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SilvacoTCAD Atlas 目录 SilvacoTCAD Atlas简介Atlas器件仿真步骤实例操作演示 SilvacoTCAD Atlas简介 SilvacoTCAD软件用来模拟半导体器件电学性能 进行半导体工艺流程仿真 还可以与其它EDA工具组合起来使用 比如spice 进行系统级电学模拟 Sentaurus和ISE也具备这些功能 SivacoTCAD为图形用户界面 直接从界面选择输入程序语句 非常易于操作 其例子教程直接调用装载并运行 是例子库最丰富的TCAD软件之一 你做的任何设计基本都能找到相似的例子程序供调用 SilvacoTCAD平台包括工艺仿真 ATHENA 器件仿真 ATLAS 和快速器件仿真系统 Mercury 尤其适合喜欢在全图形界面操作软件的用户 Atlas简介 ATLAS器件仿真系统使得器件技术工程师可以模拟半导体器件的电气 光学和热力的行为 ATLAS提供一个基于物理 使用简便的模块化的可扩展平台 用以分析所有2D和3D模式下半导体技术的的直流 交流和时域响应 ATLAS器件仿真系统 无需昂贵的分批作业试验 即可精确地特性表征基于物理的器件的电气 光学和热力性能 解决成品率和工艺制作过程变异的问题 使其达到速度 功率 密度 击穿 泄漏电流 发光度和可靠性的最佳结合 完全与ATHENA工艺仿真软件整合 具有完善的可视化软件包 大量的实例数据库和简单的器件输入 最多选择的硅模型 III V II VI IV IV或聚合 有机科技 包括CMOS 双极 高压功率器件 VCSEL TFT 光电子 激光 LED CCD 传感器 熔丝 NVM 铁电材料 SOI Fin FET HEMT和HBT 分支机构遍布世界各地 有专门的物理学博士提供TCAD支持 与专精稳定和有远见的行业领导者合作 在新技术强化上有活跃的发展计划 直接把ATLAS结果输入到UTMOST进行SPICE参数提取 将TCAD技术应用到整个流片 Tapeout 过程 用Atlas语法直接进行器件描述 然后进行器件性能仿真 Atlas器件仿真步骤 启动Atlas软件网格的定义材料区域的定义电极 掺杂 材料特性和模型特性等的定义器件输出特性 I V曲线 的仿真用tonyplot输出仿真结果 启动Atlas软件 在LINUX系统下 输入deckbuild as 进入Atlas操作界面 Goatlas开始运行 网格的定义 网格的定义 x y坐标的起始位置 终止位置以及网格空间间隔 网格的疏密决定仿真结果的精确程度 材料区域的定义 材料区域的定义 定义各个区域材料 并用polarizationcalc strain等申明极化效应 并对极化效应大小及极化电荷密度进行计算 电极 掺杂 材料特性和物理模型等的定义 定义电极 定义掺杂 定义材料特性 选
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