无尘室及空调设计施工规范.doc

无尘室及空调设计施工规范.txt用快乐去奔跑，用心去倾听，用思维去发展，用努力去奋斗，用目标去衡量，用爱去生活。钱多钱少，常有就好！人老人少，健康就好！家贫家富，和睦就好。 本文由yunflame贡献 doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 无尘室一般空调 无尘室一般空调C/R & HVAC系统 设计施工规范书 设计施工规范书 1.一般说明 1.0 一般说明 1.1 设计说明 1.2.工程范围 1.3.法规与标准 1.4.文件图说 1.5.适用条件 2.产品材料说明 2.0 一般说明 2.1 设计说明 2.2.工程范围 2.3.法规与标准 2.4.文件图说 2.5.适用条件 3.施工说明 3.0 一般说明 3.1 设计说明 3.2.工程范围 3.3.法规与标准 3.4.文件图说 3.5.适用条件 1.1. 设计说明: 3 1.1.1.设计说明: 洁净室环境必须保持精密而稳定的控制，使晶源制程不受环境的干扰。在不同的气候区， 外气条件差异甚大，外气空调箱的设计调整洁净室空气质量。不同的天气季节，外气空调箱 各 单元所需要的设计容量符合全年气候变化。设计出最佳的外气空调箱设计型式。 洁净室的 环境 主要以 DRY COIL 控制温度与 MAU 控制湿度，亦控制其它如静电、气状污染物污染因子。洁 净室内 的温、湿度条件一年四季均维持固定， 洁净室温度设定值为 222，相对湿度为 50 %RH5。 建厂的规划。广东地区的气候条件差异甚大。气温夏季为 38，最冷的天气大约是 7；在 这种 状况下，洁净室要保持固定的温、湿度，外气空调箱的设计必须随着气候区的不同而调整。 然 而， 夏天通常为高温、 高湿的气候， 冬天则通常是低温与低湿的气候条件。 外气空调箱(MAU) 主 要的功能，就是克服外在环境的变化，使进气可以调整到符合洁净室规格后，补充洁净室新 鲜 而质量稳定的进气。外气空调箱主要由除湿盘管、加热盘管、加湿器、风车与滤网所组成。 当 外气湿度高于洁净室需求时， 除湿盘管将外气温度降到露点而达到除湿目的； 除湿后空气温 度 约 89，低于洁净室的需求，再热盘管将温度提升到符合洁净室进气标准后送进洁净室 的回 风区。当冬季外气条件低于洁净室需求时，加热盘管将进气温度提升，而加湿器则补充不足 的 湿度。本洁净室以 MAU+DRY、COIL+FFU 组合。 1.1.1.1.室外 1.1.1.1.1.空调系统负荷计算参数及分析 室内热负荷计算参数基准设定值夏季空气设计条件：干球温度：36.9、湿球温度： 31.5。 夏季平均室外风速及风向：2.5m/s、SW 或 NE。 冬季空调设计条件：干球温度：5、相对湿度：70% 冬季平均室外风速及风向：3.2m/s、NE 冷却水塔设计湿度球温度：29 1.1.1.2.系统说明 1.1.1.2.1.水系统分类 1.1.1.2.1.1.冷却水系统：3237。 1.1.1.2.1.2.冰水系统：613。 1.1.1.2.1.3.Dry Coil 系统：1318。 1.1.1.2.2.冷却水系统设置说明 冷却水塔设于动力房屋外架高，采用方型低噪音冷却水塔减少噪音及振动产生， 以达相关法规定。配合冰水主机分期设置，采购 3 台（2+1）1200RT 冷却水塔，即 可符合全建筑之需求。 1.1.1.2.冰水系统设置说明 1.1.1.3.本期工程 4 全系统总量为 1000RT *2，并备用一 1000RT 之空间作为未来冰水主机扩充使用。如此可 符合本期之需求及机房空间最小使用量，且因运转容量约为 0.9，此效率较全载运转用电更 为 节省(二台使用一台备用)。 热负荷: 如表附后 1.1.1.3.1.冰水侧为 V W V 可变流量系统，多组区域冰水皆设压力传感器及温度感知器， 经中央监控可分区计算各区空调使用量。 1.1.1.3.2.各台空调箱机组设置冰水控制阀，可依各区室内负荷调整冰水量，维持室内温 度条件及节约能源。 1.1.1.3.3.冰水系统约分为 4 大系统： 1.1.1.3.3.1.MAU 及机房空间空调。 1.1.1.3.3.2.办公区空调。 1.1.1.3.3.3Dry Coil System。 1.1.1.3.3.4.制程冷却水系统。 1.1.1.3.4.冰水机房配置（一期） ： 1.1.1.3.4.1.空调冰水主机 1000RT2 台( 1000RT+1 备用) 1.1.1.3.4.2.冷却水塔 1200RT2 台(1200RT+1 备用) 1.1.1.3.4.3.冷却水泵浦 12000LPM2 台(12000LPM+1 备用) 1.1.1.3.4.4.冰水一次泵浦 7800LPM2 台(7800LPM+1 备用) 1.1.1.3.4.5.冰水二次泵浦含变频马达 7200 LPM2 台(7200LPM+1 备用) 出水温度为 6 出水温度为 13 1.1.1.3.5.冰水主机及泵浦等设备设置于动力房，冷却水塔安装于动力房屋面高架。 1.1.1.4.室内设计条件 total: 1f：6890 m2, Zone Description ILLUMINATE %RH Cleanliness Press 高架 半导体 科 技 有 限 公 司（二号厂房） 5 Ceiling hight Area 地板 M2 LUX DB Class um (Pa) m LED 目检区 275 10,000 2.5 LED E-GUN 710 10,000 LED ETCH 430 600 22 2 50 5 1,000 0.3 20 3.5 80cm LED 黄光区 130 400 22 2 50 5 1000 0.3 20 3.5 80cm LED 无尘更 衣室 70 300 25 2 na 10,000 0.3 510 3.5 无 LED 千级更 衣室 30 500 24 na 1,000 0.3 10 3.5 LED 参观走 道 145 300 25 2 na 5,000 0.3 10 3.5 LED 特气房 65 300 na na na 0.5 负压 无 LED 泵浦区 90 300 na na na 0.5 10 无 80cm 微波 仓库 240 300 na na na 0.5 na 3.5 无 微波 B/S 425 600 22 2 50 5 1,000 0.3 20 3.5 微波 B/S 黄光区 20 400 22 2 50 5 100 0.3 20 3.5 微波 QC 420 600 22 2 50 5 1000 0.3 20 3.5 80cm 微波 黄光区 700 400 22 2 50 5 10 0.3 20 3.5 80cm 微波 T/F 160 1 FL 微波 ETCH 190 600 22 2 50 5 100 0.3 20 3.5 80cm 微波 T/F 机台维修区 660 600 na na na 0.5 10 3.5 80cm 微波 ETCH 机台维修区 680 600 na na na 0.5 10 3.5 80cm 微波 维修区 515 500 25 2 50 5 10,000 0.3 20 3.5 80cm 无尘更衣室 70 300 25 2 50 5 na 0.5 510 3.5 无 化学房 75 气体房 130 300 na na na 0.5 负压 3.5 无 操作走道 135 600 24 na 100 0.3 20 3.5 80cm move in 走道 360 300 24 na 5,000 0.3 10 3.5 80cm 仓库走道 160 300 na na na 0.5 na 3.5 无 半导体 科 技 有 限 公 司（二号厂房） 6 1.1.1.4.1 依据 Fed Std 209E 及 ISO/TC209 CHINA N-5 规定洁净度标准。 1.1.1.4.2.设计噪音为 65db(A)以下。 1.1.1.4.3.以上条件除洁净等级于 AS Built 验收。 1.1.1.5.本规范如有任何疑虑、依业主及顾问解释为准。 1.2 工作范围 1.2.1.依业主提供所有区域之工程图样所包括之内容,进行施工、制造、搬运、清洁、安装、 平衡测试等相关工程其内容概要。 1.2.2.本工程为责任施工,承包商应于施工前详加检讨工程性能,以工程、验收结果能符合 1.1 为准,为此目的如需变更或增加设计内容,承商须先获业主同意,并不得要求加 价。 1.2.3.承包商应于隔间完成时,视必要设置临时送风设施维持无尘室内正压。 1.2.4.承包商须规划无尘室管制办法呈送业主审核,并于管制阶段于出入口设置管理员及 每日随时清洁的工作,其所须之费用由各承包商依工程比例分担。 1.2.5.管制阶段所须使用之无尘衣、鞋、手套,由承包商自行提供。 1.2.6.所有穿越无尘室之管线,由 C/R 承包商整合,并施作气密填实如穿越防火隔间则另需 以防火填塞处理,并呈送业主审核。 1.2.7.其它配合事项及工地管理: 1.2.7.1.工地之材料按合约指定厂牌、规格、进场集中堆放管理。 1.2.7.2.工地有缺失部份,经业主监工人员发现时,应于通知三天内完全改善,否则照 合约罚则论处。 1.2.7.3.承包商于进驻工地时,须派有经验之现场负责人提出工地人员组织表,经业 主核定后方得进驻工地。 1.2.7.4.承包商之工人在工地施工中须完全服从业主监工人员之管理。 1.2.7.5.承包商制作之设备或器具,承包商须于制作前送样品经业主同意后方得使 用。 1.2.7.6.承包商于进驻工地时须提出所使用材料之样板经业主同意,其尔后材料均按 此样板为标准。 1.2.7.7.承包商应于开工前配合建筑进度,排定进度表,并依实际状况,随时 update 。 1.2.7.8.属本工程内承包商所制造之垃圾应由承包商负责清理。 1.2.7.9.工地临时水源、电源自承包商自行负责。 1.2.7.10.前列所有事项未载明及施工说明书未载明者,由现场监工人员指示办理并 须遵照不得有异议。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 7 1.2.7.11.业主如需变更图面,厂商应负责向各单位办理变更设计。 1.3.法规与标准 工程之施工必遵守下列最新版之规范及标准,如果规范、标准和本说明书相互抵触时,应依 较严格之要求执行之。 当地主管机关相关劳工安全卫生法规: American Society for Testing &Materials-(ASTM) American welding Society(AWS) American Society of Mechanical Engineers(ASME) ASHRAE 最新版之风管设计及风管构造篇 SMACNA 风管制造标准 NFPA 90A 空调及通风系统之按装。 NEBB 环境系统测试、平衡及调整之标准程序。 FED STD209E ISO 05 CHINA N-5 1.4.文件图说 承包商依照下列所述之交期时限提供送审数据及图面文件: 1.4.1.图面及文件 1.4.1.1.所有规格尺寸,度量衡应使用 SI 制为单位。 1.4.1.2.下列数据为送审必备之资料: 1.4.1.2.1.C/R 工程进度时程表。 1.4.1.2.2.详细材质使用表。 1.4.1.2.3.设备安装图。 1.4.1.2.4.设备基础图。 1.4.1.2.5.管线施工图。 1.4.1.2.6.管线外型圈,包含所有尺寸(长,内径,外径),管线之重量及支撑应具备 之承重能力。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 8 1.4.1.2.7.承包商之运输前准备程序。 1.4.1.2.8.质量保证书。 1.4.1.2.9.设备排列及所附之初期排列计划。 1.4.1.2.10.承包商对设备表面的涂装之数据。 1.4.1.2.11.须业主配合、提供之援助。 1.4.2.除上述之外,须提供 1.4.2.1.测试报告。 1.4.2.2.备品清单(二年)。 1.4.2.3.管线及附件之操作及保养数据。 1.4.2.4.现场料件储放及应注意事项。 1.4.2.5.制造、装配及交货日程表。 14.2.6.设备维修,拆装之工作空间。 1.4.2.7.管线支撑及固定螺丝之细部数据。 1.4.2.8.建筑物须先预留配合套管处之资料。 1.5.适用条件 除另有规定外,所有设备均应满足下列情况: 装置场所:室内及室外。 周温:最高 45,最低 5。 相对湿度:最大 100%。 抗地震: 4 级。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 9 2. 产品/材料说明 2.1.设计需求 2.2.运转测试及工程验收 2.1.设计需求 2.1.1.洁净室工程 2.1.1.1.隔间工程: 2. 1.1.1.1.无尘室之隔间须为 5Ommt 内部纸蜂巢或岩棉,外覆 0.5mmt 烤漆钢 板之库板。 2.1.1.1.2.无尘室内部之隔间金属板依需求採用抗静电材质。 2.1.1.1.3.所有隔间颜色必须一致,颜色由业主指定。 2.1.1.1.4.隔间板之长度最少比室內高度高 5cm。 2.1.1.1.5.隔间之板与板接缝处,在无尘室内部须以水性硅胶气密。 2.1.1.1.6.曝光区窗口为黄色玻璃。 2.1.1.1.7.如隔间为防火区划则库扳需与建筑工程配合设置经认证具防火时 效 2.5 小时之隔间；门窗必须为乙级防火等级。 2.1.1.1.8.天轨、地轨、窗框、踢脚板等零组件,為鋁材質。 2.1.1.1.9.门为气密防火门,等级与被相同。 2.1.1.1.10.隔间须强度计算,并证明符合本工程之强度须求。 2.1.1.1.11.无尘室内所有接缝皆须气密处理。 2.1.1.1.12.隔间板表面,须有保护膜,待完工时撕掉。 2.1.1.2.天花板工程: LED、B/S、QC、ETCH、T/F、PHOTO、维修区采用 ceiling grid ； 更衣室、洁净走道采用库板天花吊顶； 2.1.1.2.1.盲板(PLENUM):双面彩色钢板采用0.6mm。 2.1.1.2.2.骨架系统:采用悬吊系统,材质为铝挤型处理,承重破坏强度 12OOkg,表面须清洁无损伤,外观尺寸公差不得超过 0.3mm。 2.1.1.2.3.吊筋螺栓及吊件:吊筋螺栓使用 3/8规格须有螺桩以利调整高度 水平,外表须电镀处理。 2.1.1.2.4.骨架连接接头:直角接头、三向接头、十字接头采用铝合金精密压 铸一体成型后阳极处理,外形尺寸误差 0.1mm 以下,并能配合撒水 头及防烟垂壁之安装,外形须端正挺宜,不得扭曲变形。 2.1.1.2.5.迫紧(GASKETS):1.5mm 厚,黑色高密度之合成橡胶材质单面,单面 布胶带状,和骨架紧密、贴合,作为合板之间气密使用。 2.1.1.3.高架地板: XX 半导体 公 司（二号厂房） 10 LED 、B/S、QC、T/F、ETCH、PHOTO、维修区, 采用 80cm 高架地板,仓库采 用金刚砂地板,gas room、DI 区、备用间、采用 EPOXY 地板 ,化学房采用耐酸碱 EPOXY 地板。 2.1.1.3.1.表面材质为 2.Ommt 导电地板(W600mmD6OOmmH800mm)。 2.1.1.3.2.地扳表面阻抗为 2.51061109。 2.1.1.3.3.高架地板荷重” 700kg/m2，铝制系列。 2.1.1.4.Epoxy 工程 2.1.1.4.1.确认混泥土表面之相对湿度 5%以下。 2.1.1.4.2.混泥土表面打毛平整处理。 2.1.1.4.3.底涂、中涂、面漆三道。 2.1.1.4.4.干燥后地板厚度最少 3mmt,墙面及天花 200mt。 2.1.1.5.金刚砂工程 2.1.1.5.1. 基层找平:当基层混凝土达到初凝阶段,将面层局部密水清扫干 净，用铁圆盘地合机械对基层进行打磨、振荡、提浆，并用铝合金靠尺进行找平。 2.1.1.5.2. 布撒第一遍硬化剂：当混凝土基层完成找平层后，用 2/3 的硬化 剂材料进行均匀布撒，待材料充分吸收混凝土中的水分，颜色变暗后，即可用木 抹或电动抹光机开始第一次抹平。 2.1.1.5.3. 布撒第二遍硬化剂：当第一次材料抹光完成的后，将余下的 1/3 硬化剂材料均匀地撒布，方面与第一遍垂直，再用机械结合手工木抹，铁抹对整 体平面和边角进行第二次抹平。 2.1.1.5.4. 抹平、收光：当第一次抹平的基层达到足够坚硬不会被破坏时， 用电动抹光机完成最后的抹平，收光，先低速后高速，达到最佳效果为止。 2.1.1.5.5.养护：当收后的地面 2-3 小时后，用养护液对面进行涂刷，用量 5-9m2/升。2.1.1.4.4.干燥后地板厚度最少 3mmt,墙面及天花 200mt。 2.1.1.5.6.切缝、嵌缝：为了防止混凝聚力地面应力产生裂缝，对面进行切 缝，并用沥青嵌缝，间隙尺寸及缝深根据土建设计要求进行。 2.1.1.6.空气浴尘室 air turner type 2.1.1.6.1.内部尺寸:隧道式 4000(L)1500(W)2150(H)mm，双人式 1500(L) 1000(W)2100(H)*2mm (尺寸配合现场施作调整)。 2.1.1.6.2.高效率过滤网:效率高于 99.99%DOP(0.3m),尺寸 610X610 68(t)mm4 片。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 11 2.1.1.6.3.初级过海网:不织布,尺寸 600350倍(t)mm(铝框)4 片。 2.1.1.6.4.风量:喷洗时 - 32CMM。 循环时-8CMM 2.1.1.6.5.风速:喷洗时约 2028 m/s。 2.1.1.6.6.风循环次数:喷洗时一约 380720 次/Hr 循环时一约 170 次/Hr。 2.1.1.6.7.本体材质:泠扎钢板,厚度 1.2mm (t)。 2.1.1.6.8.操作及控制方式: 2.1.1.6.8.1.由更衣室侧进入浴尘室时门关好后自动启动,运转指示灯 由绿灯转为红灯;I 啧洗完成后再转为绿灯。 2.1.1.6.8.2.由洁净室侧进入浴尘室时,不会有喷洗动作,以节约能源。 2.1.1.6.8.3.在无人使用之状态下,浴尘室本身采低速运转,以保持清净, 并防止外气进入而污染。 2.1.1.6.8.4.电子式连锁装置,可避免内部喷洗时,门被打开或两边门被 开。 2.1.1.6.8.5.喷洗时间 O6Osec ,可调整式 timer。 2.1.1.6.8.6.当电源中断,电子式连锁装置自动解除。 2.1.1.6.8.7.附喷洗时自动/手动变换开关,无熔丝开关,风车开关电灯 开关。 2.1.1.6.8.8.门之型式:铝门附进口门弓器。 2.1.1.6.8.9.压差风门:尺寸:600450255(mm)（尺寸仅供参考） 。 2.1.1.6.8.10 3 组更衣室 (每一组)配备 6 组 自动给水给皂机洗手机, 送水排水接到引入点 2.1.1.6.8.11.在同一时间,只能开启一边门,避免二门同时开启而让外 气污染到洁净室。 2.1.1.6.8.12.当一边门开启时,另一边之蜂鸣器及指示灯,产生五鸣响 及内镖,以便通知另一边之人员。 2.1.1.7.AlR LOCK ROOM 3 SET 2.1.1.7.1.内部尺寸: 9200(W)2600(D)3000(H),4500(W)2400(D) 3000(H)，900(W)1500(D)2000(H) 2 (尺寸配合现场施作调 整) 2.1.1.7.2. 机械连锁装置:在同一时间,只能开启一边门,避免二门同时开启 而让外气污染到洁净室。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 12 2.1.1.8.悬吊系统 2.1.1.7.1.共同悬吊系统之负重以能支撑天花板内全部对象重量为考虑,并 有 1.5 倍之安全系数。 2.1.2.无尘室空调系统: 2.1.2.1.1. 高架地板区: 侧边回风(LED 、B/S、QC、T/F、ETCH、PHOTO、 维修区) 2.1.2.1.2. 更衣室 包柱回风 2.1.2.1.3.外气空调箱(MAU):MAU 风量详细设计图， 如附表 MAU 的规格如下： 型号 数量 风量 加湿量 制冷量 制热 量耗电量 机外 静压 初效 过滤 中效 过滤 HEPA 3 台 （ 变频） 100000 CMH 350 KG/h 1600 kw 700 kw 1200 kw 800 pa 30% 0.5 m 0.3 m 95% 99.95% 0.3m 注：MAU 的流程：初效过滤器中效过滤器表冷段加热段加湿段消声段高效过 滤器 型 号 数量 风量 加湿 量 制冷 量 制热 量 耗电 量 机外 静压 初效 过滤 中效 过滤 HEPA 3 台 （ 变 频） 30000 CMH 120 KG/h 480 kw 250 kw 400 kw 600 pa 30% 0.5 m 0.3 m 95% 99.95% 0.3m 注：MAU 的流程：初效过滤器中效过滤器表冷段加热段加湿段消声段高效过 滤器 2.1.2.2.MAU 除依设计条件规划外,另需于中效率过滤网下游,预留化学过滤网空 间。 2.1.2.3.冰水干盘管(DRY COlL)1285x204x820 mm（尺寸仅供参考） ,flow 27.5 lpm 镀锌 DN20 牙 280 个 2.1.2.3.1.干盘管能量需能完全达到室内温湿度设定要求。 2.1.2.3.2.干盘管需确保完全无冷凝水产生。 2.1.2.3.3.盘管表面风速应不超过 3m/s 为原则。 2.1.2.3.4.盘管空气侧压降需配合 FFU 机外静压选择。 2.1.2.3.5.盘管表面鳞片需蓝波处理，抗腐蚀。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 13 2.1.2.4.过滤风扇组(FFU): 2.1.2.4.1.锌铝合金为外壳的标准材质。 2.1.2.4.2.外壳具有坚固的结构,使人员可踩于其上进行维护保养的工作。 2.1.2.4.3.监控系统 2.1.2.4.3.1.由 PLC 編程軟件的个人计算机(PC)、主 PLC、(Siemens) 附属 PLC 及远距控制装置所组成, PLC,MOD BUS 通讯界面。 2.1.2.4.3.2.控制与监视方式: 2.1.2.4.3.2.1.单台控制与监视 2.1.2.4.3.2.2.整体控制与监视 2.1.2.4.3.2.3.区域控制与监视 2.1.2.4.3.2.4.群组控制与监视 2.1.2.4.3.3.风扇速度 AC 马达無段变速可调整速度控制, 分多回路群组控制 2.1.2.4.3.4.警报指示 具通讯错误及马达本身两种警报。 2.1.2.5.HEPA 及 ULPA FlLTER。 2.1.2.5.1.尺寸: 570(W)1170(L)68(H) (尺寸仅供参考) 。 2.1.2.5.2.CLASS1O 采 ULPA FlLTER,其他洁净等级采用 HEPA FILTER。 2.1.2.5.3.最终压损于 50mmAq 以下。 2.1.2.5.4.HEPA 补集效率:99.997%(0.3m DOP) 。 2.1.2.5.5.ULPA 补集效率:99.9995%(0.12m DOP) 。 2.1.2.5.6. AC 220 单相。 2.1.2.5.7 风量:断面风速为 0.30.45ms , 压损 90120pa ,噪音 53 dbA 消耗 功率 110190 W 。 2.1.2.6.送回风管道 SA/RA : 镀锌铁皮,方寸法兰接口,橡胶 PACKING 接合,并以金属胶带黏 贴泄漏率0.5L/m3/hr.3 m 吊挂固定，橡塑保温棉 3cm 厚。 2.1.2.7.界面：洁净室内消防由消防工程负责, 洁净室工程负责提供 ceiling-grid 十字 街头给与消防工程洒水头连接。 洁净室工程提供电力供应至 FFU ,照明,插座 MAU、AHU 等电源 2.2.运转测试及工程验收 2.2.1. 承包商需先提送各系统运转测试计划,测试方式以 NEBB 环境系统测试平衡及调 整程序标准执行,经业主签认后始可测试,使系统运转以证明系统已加适当之调 XX 半导体 公 司（二号厂房） 14 整及平衡,并证明其功效符合图说要求。 2.2.2.此项测试,最小应在建筑物所产生的热量及冷量的情形下,做四小时的测试。 2.2.3.仅作一季的测试,在未经测试的季节,应作必要的调整,证明该系统在未经测试 的季节,其功效也能符合图说要求。 2.2.4.无尘室空调工程验收标准及方法 验收标准及方法,依美国联邦规格 FED STD209E 简述如下: 2.2.4.1.测试条件 洁净室之测试条件需分为工程完成时(AS-Built)、停止工作态(AT-REST)、 工作时(OPERATlONAL),三个情况状态,则按照其条件下做测试与记录。 2.2.4.2.测试环境及项目 需要记录洁净室或洁净区域之测试环境。测试环境含气流流速、换气次数、 室压、外气量、温度、湿度、噪音、振动及人员之动作等项目。 2.2.4.3.测试位置和测试数: 依非单一方向洁净区域之等级所需要之最少测试点数为: 室内面积(m2) / 10m=测试点数(m:为 Sl 制洁净等级) 单一方向洁净区域之等级所需要之最少测试点数为: 室内面积(m2) / 64 10m =测试点数(m:为 Sl 制洁净等级) 依计算所得于室内平均测试之另需配合业主需求测试。 2.2.4.4.测试位置注意事项: 2.2.4.4.1.测试点要平均分配。 2.2.4.4.2.各测试点须一个以上之取样数。 2.2.4.4.3.全区至少要五个以上之取样数。 2.2.4.4.4.各测试点取样不一样亦可。 2.2.4.5.洁净室之洁净度适合基准: 各测试点测试之粒子浓度平均值应在 CLASS 上限值以内。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 15 2.2.4.6.无尘室测试及验收项目(一) NO. TEST ITEMS TEST PHAS 1 风速及空气气流均度 A/R 2 空气洁净度 A/R 3 室内正压 OPER 4 照度 A/B 5 噪音 A/B 6 温度 OPER 7 相对湿度 OPER 8 HEPA FILTER 泄漏尘量 A/R 9 H.V.A.C.CAPACITY OPER 说 明 A/B:AS-BUILT;A/R:AT-REST;OPER:OPERATION 2、3、6、9 承包商仍需依 OPER 测试供业主参考。 2.2.4.7.测试及评价验收基准: 2.2.4.7.1 评价验收标准: 依 FED STD-209E 每一测量点之风速值均在设计值之 20%以内。 2.2.4.7.1.1.空气洁净度 2.2.4.7.1.1.1.使用仪器: 使用光散乱式粒子计数器(LASER PARTlCLE COUNTER) 取样之流量 1CFM。 2.2.4.7.1.1.2.测量程序: 距离 RAISED FLOOR 或一般地面 1.2 米高度量测。 测量点之周围 6Ocm 半径内无碍染源。 2.2.4.7.1.1.3.测量点: 依 FED STD-209E 规范要求 2.2.4.7.1.1.4.评价验收标准:依 FED STD-209E 规范要求 在各测量点之平均量值均应在上述规范内。 2.2.4.7.1.2.室内正压 2.2.4.7.1.2.1.使用仪器为斜式气压计或差压计,最小读数 0.05MMAQ 以下。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 16 2.2.4.7.1.2.2.评价验收标准:各区测量数据之测量值之平均需小于 等于设计值。 2.2.4.7.1.3.温度及湿度: 2.2.4.7.1.3.1.使用仪器: 使用仪器为温度及湿度计(DB THERMOMETER RH lNDlCATOR OR WET THERMOMETER,OR ELECTRONic DlGlTAL RH METER) 仪器最小读数在 0.1,0.2%RH 以下,ACCURACy:0.2,0.2%RH。 2.2.4.7.1.3.2.测量程序: 需待风速及空气气流均匀度测量完成,空调送风系统平衡连续运转至 少 24 小时以上才进行测量。 距离 RAlSED FLOOR 或一般地面 1.5 米高度量测。 温度及湿度必须同时测量。 测量时,其指示值应至不变化始可记录。 2.2.4.7.1.3.3 测量点: 每区各隔间 3.Om3.Om GRlD 中心下为测量点。 每一点均测三次,取平均值为测量值。 2.2.4.7.1.3.4.评价验收标准: 各区所有测量点之平均值均位于该区之设计值计范围。 2.2.4.7.1.4.HEPA 或 ULPA FILTER 泄漏测量 2.2.4.7.1.4.1.使用仪器: 使用光散乱式粒子计数器(LASER PARTICLE COUNTER) 2.2.4.7.1.4.2.测量程序: 测量位置为离 FiLTER 下 2.5cm5.0cm 处,以小于 5cm/sec 速度进行测 漏。 2.2.4.7.1.4.3.测量点: 测量 FlLTER FACE(FILTER MEDlUM,FRAME SEAL)及 FILTER FRAME 与 CElLING CHAMBER 之交接处。 2.2.4.7.1.4.4.评价验收标准:取样 Particle size :ULPA 以 0.12m 为 BASE。 2.2.5.无尘室完工后需依业主要求全面清洁并管制再行测试微尘粒,直到测试静态之 要求,再行交给业主。 2.2.6.本工程完工时,承包厂商应以书面通知业主办理验收,业主接获承包厂商之书面 通知后,于正式验收前三日以上通知承包厂商会同验收。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 17 2.2.7.业主正式办理验收时,承包厂商需派员会同,届时若承包厂商未派员会同验收, 业主得自行为之,对业主验收之结果,承包厂商不得异议。 2.2.8.工程验收时,业主得自行或要求承包厂商挖阅或拆除工程之一部份,以供查验, 承包厂商应照办,并于验收完竣后予以修复完整,其费用由承包厂商负担。 2.2.9.验收不合格者,承包厂商应在指定期限内修改妥善,再通知业主办理复验,前述 验收有关之规定于复验时准用之。 2.2.10.本工程经正式验收完毕后,由业主发给完工验收证明书,并由承包厂商出具工 程保固切结书。 3. 施工说明 3.1 洁净室及通风与空调工程： 通风与空调工程施工规范 3.1. 通 则 3.1.1.1 为了加强建筑工程质量管理，统一通风与空调工程施工质量的验收，保证工程 质量，制定本规范。 说明：3.1.1.1 本条文阐明了制定本规范的目的。 3.1.1.2 本规范适用于建筑工程通风与空调工程施工质量的验收。 说明：3.1.1.2 本条文明确了本规范适用的对象。 3.1.1.3 本规范应与现行国家标准建筑工程施工质量验收统一标准GB 503002001 配套使用。 说明：3.1.1.3 本条文说明了本规范与建筑工程施工质量验收统一标准GB 503002001 隶属关系，强调了在进行通风与空调工程施工质量验收时，还应执行上述标 准的规定。 3.1.1.4 通风与空调工程施工中采用的工程技术文件、承包合同文件对施工质量的要求 不得低于本规范的规定。 3.1.1.5 通风与空调工程施工质量的验收除应执行本规范的规定外，尚应符合国家现行 有关标准规范的规定 说明：3.1.1. 通风与空调工程施工质量的验收，涉及较多的工程技术和设备，本规范不 可能包括全部的内容。为满足和完善工程的验收标准，规定除应执行本规范 的规定外，尚应符合现行国家有关标准、规范的规定。 3.1.2 术 语 3.1.2.1 风管 air duct 采用金属、非金属薄板或其它材料制作而成，用于空气流通的管道。 3.1.2.2 风道 air channel XX 半导体 公 司（二号厂房） 18 采用混凝土、砖等建筑材料砌筑而成，用于空气流通的通道。 3.1.2.3 通风工程 ventilation works 送风、排风、除尘、气力输送以及防、排烟系统工程的统称。 3.1.2.4 空调工程 air conditioning works 空气调节、空气净化与洁净室空调系统的总称。 3.1.2.5 风管配件 duct fittings 风管系统中的弯管、三通、四通、各类变径及异形管、导流叶片和法兰等。 3.1.2.6 风管部件 duct accessory 通风、空调风管系统中的各类风口、阀门、排气罩、风帽、检查门和测定孔等。 3.1.2.7 咬口 seam 金属薄板边缘弯曲成一定形状，用于相互固定连接的构造。 3.1.2.8 漏风量 air leakage rate 风管系统中，在某一静压下通过风管本体结构及其接口，单位时间内泄出或渗入的空气 体积量。 3.1.2.9 系统风管允许漏风量 air system permissible leakage rate 接风管系统类别所规定平均单位面积、单位时间内的最大允许漏风量。 3.1.2.10 测风率 air system leakage ratio 空调设备、除尘器等，在工作压力下空气渗入或泄漏量与其额定风量的比值。 3.1.2.11 净化空调系统 air leaning system 用于洁净空间的空气调节、空气净化系统。 3.1.2.12 漏光检测 air leak check with lighting 用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其它连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗 漏部位及数量的方法。 3.1.2.13 整体式制冷设备 packaged refrigerating unit 制冷机、冷凝器、蒸发器及系统辅助部件组装在同一机座上，而构成整体形式的制冷设 备。 3.1.2.4 组装式制冷设备 assembling refrigerating unit 制冷机、冷凝器、蒸发器及辅助设备采用部分集中、部分分开安装形式的制冷设备。 3.1.2.15 风管系统的工作压力 design working pressure 指系统风管总风管处设计的最大的工作压力。 3.1.2.16 空气洁净度等级 air cleanliness class XX 半导体 公 司（二号厂房） 19 洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等 级标准。 3.1.2.17 角件 corner pieces 用于金属薄钢板法兰风管四角连接的直角型专用构件。 3.1.2.18 风机过滤器单元（、） fan filter（module）unit 由风机箱和高效过滤器等组成的用于洁净空间的单元式送风机组。 3.1.2.19 空态 asbuilt 洁净室的设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员在场。 3.1.2.20 静态 atrest 洁净室的设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的方式运行，但无 生产人员。 3.1.2.21 动态 operational 洁净室的设施以规定的方式运行及规定的人员数量在场， 生产设备按业主及供应商双方商定 的 状态下进行工作。 3.1.2.22 非金属材料风管 nonmetallic duct 采用硬聚氯乙烯、有机玻璃钢、无机玻璃钢等非金属无机材料制成的风管。 3.1.2.23 复合材料风管 foilinsulant composite duct 采用不燃材料面层复合绝热材料板制成的风管。 3.1.2.24 防火风管 rdfractory duct 采用不燃、耐火材料制成，能满足一定耐火极限的风管。 说明： 3.1. 术 语 本章给出的个术语， 是在本规范的章节中所引用的。 本规范的术语是从本规范的角度赋 予其相应涵义的，但涵义不一定是术语的定义。同时，对中文术语还给出了相应的推荐性英 文 术语，该英文术语不一定是国际上的标准术语，仅供参考。 3.1.3 基 本 规 定 3.1.3.1 通风与空调工程施工质量的验收，除应符合本规范的规定外，还应按照被批准的 设计图纸、合同约定的内容和相关技术标准的规定进行。施工图纸修改必须有设计单 位的设计变更通知书或技术核定签证。 说明：3.1.3. 本条文对通风与空调工程施工验收的依据作出了规定：一是被批准的设计图 纸， 二是相关的技术标准。 按被批准的设计图纸进行工程的施工， 是质量验收最基本的条件。 工程施工是让设计意图转 化成为现实，故施工单位无权任意修改设计图纸。因此，本条文明确规定修改设计必须有设 计 变更的正式手续。这对保证工程质量有重要作用。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 20 主要技术标准是指工程中约定的施工及质量验收标准，包括本规范、相关国家标准、行业标 准、地方标准与企业标准。其中本规范和相关国家标准为最低标准，必须采纳。工程施工也 可 以全部或部分采纳高于国家标准的行业、地方或企业标准。 3.1.3.2 承担通风与空调工程项目的施工企业，应具有相应工程施工承包的资质等级及相 应质量管理体系。 说明：3.1.3. 在不同的建筑项目施工中，通风与空调工程实际的情况差异很大。无论是工 程 实物量，不审工程施工的内容与难度，以及对工程施工管理和技术管理的要求，都会 有所不同，不可能处于同一个水平层次。虽然从国际上来说，工程承包并没有严格的 企业资质规定，但是，这并不符合当前我国建筑企业按施工的能力划分资质等级的建 筑市场管理模式规定的现实。同时也应该看到，我国不同等级的企业，除极个别情况 之外，也确实能体现相应层次的工程管理及工程施工的技术水平。为了更好地保证工 程施工质量，规范规定施工企业具有相应的资质，还是符合目前我国建筑市场实际状 况的。 3.1.3.3 施工企业承担通风与空调工程施工图纸深化设计及施工时，还必须具有相应的设 计资质及其质量管理体系，并应取得原设计单位的书面同意或签字认可。 说明：3.1.3.3 随着我国建筑业市场经济的进一步发展，通风与空调工程的施工承包将逐渐 向 国际惯例靠拢。目前，少数有相当技术基础的大、中型施工企业，已经具有符合国际 惯例的施工图深化和施工的能力，但大部分的中、小施工单位是不具备此项能力的， 为了保证工程质量与国际市场的正常接轨，特制定本条文。 3.1.3.4 通风与空调工程施工现场的质量管理应符合建筑工程施工质量验收统一标准 GB 503002001 第 3.0.1 条的规定。 说明：3.1.3.4 在建筑工程施工质量验收统一标准GB 503002001 中，已明确规定了建 筑 工程施工现场质量管理的全部内容，本规范直接引用。 3.1.3.5 通风与空调工程所使用的主要原材料、成品、半成品和设备的进场，必须对其进 行验收。验收应经监理工程师认可，并应形成相应的质量记录。 说明：3.1.3.5 通风与空调工程所使用的主要原材料、产成品、半成品和设备的质量，将直 接 影响到工程的整体质量。所以，本规范对其作出规定，在进入施工现场后，必须对其 进行实物到货验收。验收一般应由供货商、监理、施工单位的代表共同参加。验收必 须得到监理工程师的认可，并形成文件。 3.1.3.6 通风与空调工程的施工，应把每一个分项施工工序作为工序交接检验点，并形成 相应的质量记录。 说明：3.1.3.6 通风与空调工程对每一个具体的工程，有着不同的内容和要求。本条文从施 工 实际出发，强制制定了承担通风与空调工程的施工企业，应针对所施工的特定工程情 况制定相应的工艺文件的技术措施，并规定以分项工程和本规范条文中所规定需验证 的工序完毕后，均应作为工序检验的交接点，并应留有相应的质量记录。这个规定强 调了施工过程的质量控制和施工过程质量的可追溯性，应予以执行。 3.1.3.7 通风与空调工程施工过程中发现设计文件有差错的，应及时提出修改意见或更正 建议，并形成书面文件及归档。 XX 半导体 公 司（二号厂房） 21 说明：3.1.3.7 本条文是对施工企业提出的要求。在通风与空调工程施工过程中，由施工人 员 发现工程施工图纸实施中的问题和部分差错，是正常的。我们要求按正规的手续，反 映情况和及时更正，并将文件归档，这符合工程管理的基本规定。在这里要说明的是， 对工程施工图的预审很重要，应予提倡。 3.1.3.8 当通风与空调工程作为建筑工程的分部工程施工时，其子分部与分项工程的划分 应按表 3.1.3.8 的规定执行。当通风与空调工程作为单位工程独立验收时，子分部上 升为分部，分项工程的划分同上。 表 3.1.3.8 通风与空调分部工程的子分部划分 子分部工程 分 项 工 程 送、排风系统 通风设备安装，消声设备制作与安装 防、排烟系统 排烟风口、常闭正压风口与设备安装 除尘系统 除尘器与排污设备安装 空调系统 空调设备安装，消声设备制作与安装， 风管 与设备绝热 净化空调系统 风管与配件制作 部件制作 风管系统安装 风管与设备防腐 风机安装 系统测试 空调设备安装，消声设备制作与安装， 风管 与设备绝热，高效过滤器安装，净化设 备安 装 制冷系统 制冷机组安装，制冷剂管道及配件安装，制冷附属设备安装， 管道及设备的防腐与绝热，系统调试 空调水系统 冷热水管道系统安装，冷却水管道系统安装，冷凝水管道系 统安装， 阀门及部件安装，冷却塔安装，水泵及附属设备安装，管道与 设备的 防腐与绝热，系统调试 说明：3.1.3.8 通风与空调工程在整个建筑工程中，是属于一个分部工程。本规范根据通风 与 空调工程中各类系统的功能特性不同，划分为七个独立的子分部工程，以便于工程施 XX 半导体 公 司（二号厂房） 22 工质量的监督和验收。在表 3.1.3.8 中对每个子分部，已经列举出相应的分项工程， 分部工程在验收应按此规定执行。当通风与空调工程以独立的单项工程的形式进行施 工承包时，则本条文规定的通风与空调分部工程上升为单位工程，子分部工程上升为 分部工程，其分项工程的内容不发生变化。 3.1.3.9 通风与空调工程的施工应按规定的程序进行，并与土建及其它专业工种互相配合； 与通风与空调系统有关的土建工程施工完毕后，应由建设或总承包、监理、设计及施 工单位共同会检。会检的组织宜由建设、监理或总承包单位负责。 说明：3.1.3.9 本条文规定了通风与空调工程应按正确的、规定的施工程序进行，并与土建 及 其它专业工种的施工相互配合，通过对上道工程的质量交接验收，共同保证工程质量， 以避免质量隐患或不必要的重复劳动。 “质量交接会检”是施工过程中的重要环节， 是对上道工序质量认可及分清责任的有效手段，符合建设工程质量管理的基本原则和 我国建设工程的实际情况，应予以加强。