FIB操作.doc

Helios NanoLab操作规章一 样品要求样品类型：非磁性块体和粉末材料。样品卫生：保证样品表面清洁，更换样品要戴橡胶手套。样品尺寸及重量：长*宽100*100mm，高20mm，重量=2Z)以及图形左侧，再用Cleaning Cross Section及较小电流对两侧进行清洗，中间预留约1um左右宽度的样品。3. 倾转样品台到0，在1um宽样品的下方用Rectangle将样品底部与基体分离。4. 再次校准Eucentric Position，将将要进针的位置调节到Eucentric Position，并倾转52。记录样品台Z值为基准工作高度，在此基础上将样品台下降2mm。5. 做一次Easylift系统校正。6. 调整样品台回到基准工作高度（如果样品表面起伏比较大，应当采用试探的方式逐渐提高样品台的高度）。7. 聚焦获得较清晰样品照片，按照针尖离样品较远时大步长调整，按照针尖离样品较近时小步长调整，使Easylift针尖逐步靠近样品，直到针尖到与样品轻微接触（样品出现轻度变形）。8. 利用GIS气体沉积将样品与针尖连接在一起(一般为样品左侧)；9. 用Rectangle大电流切样品右侧使其与基体分离。10. 移动针尖到Park position位置，将针尖抽回。11. 将需要粘接样品的位置调整到Eucentric position，并倾转52。在Easylift界面中选择parking position位置进针。聚焦获得较清晰样品照片，按照针尖离样品较远时大步长调整，按照针尖离样品较近时小步长调整，使Easylift针尖上的样品逐步靠近粘接位置，直到针尖上的样品到与粘接位置轻微接触（样品出现轻度变形）。12. 将样品与放置位置处基体利用GIS气体沉积连接在一起，用Rectangle切断样品与针尖的联系；13. 收回Easylift针。 八 结束实验:1. 确定系统状态： Beam Shift、Stigamator归零，电子枪高压关闭； Beam Shift、Stigamator归零，离子枪高压关闭，离子源处于冷却状态； GIS气体源冷却，气体针已回收； EasyLift针已回收； 样品台水平，归中，样品台高度降到4mm一下。2. 确定上述状态全部合格后，等待1分钟再点击Vent放样品室真空。(关闭电子束和离子束高压是有一个过程，需要一段时间，如果点击Beam on以关闭电子/离子束，马上放真空会造成仪器损伤)；3. 更换完样品后要点击Pump保证样品室达到真空状态。九 拷贝数据：周二，周五晚18：30拷贝数据。离子束的四种状态：1绿色：离子源状态很稳定，电流一般在2.2uA。2红色：离子源状态很不稳定，要么是没有电流要么电流过大，这个时候探测器不能打开。3黄色：离子源状态比较稳定，电流在2.2uA左右波动，但是一般不开探测器。4紫色：离子源处于加热状态。特殊情况下，Pt针和Easylift针的使用方法：如果样品表面起伏比较大的话，为了确定能不能用Pt和Easylift，应当采用逐步上升样品台试探的方法。如果发现在使用Pt和Easylift时，样品表面和针尖的差距比较大的时候，移动针尖会跑出电子束离子束的同步扫描区域时，可以考虑移动样品台。（怎么快速的找到样品？）现在固定好的Stage（样品架），转过-15，其四个手臂将平行或者垂直于样品室舱门，即平行