国家职业技能标准 （2019年版） 半导体芯片制造工

国家职业技能标准 职业编码: 半导体芯片制造工 中华人民共和国人力资源和社会保障部 制定 中华人民共和国工业和信息化部 职业编码: 说 明 为规范从业者 的 从 业 行 为 引 导 职 业 教 育 培 训 的 方 向 为 职 业 技能 鉴 定 提 供 依 据 依 据  中 华 人 民 共 和 国 劳 动 法   适 应 经 济 社 会 发展和科技进步 的 客 观 需 要 立 足 培 育 工 匠 精 神 和 精 益 求 精 的 敬 业 风气 人力资源社 会 保 障 部 联 合 工 业 和 信 息 化 部 组 织 有 关 专 家 制 定了  半导体芯片制造工国家职业技能标准 ( 以下简称  标准 ) 一、 本  标准 以  中华人民共和国职业分 类 大 典 ( 年 版)  ( 以下简称  大 典  ) 为 依 据 严 格 按 照  国 家 职 业 技 能 标 准 编制技术规程 ( 年版)  有关要求 以 " 职业活动为导向、 职 业技能为核心" 为指 导 思 想 对 半 导 体 芯 片 制 造 工 从 业 人 员 的 职 业 活动内容进行规 范 细 致 描 述 对 各 等 级 从 业 者 的 技 能 水 平 和 理 论 知 识水平进行了明确规定 二、 本  标准 依据有关规定将本职业分为五级 / 初 级 工、 四 级 / 中级工、 三 级 / 高 级 工、 二 级 / 技 师 和 一 级 / 高 级 技 师 五 个 等 级 包 括职业概况、 基 本 要 求、 工 作 要 求 和 权 重 表 四 个 方 面 的 内 容 本 次 修订内容主要有以下变化: 对工作年限 的 要 求 进 行 了 调 整 由 上 一 版 的 " 连 续 从 事 本 职业工作" 改为 " 累计从事本职 业 工 作 " 对 培 训 要 求 进 行 了 删 减 突出了培训与 考 评 分 开 的 要 求 注 重 实 际 操 作 避 免 应 试 教 育 的 弊 端 根据芯片制 造 业 发 展 变 化 增 加 了 对 五 级 / 初 级 工 的 要 求 便于青年职工的发展与培养 将上一版对设备 维 护 保 养 的 职 业 功 能 要 求 融 入 各 相 关 工 种 的工作内容及操作要求之中 增加了对相关 知 识 要 求 中 工 艺 环 境 与 来 料 检 查、 技 能 要 求 中设备操作与工 作 程 序 设 置 的 要 求 突 出 了 本 行 业 对 净 化 的 特 殊 要 求与工艺过程控制及精细加工的特点 增加了电子真空镀膜工的内容 避免了工艺内容的缺失 职业编码: 应审核专家的 要 求 因 台 面 成 型 工 的 工 作 内 容 在 刻 蚀、 化 学气相淀积与  半导体 分 立 器 件 和 集 成 电 路 装 调 工 国 家 职 业 技 能 标 准 中的划片、 磨片中 均 有 部 分 体 现 且 只 在 少 部 分 电 力 电 子 或 个 别微波器件芯片的制造中有所应用 不具有普遍性 故予以删除 权重表也根据 行 业 发 展 进 行 了 相 应 的 调 整 并 增 加 了 对 基 础知识和相关知识要求的内容 三、 本  标准 的编制 工 作 在 人 力 资 源 社 会 保 障 部 职 业 能 力 建 设司、 工业和信息 化 部 人 事 司 的 指 导 下 由 工 业 和 信 息 化 部 电 子 通 信行 业 职 业 技 能 鉴 定 指 导 中 心 具 体 组 织 实 施 本  标 准  起 草 单 位 : 中国电子科技 集 团 公 司 第 十 三 研 究 所 主 要 起 草 人 有: 潘 宏 菽、 苏 芳 参与编写人有: 王同祥、 霍玉柱 四、 本  标准 审 定 单 位 有: 中 芯 国 际 集 成 电 路 制 造 ( 北 京 ) 有限公司、 北京燕 东 微 电 子 有 限 公 司、 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 十 三研究所、 中国电 子 科 技 集 团 公 司 第 五 十 五 研 究 所、 赛 迪 顾 问 股 份 有限公司、 中国 半 导 体 行 业 协 会 任、 大 唐 联 电 科 技 有 限 公 司、 北 京 市职业技能鉴定 专 家 委 员 会 电 子 行 业 专 业 委 员 会 委 员、 中 科 院 半 导 体研究所、 北京松果电子有 限 公 司 主 要 审 定 人 员 有: 杨 兵、 陈 江、 李剑锋、 张彦秀、 韦 仕 贡、 李 锁 印、 彭 劲 松、 李 珂、 任 振 川、 印 博 文、 陶世杰、 宁瑾、 赵慧 参与编审人员有: 黄海强、 夏铁力 五、 本  标准 在制 定 过 程 中 得 到 人 力 资 源 社 会 保 障 部 职 业 技能鉴定中 心 葛 恒 双、 陈 蕾、 王 小 兵、 张 灵 芝、 贾 成 千、 宋 晶 梅 等 专家的指导和大力支持 在此一并感谢 六、 本  标准 业经 人 力 资 源 社 会 保 障 部、 工 业 和 信 息 化 部 批 准 自公布之日起施行 职业编码: 半导体芯片制造工 国家职业技能标准 职业概况 职业名称 半导体芯片制造工 职业编码 职业定义 操作 外 延 炉 、 高 温 氧 化 扩 散 炉 、 光 刻 机 、 淀 积 台 等 设 备 制 造 半导体分立器件、 集成电路、 传感器芯片的人员 职业技能等级 本职 业 共 设 五 个 等 级 分 别 为: 五 级 / 初 级 工、 四 级 / 中 级 工、 三级 / 高级工、 二级 / 技师、 一级 / 高级技师 职业环境条件 室内 恒温、 恒湿 洁净 防静电环境 职业能力特征 具有一定的分 析、 判 断 和 推 理 能 力 能 够 进 行 语 言 及 文 字 表 达 本职 业 分 为 外 延 工 、 氧 化 扩 散 工 、 离 子 注 入 工 、 化 学 气 相 淀 积 工 、 光 刻 工 、 电 子 真空镀膜工、 半导体器件和集成电路电镀工 半导体芯片制造 工 序 中 需 要 使 用 淀 积 介 质、 形 成 表 面 钝 化 层 的 设 备 即 淀 积 台  大典 中为 " 电击台" 在生产工艺中不需要使用 故修改为淀积台 职业编码: 和计算 色觉、 视 觉、 听 觉、 嗅 觉 正 常 手 指、 手 臂 灵 活 动 作 协 调 知觉良好 普通受教育程度 高中毕业 ( 或同等学力) 职业技能鉴定要求 申报条件 具备以下条件之一者 可申报五级 / 初级工: ( ) 累 计 从 事 本 职 业 或 相 关 职 业 工 作 年 ( 含 ) 以 上 ( ) 本职业或相关职业学徒期满 具备以下条件之一者 可申报四级 / 中级工: ( ) 取得本职业或相关职业五级 / 初级工职业资格证书 ( 技能等 级证书) 后 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 ( ) 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 ( ) 取 得 技 工 学 校 本 专 业 或 相 关 专 业 毕 业 证 书 ( 含 尚 未 取 得 毕业 证 书 的 在 校 应 届 毕 业 生 ) 或 取 得 经 评 估 论 证 、 以 中 级 技 能 为 培 养目标的中等及以上 职 业 学 校 本 专 业 或 相 关 专 业 毕 业 证 书 ( 含 尚 未 取得毕业证书的在校应届毕业生) 具备以下条件之一者 可申报三级 / 高级工: ( ) 取得本职业或相关职业四级 / 中级工职业资格证书 ( 技能等 级证书) 后 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 ( ) 取得本职业或相关职业四级 / 中级工职业资格证书 ( 技能等 相关 职 业 : 半 导 体 芯 片 制 造 、 半 导 体 分 立 器 件 和 集 成 电 路 设 计 、 电 子 精 密 机 械 装 调、 真空电子器件装调等职业 下同 本专 业 : 半 导 体 物 理 与 器 件 、 微 电 子 、 集 成 电 路 、 微 系 统 制 造 等 电 子 类 专 业 下 同 相关 专 业 : 半 导 体 分 立 器 件 与 集 成 电 路 设 计 、 精 密 仪 器 、 微 系 统 装 接 等 电 子 类 专 业 下同 职业编码: 级证 书 ) 并 具 有 高 级 技 工 学 校 、 技 师 学 院 毕 业 证 书 ( 含 尚 未 取 得 毕 业证书的在校应届 毕 业 生 ) 或 取 得 本 职 业 或 相 关 职 业 四 级 / 中 级 工 职业 资 格 证 书 ( 技 能 等 级 证 书 ) 并 具 有 经 评 估 论 证 、 以 高 级 技 能 为 培养目标的高等职业 学 校 本 专 业 或 相 关 专 业 毕 业 证 书 ( 含 尚 未 取 得 毕业证书的在校应届毕业生) ( ) 具有大专及以 上 本 专 业 或 相 关 专 业 毕 业 证 书 并 取 得 本 职 业或 相 关 职 业 四 级 / 中 级 工 职 业 资 格 证 书 ( 技 能 等 级 证 书 ) 后 累 计 从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 具备以下条件之一者 可申报二级 / 技师: ( ) 取得本职业或相关职业三级 / 高级工职业资格证书 ( 技能等 级证书) 后 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 ( ) 取得本职业或相关职业三级 / 高级工职业资格证书 的 高 级 技 工学校、 技 师 学 院 毕 业 生 累 计 从 事 本 职 业 或 相 关 职 业 工 作 年 ( 含) 以上 或取得本职业或相关职业预备技师证书的技师 学 院 毕 业 生 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 具备以下条件者 可申报一级 / 高级技师: 取得本职 业 或 相 关 职 业 二 级 / 技 师 职 业 资 格 证 书 ( 技 能 等 级 证 书) 后 累计从事本职业或相关职业工作 年 ( 含) 以上 鉴定方式 分为理论知识 考 试、 技 能 考 核 以 及 综 合 评 审 理 论 知 识 考 试 以 笔试、 机考等方式 为 主 主 要 考 核 从 业 人 员 从 事 本 职 业 应 掌 握 的 基 本要求和相关 知 识 要 求 技 能 考 核 主 要 采 用 现 场 操 作、 模 拟 操 作 等 方式进行 主要考 核 从 业 人 员 从 事 本 职 业 应 具 备 的 技 能 水 平 综 合 评审主要针对 技 师 和 高 级 技 师 采 取 审 阅 申 报 材 料、 答 辩 等 方 式 进 行全面评议和审查 理论知识考试、 技 能 考 核 和 综 合 评 审 均 实 行 百 分 制 成 绩 皆 达 分 ( 含) 以上者为合格 职业编码: 监考人员、 考评人员与考生配比 理论知识考试中的监考人员与考生配比不低于 且每个考 场不少于 名监 考 人 员 技 能 考 核 中 的 考 评 人 员 与 考 生 配 比 不 低 于 且考评人员为 人以上单数 综合评审委员为 人以上单数 鉴定时间 理论知 识 考 试 时 间 为 不 少 于 技 能 考 核 时 间 不 少 于 综合评审时间不少于 鉴定场所设备 理论知识考试 在 标 准 教 室 进 行 技 能 考 核 在 工 厂 生 产 现 场、 实 验室或实训室 按 各 工 种 等 级 的 考 核 要 求 不 同 配 备 相 应 的 设 备、 工 具和材料 基本要求 职业道德 职业道德基本知识 职业守则 ( ) 弘扬工匠精神 刻苦钻研业务 ( ) 尊重师长同行 精心传授知识 ( ) 珍惜他人劳动 崇尚职业技能 ( ) 遵守法律规章 不忘安全生产 ( ) 提倡细致入微 追求精益求精 ( ) 不断学习进取 立志岗位成才 ( ) 努力探索创新 勇于突破极限 ( ) 积淀职业功底 引领工艺潮流 基础知识 材料基础知识 ( ) 半导体材料基础知识 ( ) 材料的化学基础知识 ( ) 材料的力学基础知识 ( ) 材料的光学基础知识 ( ) 材料的电磁学、 热学等基础知识 器件制造基础知识 ( ) 晶体管原理基本知识 ( ) 半导体集成电路基本知识 ( ) 半导体器件工艺基本原理基础知识 ( ) 工艺净化基础知识 职业编码: 职业编码: ( ) 半导体芯片制造专业外语与中文对应基础知识 化学基础知识 ( ) 物质结构知识 ( ) 化学元素知识 ( ) 化学反应知识 ( ) 酸碱盐知识 ( ) 化合物知识 ( ) 半导体化学知识 电子与电工基础知识 ( ) 常用电子元器件基础知识 ( ) 电学测量与电气基础知识 ( ) 电子线路与安全用电基础知识 ( ) 常用电子测试仪器与电工工具的使用和维护知识 安全卫生环境保护知识 ( ) 化学品安全知识 ( ) 环境保护知识 ( ) 有毒有害物防护知识 ( ) 劳动保护知识 ( ) 设备操作安全知识 ( ) 电气安全知识 ( ) 消防安全知识 ( ) 防静电基础知识 相关法律、 法规知识 ( )  中华人民共和国产品质量法 相关知识 ( )  中华人民共和国标准化法 相关知识 ( )  中华人民共和国计量法 相关知识 职业编码: ( )  中华人民共和国劳动法 相关知识 ( )  中华人民共和国劳动合同法 相关知识 ( )  中华人民共和国安全生产法 相关知识 职业编码: 工作要求 本标准对五 级 / 初 级 工、 四 级 / 中 级 工、 三 级 / 高 级 工、 二 级 / 技 师和一级 / 高级技师的要求依次递进 高级别涵盖低级别的要求 五级 / 初级工 外延工考核 、 、 项 职 业 功 能 氧 化 扩 散 工 考 核 、 、 项 职业功能 化学气 相 淀 积 工 考 核 、 、 项 职 业 功 能 光 刻 工 考 核 、 、 、 项职业功 能 离 子 注 入 工 考 核 、 、 、 项 职 业 功 能 电子真空镀膜工考核 、 、 项职业功能 半导体器件和集成电路 电镀工考核 、 、 项职业功能 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 能识别厂房洁净与 非洁净区域 能识别净化工作服 净 化 对 芯 片 工 艺 的影响 工艺环境处置 进 入 洁净 区 前 的 准备 与非净化工作服 能判断净化工作服 保存场所是否符合要求 能按规定着装及穿 戴洁净防护用品 能按规定风淋后进 入相应的洁净区 能杜绝非净化的纸 张、 包装物等进入洁净区 穿 着 净 化 防 护 用 品的目的 净 化 工 作 服 的 穿 戴及保管规定 进 入 洁 净 区 的 要 求 洁净区管理规定 职业 功能 工艺环境处置 来料检查工作内容 洁 净 环境维护 化 学 药品、 试 剂 检查 技能要求 能对工作面、 洁净 区的地面、 墙壁等进行清洁 能对净化场所是否 有异味和不明液体做出判断 能根据净化管理规 定 对 净 化 区 内 人 员 着 装、 人数 等 是 否 符 合 要 求 做 出 判 断 能检查使用设备仪 器的 水 、 电 、 气 是 否 在 安 全 范围内 能对发现的无法处 置问题进行上报 能核对待使用的化 学药品、 试剂是否与文件 规 定相符 能检查待使用化学 药品、 试剂的有效期限 能 核 对 化 学 药 品、 试剂 的 数 量 是 否 满 足 工 艺 与 安全要求 能对发现的不符合 工艺 及 安 全 规 定 的 化 学 药 品、 试剂等进行上报 职业编码: 续表 相关知识要求 洁 净 区 主 要 的 颗 粒物来源 洁净区工作须知 粉尘、 颗粒、 异味、 振动、 光 照 等 对 工 艺 影 响 的基础知识 技 术 安 全 要 求 须 知 化 学 药 品、 试 剂 明细表 化 学 药 品、 试 剂 的有效期限 化 学 药 品、 试 剂 领取与安全使用措施 职业编码: 续表 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 工 艺 气体检查 能检查气体压力是 否在安全范围内 能检查气体的有效 期限 能检查使用气体的 种类 是 否 满 足 工 艺 与 安 全 要 求 能检查晶圆片是否 完整 气 体 压 力 安 全 及 使用知识 气 体 有 效 期 限 检 查方法 来料检查 晶 圆 片来料检查 晶 圆 片清洁处理 能检查晶圆片表面 是否有裂纹或大块沾污 能核对晶圆片数量 与要求是否相符 能分辨晶圆片正反 面 能采用配制好的清 洗液对晶圆片进行清洗 能在文件规定的范 围内 调 用 晶 圆 片 清 洗 工 艺 菜 单或工作流程 能保证清洁处理过 程中 晶 圆 片 的 完 整、 无 损、 无沾污 晶圆片目检方法 晶 圆 片 缺 陷 类 型 判别方法 晶圆片表观特征 晶 圆 片 清 洁 操 作 指导书 清 洁 处 理 工 艺 菜 单明细表 晶 圆 片 清 洁 处 理 安全规程 职业 功能 外延生长工作内容 生 长 方式确认 工 艺 操作 质 量 检查 记 录 填写 技能要求 能识别衬底片类型 能识别确认外延生 长方式 能按外延生长作业 指导 书 的 要 求 选 择 生 长 工 作 菜单或工作流程 能识读外延设备的 运行参数 能判断外延洁净条 件是 否 满 足 外 延 生 长 条 件 要 求 能完成晶圆片的无 沾污、 无损传送 能按选择的工艺菜 单或 工 作 流 程 完 成 外 延 生 长 操作 能判断衬底片及外 延片表观质量是否满足要求 能检测外延生长后 的外 延 片 表 面 平 整 度 及 颗 粒 度 能填写外延生长随 工单及工艺台账 包括生 产 信息管理系统的信息录入 能对设备自动记录 的文档进行备份保存 职业编码: 续表 相关知识要求 衬底片明细表 外 延 生 长 的 基 本 方式 外 延 生 长 工 艺 菜 单明细表 外 延 设 备 的 安 全 操作规程 净 化 及 工 艺 条 件 对外延生长成品率的影响 晶 圆 片 表 观 质 量 判别要求 外 延 片 表 面 检 验 要求 工 艺 记 录 填 写 与 录入要求 电 子 文 档 的 保 护 要求 职业编码: 续表 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 工 艺 方式确认 能识别需氧化、 扩 散的 晶 圆 片 及 所 用 其 它 原 材 料 能选择氧化、 扩散 的工艺方式 能选择氧化、 扩散 的工艺菜单或工作流程 能确认炉口净化是 否开启 能识读氧化、 扩散 设备的运行参数 氧 化、 扩 散 的 基 本知识 氧 化、 扩 散 设 备 工作菜单清单 氧 化、 扩 散 安 全 防护要求 氧化扩散 工 艺 操作 质 量 检查 能判断工艺条件是 否满足操作要求 能核对氧化、 扩散 设备 工 艺 菜 单 或 工 作 流 程 是 否满足操作指导书的要求 能完成晶圆片的无 损、 无沾污传送 能按选定的工作菜 单或工作流程完成氧化、 扩 散工艺操作 能进行氧化、 扩散 后晶圆片的表观质量检查 能 检 测 氧 化 层 厚 度 目测氧化后介质层的 颜 色是否均匀 氧 化、 扩 散 设 备 的安全操作规程 氧 化、 扩 散 工 艺 操作作业指导书 显微镜操作常识 高 温 设 备 的 安 全 使用要求 氧 化、 扩 散 工 艺 规范 介 质 层 厚 度 与 颜 色的关系 职业 功能 氧化扩散 化学气相淀积工作内容 记 录 填写 工 艺 方式确认 工 艺 操作 技能要求 能填写氧化、 扩散 工艺随工单及工艺台账 包 括生 产 信 息 管 理 系 统 的 信 息 录入 能对工艺过程形成 的电子文档进行备份保存 能识别需化学气相 淀积 的 晶 圆 片 及 所 用 其 他 原 材料 能选择化学气相淀 积的工艺方式 能选择化学气相淀 积的工艺菜单或工作流程 能确认化学气相淀 积所需的原辅料是否有效 能识读化学气相淀 积设备的运行参数 能判断环境及工艺 条件是否满足操作要求 能核对化学气相淀 积设 备 工 艺 菜 单 或 工 作 流 程 是否 满 足 操 作 作 业 指 导 书 的 要求 能在工艺操作过程 中进行晶圆片无损、 无沾 污 传送 能按选定的工作程 序完 成 化 学 气 相 淀 积 工 艺 操 作职业编码: 续表 相关知识要求 工 艺 记 录 填 写 与 录入要求 电 子 文 档 的 保 护 要求 化 学 气 相 淀 积 基 础知识 化 学 气 相 淀 积 原 材料明细表 化 学 气 相 淀 积 设 备工作程序明细表 化 学 气 相 淀 积 设 备的安全操作规程 化 学 气 相 淀 积 工 艺操作作业指导书 化 学 气 相 淀 积 设 备的安全防护要求 显微镜操作常识 职业编码: 续表 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 化学气相淀积 光刻 质 量 检查 记 录 填写 工 艺 方式确认 能对化学气相淀积 后的 晶 圆 片 进 行 表 观 质 量 检 查 能目测化学气相淀 积的介 质 层 颜 色 是 否 均 匀 并测量介质层厚度 能填写化学气相淀 积工艺 随 工 单 及 工 艺 台 账 包括 生 产 信 息 管 理 系 统 的 信 息录入 能对工艺过程形成 的电子文档进行备份保存 能识别需光刻操作 的晶圆片的类型 能判断采用光刻版 是否符合光刻要求 能 识 别 使 用 的 涂 胶、 显影与曝光等光刻设备 能按光刻操作指导 书的要求确认光刻方式 选 择光 刻 设 备 的 工 作 菜 单 或 光 刻工作流程 化 学 气 相 淀 积 工 艺规范 介 质 层 厚 度 与 颜 色的关系 工 艺 记 录 填 写 与 录入要求 电 子 文 档 的 保 护 要求 光 刻 机 曝 光 的 基 本方式 光 刻 胶 的 基 本 知 识 温 湿 度 对 光 刻 工 艺的影响基础知识 光 刻 版 使 用 保 存 基础知识 职业 功能 光刻工作内容 工 艺 操作 质 量 检查 记 录 填写 技能要求 能识读光刻设备运 行的工艺参数 能判断环境温湿度 是否满足光刻操作要求 能识别光刻胶类型 能完成晶圆片、 光 刻版的无损、 无沾污操作 能完成光刻工艺的 涂胶 前 处 理、 涂 胶、 前 烘、 对准 曝 光 、 显 影 、 坚 膜 等 工 序操作 能对前一道工序送 来的 晶 圆 片 表 面 状 况 进 行 目 检 能检查涂胶后晶圆 片表面光刻胶是否均匀 能完成显影后的表 面质量检查 能完成坚膜后的表 面质量检查 能按要求填写光刻 操作工艺台账及随工单 包 括生 产 信 息 管 理 系 统 的 信 息 录入 能对光刻工艺过程 中形 成 的 电 子 文 档 进 行 备 份 保存 职业编码: 续表 相关知识要求 涂 胶 厚 度 与 均 匀 性的基础知识 对 准、 曝 光 的 基 础知识 显 影、 坚 膜、 去 胶知识 涂 胶 前 处 理 的 基 础知识 光 刻 设 施 使 用 基 本要求 晶 圆 片 目 检 基 础 知识 显 微 镜 使 用 基 础 知识 光 刻 工 艺 记 录 的 填写与录入要求 光 刻 电 子 文 档 的 保护要求 职业编码: 续表 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 能识别需刻蚀的晶 圆片 能确认刻蚀方式 刻 蚀 的 目 的 与 方 工 艺 能按刻蚀操作指导 式方式确认 书要 求 调 用 设 备 的 工 艺 菜 单 不 同 刻 蚀 方 式 的 或刻蚀工作流程 能确认晶圆片刻蚀 掩蔽层类型 能识别刻蚀设备的 运行参数 能进行刻蚀晶圆片 的完整传送 特点及应用基础知识 刻 蚀 设 备 的 安 全 刻蚀 工 艺 操作 质 量 检查 能 监 视 刻 蚀 温 度、 时间 等 关 键 工 艺 参 数 是 否 正 常 能完成刻蚀前的扫 胶 / 打底膜操作 能完成刻蚀后去胶 及去 掩 蔽 层 等 晶 圆 片 表 面 处 理工作 能对刻蚀前的来片 表面状况进行目检 能检查掩蔽层的均 匀性、 完整性是否满足刻 蚀 要求 能完成刻蚀后及去 除刻 蚀 掩 层 后 的 表 面 质 量 检 查操作规程 工 艺 参 数 对 刻 蚀 效果的影响基础知识 刻 蚀 后 晶 圆 片 的 处置操作要求 刻 蚀 对 掩 蔽 层 的 基本要求 刻 蚀 质 量 控 制 基 础知识 刻 蚀 效 果 检 查 基 础知识 职业 功能 刻蚀 离子注入工作内容 记 录 填写 工 艺 方式确认 工 艺 操作 技能要求 能按要求填写刻蚀 操作工艺台账及随工单 包 括生 产 信 息 管 理 系 统 的 信 息 录入 能对刻蚀工艺过程 中形 成 的 电 子 文 档 进 行 备 份 保存 能识别需离子注入 的晶圆片的类型 能确认离子注入的 能量、 剂量等是否满足要求 能确认掺杂离子种 类是否与工艺要求相符 能确认安全防护措 施是否满足工艺要求 能识读离子注入机 运行的工艺参数 能检查离子注入的 安全 连 锁 及 防 护 用 品 是 否 有 效 能根据工艺要求设 置离子注入掺杂剂类型、 加 速电 压 、 束 流 大 小 、 分 析 磁 场、 注 入 时 间、 扫 描 次 数、 真空度等工艺参数 能完成晶圆片注入 过程中的无损、 无沾污传送 职业编码: 续表 相关知识要求 刻 蚀 工 艺 记 录 的 填写与录入要求 刻 蚀 电 子 文 档 的 保护要求 离 子 注 入 的 基 础 知识 离 子 注 入 机 的 主 要构成 离 子 注 入 的 安 全 防护基础 离 子 注 入 掺 杂 的 目的 离 子 注 入 机 安 全 操作规程 离 子 注 入 掺 杂 基 础知识 离子注入的能量、 剂量的范围要求 离 子 注 入 晶 圆 片 安全传送要求 职业编码: 续表 职业 工作内容 技能要求 相关知识要求 功能 能识别离子注入晶 离 子 注 入 目 检 基 质 量 圆片的表观质量 本要求 检查 能判断离子注入后 工 艺 参 数 监 测 要 离子注入晶圆片是否存在明显缺陷 能填写离子注入工 艺台账及随工单 包括生 产 求 离 子 注 入 记 录 填 退火 记 录 填写 工 艺 方式确认 工 艺 操作 信息管理系统的信息录入 能对离子注入工艺 过程 形 成 的 电 子 文 档 进 行 备 份保存 能识别需进行退火 的晶圆片 能识别不同的退火 方式 能确定采用的退火 方式是否满足工艺要求 能确认退火设备的 水、 电、 气状态是否满 足 要 求 能识读退火设备的 工作参数 能根据掺杂类型的 不同选择退火设备 能选择退火设备的 工作 菜 单 或 工 作 流 程 完 成 退 火操作 能完成退火晶圆片 的无沾污、 无损传送 写与录入要求 离 子 注 入 电 子 文 档保护要求 退 火 的 目 的 与