不能有效提出杂质 反而造成污染 对策 回溶或者提肩时一定要按照作业指导实行 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 18 等径过程中晶体直径未严格监控 造成单晶直径细事故 单晶报废 对策 直径的偏细偏粗是可以预防的 必须要使用仪器进行测量 如果有误差 则要把误差考虑进去 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 19 等径过程中 因液面距太高 埚升速度快 致使熔体与导流筒下沿接触 引发事故 对策 要随时密切关注液面距离 防止导流筒浸入硅液中 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 20 欧陆投入自动SP后 碰到热电堆或其接线 致使信号值突变 影响正常拉晶 对策 工作中一定要注意 不要碰触到热电堆 以防止信号值产生突变 而影响正常拉晶 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 21 收尾收断 对策 收尾的主要事故在于收尾不合格 结晶 收断等 所以收尾时一定要密切关注温度和速度 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 22 装料时因不规范操作 带入很多杂质 影响单晶生长 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 23 石英埚内壁有石英砂颗粒附着 石英砂颗粒作为杂质严重影响单晶生长 没有按拉晶作业规程进行擦拭 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 24 装完料后导流筒距硅料有一定距离 造成化料埚位偏低 增加了漏硅的几率 并且石英埚上部容易变形 原则上埚位越高越安全 装料后加热 液体硅下降 上半部分坩埚无溶硅液 上半部分坩埚长时间加热将塌陷 漏硅 对策 一定要边化料边及时将坩埚位置提升 以防止空坩埚部位长时间加热而导致变形漏硅 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 25 化料过程中塌料后 没有及时升高埚位 一是容易造成石英埚变形 二是料粘到埚底没完全化完 致使翻料 由于加热器的高度比石英坩埚的位置低 如果化料到了一定的程度不及时改变坩埚的位置 会导致坩埚局部的地方受热特别集中 而造成变形或者是料粘到埚底没有化完 致使翻料 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 26 化料塌料后升埚 要先开启埚转 转动一圈观察是否有料块粘在石英埚壁上 以免升埚过程中料块蹭到导流筒 引发事故 对策 要在化料塌料后升埚位前先确认是否有料粘在坩埚内壁上 以免未熔硅蹭到倒流筒而产生事故 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 27 没仔细检查石英埚有裂纹 造成漏硅 装料过程中料砸坏石英埚 造成漏硅 对策 漏硅是严重的质量事故 一般都是由于坩埚本身质量及不当操作造成的 所以我们一定要在装料前仔细确认坩埚的完好程度 并严格按照作业规程作业 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 28 清扫石墨件时没仔细检查石墨件破裂 造成重大事故发生 如三瓣埚有裂纹 埚托有裂纹 加热器有裂纹 电极螺丝已断掉 有打火现象等 对策 清扫石墨件时一定要仔细检查石墨件是否有破裂 否则会造成严重的事故 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 29 侧取光玻璃未正确安装 正确顺序是橡胶密封垫一玻璃一硬垫 先把密封垫和玻璃装上进行抽真空 吸牢后再把硬垫装入热电堆 拧紧热电堆 没有硬垫保护玻璃会碎裂 对策 安装取光玻璃一定要规范进行 不得马虎 否则会造成不正确安装不但影响正常使用 也会出现加工中途需要紧急停炉的现象 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 文字描述 30 籽晶断裂问题严重 跟操作有直接关系 1 安装不正 没有垂直向下 2 没有用力下拽 接触不严密 幅室下不宜站人避免重锤脱落 造成人员伤亡事故 对策 籽晶安装要绝对牢固 并下拉检查是否有重锤脱落的可能 另一个就是严禁人站在重锤下面 防止万一断了钢丝绳 会造成严重的伤害事故 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 副室操作 启动副室真空泵 打开副室抽空阀门 在副室真空度高出主室真空度100Pa左右时 关闭副室真空阀门 打开副室氩气阀充至低于大气压100Pa时 打开副室真空阀门 关闭副室氩气阀继续抽空 当抽至低于主室50Pa时重复前面步骤 如此反复2 3次 在副室与主室压力相等时打开副室隔离阀 打开隔离阀时 须马上关闭副室抽空阀与副室真空泵 打开副室氩气充气阀 关闭主室氩气阀 按引晶 放肩 等径步序进行晶体生长操作 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 1 产生挂边和搭桥 1 降低坩埚位置 2 提高溶硅温度 3 前两个现象消失后归位 2 产生硅跳 1 仔细挑选多晶硅和石英坩埚 2 熔硅时温度不能过高 一般在1500 c 1600 c之间 3 应在流动的气氛下熔硅 3 温度振荡 波动 1 调整热场 2 改变坩埚位置 3 熔硅时缓慢升高坩埚 4 放肩时坩埚边结晶 适当升高温度 降低拉晶速度 使结晶缓慢熔化 结晶熔化后恢复正常 常见异常 Aworld sLeadingVertically integratedPVM 1籽晶与渣盖接触点粘接不牢 在提离液面时导致渣盖掉下 溅起的熔硅损坏其他热场器件 要使用细籽晶提渣并保证籽晶与杂质块接触部位的充分熔接 2 提渣不及时 或掌握的时间不准确 导致提渣不彻底 提渣的最佳时机是在固态硅即将熔完的那一刻 剩余一小块 将其提出 这时候的杂质基本上全部粘在此小块上 粘接时要保证粘接良好避免提出时掉下 3 分不清原料该不该提