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文档简介
化學分析電子術(electron spectroscopy for chemical analysis,ESCA),報 告 人: 李筱菁指導教授:黃文星,目錄,簡介原理應用結論,簡介,目前使用最廣泛的表面分析電子儀:AES,ESCA1960之後AES與ESCA之比較:,原理,光電效應光電子:,Ekin:光電子動能hv:入射電子能量EB:電子束縛能,激發源,ESCA X光光束結構:,應用,電絕緣體,半導體,ESCA,高分子聚合物,腐蝕研究,結論,可利用光電子動能研判表面元素種類及化態ESCA可做表面元素,化學態及測定超薄薄膜厚度激發源的改良使ESCA分析更為精密,Thank you for your attention,
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