镀膜机操作说明书.doc

上 虞 市 佑 谦 特 种 材 料 有 限 公 司类别工 作 指 示 书操 作 说 明 书（ 镀膜机 ）（型号：GX-500）编号TC-3001-23制订09年月日页次第3页共3页修订年月日版次00一、 真镀前准备1、开机前准备操作：气路水路开电源总闸按下电源控制开启真空计开启粗抽泵开启前置阀（J1灯亮）开启扩散泵。2、操作说明：1. 气路开启：开启楼上空气压缩系统，检查镀膜机后面的气压表到70kg/cm2后，气路检查完毕，而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时，虽然显示前置阀开启，但是前置阀却实际为关闭的阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。2. 水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。3. 电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。二、真镀操作1. 真镀操作流程：换钨丝换铝丝上产品关门关前置阀开启粗抽阀（至J5灯亮）关粗抽阀开前置阀开精抽阀（至J6灯亮）开蒸发开关调节蒸发电流蒸发电流复位关蒸发开关关精抽阀（10S左右后）按下工作室放气开门。2.操作说明：(1) 以上过程为手动操作的过程。(2) 自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。 (3) 半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。(4)换钨丝：钨丝一般情况下6-8次换一次，即每天下班的时候需要换钨丝。(5) 换铝丝：铝丝在确定长度的情况下，需要对折2次，铝丝不能拧紧在一起，也不能太松散，只要4根铝丝靠在一起就行。(6) 精抽阀关掉后，一般需要等10S左右的时间再按下工作室放气主要这时硅管刚处于高温发红的状态，空气过早的进入会氧化硅管，10S后硅管冷却后再按下工作室放气。(7) J5、J6的上限设置详见真空计使用说明。J5上限设置为一般为5.0的0次方，J6的上限设置为一般为5.0的-2次方。J5灯亮即为粗抽转精抽的标志，J6灯亮即为可镀的标志。J6的上限设置越小，镀出来的产品一般越亮。目前镀膜机的设置为4.0的-2次方，实验室镀膜机最小抽真空能力为2.0的-2次方左右。三、关机准备与关机关机准备：关扩散泵（1h后）关粗抽泵关前置阀关真空计关镀膜机右边的电源总闸关冷却塔扇叶冷凝关压缩空气系统。关机操作说明：(1) 关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。(2) 腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。(3) 镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。四、镀膜机的日常维护镀膜机常见问题排查：1. 真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。2. 真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。3. 真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。4. 真镀产品上面有黑点一般是由于真镀腔体内不干净而造成的。5. 真镀产品上面有铝颗粒即飞铝现象一般是由于熔融电压过大或者熔融保持时间过长造成的。6. 蒸发过程中有掉表即真空度下降的情况，一般是由于扩散泵油有烧坏的情况、或者漏气以及腔体太脏的原因。7. 漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。镀膜机日常维护：1. 镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。2. 镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。3. 镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。4. 一般每次