阿尔卡特干泵使用注意事项及维护培训

ByBlues Aug 2008 Series2干泵使用注意事项培训 多级罗茨的工作原理 通过以下方式将潜在沉积物最小化 1 通过减小气体经过的中间腔的容积 2 通过在泵的每一级进行N2吹扫从而稀释工艺气体 P和H型 3 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺 从而限制气体在泵内的冷凝 P和H型 干泵的温度控制原理 干泵的氮气吹扫原理 使用时的安全注意事项 当真空泵上方的主开关设置为 0 时 电源接口和主开关之间依然是带电的 如果接触的话会有触电的危险 在服务之前确保将主电源线断开 针对P和H型泵 如果没有氮气流量将会造成严重危害 因此氮气流量需要由工艺设备进行监控 没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备 如必要还需要互锁 如果高于LEL 爆炸极限低点 含量的易燃物质进入真空泵 那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL以下 同时工艺设备需要在真空泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵 使用时的安全注意事项 如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害 因此冷却水流量需要由工艺设备进行监控 如果工艺中有任何腐蚀性的 易反应的 易燃的或氧化性强的介质进入真空泵 则需要在排气口安装监控装置 确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵 另外 也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入真空泵 如果有易燃物质进入真空泵 用户需要在排气口提供可以检测LEL的装置 能够检测到25 的LEL的仪表 当检测到易燃气体含量达到25 的LEL值时停止进入真空泵的气体 使用时的安全注意事项 当真空泵停机时 内部元件 监控系统 变频器 包含充电大于60VDC的电容 依然带电 接触有可能造成严重的伤害 在停泵后 等待1分钟再打开真空泵 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源 在服务之前请释放压力 对于氮气吹扫 断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀 对于冷却水管路 断开进水接头并保持出水管路连接 等待1分钟后 断开出水接头 使用时的安全注意事项 Alcatel并不能控制进入真空泵的气体种类 通常 工艺气体是有毒的 易燃的 有腐蚀性的 易爆的或易发生反应的 由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡 因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的 以保证最终的排放气体符合空气标准 使用时的安全注意事项 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 RT1开关 ADP泵 和RT2开关 罗茨泵 该互锁必须在安装 使用和维护时保证运行 一旦过载保护激活 则电源会切断 真空泵处于安全状态 当真空泵出错时 必须先将错误纠正然后再清除错误 要清除错误 需要将主开关关闭 打开电气箱并将相关保护开关重置为 1 使用时的安全注意事项 真空泵配置了紧停 EMO 回路 当紧停激活时 真空泵进入安全停机状态 若要外部使用 真空泵J1接口上的两个干接点针脚1和4可以提供使用 真空泵的EMO也可以通过J1接口上的针脚2和3进行外部监控 EMO回路由机电元件构成 对其复位将不会激活真空泵 干泵的加油 警告 真空泵发运时并没有加油 油和泵分开发运 同样 建议客户在退回真空泵之前也将油排放 真空泵出厂测试时使用的是Alcatel113合成油 矿物油与合成油不能混在一起使用 我们建议用户依然使用该润滑油 干泵的加油 油位应当在油位视窗的一半 干泵的冷却水连接 冷却水特性 事先处理过的软质水或无腐蚀性的工业用水 PH值在7 5和11之间 硬度1500欧姆 厘米 允许颗粒大小 最大 0 03mm2 固体污染 100mg dm3 温度 10 25 压力范围 绝压3 7bar 30 87psig 进水口 排水口压差 至少2bar 30psig 如果冷却水特性中的 允许颗粒大小 和 固体污染 参数不能满足 请在冷却水路上安装过滤器 干泵的冷却水连接 冷却水路的连接 干泵的冷却水连接 冷却水流量的调节 干泵的氮气吹扫连接 为了确保最好的性能 需要根据以下特性提供过滤后的干燥氮气 露点 22 粉尘 1u m 含油量 0 1ppm 压力范围 30 87psig 绝压3 7bar N2突然大量进入氮气管路会造成内部元件的损坏 在为真空泵加氮气之前先逆时针旋转关闭调压阀 干泵的氮气吹扫连接 氮气流量的调节 干泵的电路连接 主断路器的设定值 建议值 干泵的电路连接 电源连接 用插座 干泵的电路连接 电源连接 直接用电线 干泵的电路连接 对电线的要求 对于ADP122 AWG 12 或2 5mm2 对于ADS602 ADS1202 AWG 10 或4mm2 地线要比3根相线长 确认电机的转向 如果采取的是现场模式 真空泵只有在J1和J14接口上连接了接头 随泵一起发送 时才可以运行 而在远程模式 如果紧停接口并没有远程连接 则必须在J1接口上连接接头 确认电机的转向 将主开关设置到位置1 主开关开 显示灯亮 确认电机的转向 当手动遥控器连接到真空泵上时 监控系统自动识别该真空泵 按 ENTER 键使系统初使化 由于是第一次连接 必须按 CONTROL 键获得对于真空泵的控制权 一个星号显示在屏幕的左上方 确认电机的转向 在真空泵进气口安装一个真空表 将主开关打开到位置1 按 ROOTS 键 直到显示屏上的ROOTS消失 按 START 键启动真空泵并在数秒后停机 如果压力值显示为小于5 10 1mbar 则转向是正确的 如果压力上升 则只需要更换主电源插座中或主开关终端的任意两相即可 J14远程控制接口的使用 远程控制的功能为 可以远程控制真空泵的功能 启动 停止 气体吹扫 罗茨泵 以及 进气口阀门 通过辅助的干接点 50V 1A 对一些参数进行监控 这些接点也可以用来进行一些自动控制 J14远程控制接口的位置远程控制接口 J14 在真空泵的尾部面板上 J14远程控制接口的使用 在现场模式时 真空泵只有在 J14 接口上连接了随泵一起发送的接头时才可以运行 接头的接线接头的类型 SubD 50针的接头 J14远程控制接口的使用 控制的接点 输入信号 5 30VDC电压 干接点 输入信号的功能 J14远程控制接口的使用 输出信号的功能 J14远程控制接口的使用 在现场模式下 只有在 J1 接口连接了随泵发送的接头之后才能够运行 紧停接头连接之后 如果是远程控制模式 则需要在 J14 接口处再连接上接头 J1紧停接口的使用 串口连接的初始设置如下 类型 RS232 传输速度 9600bauds 数据长度 8bits 奇偶性 无 停止位 1 RS232 485接口的使用 J6和J7接头 PC通过RS232和干泵之间的连接 RS232 485接口的使用 PC通过RS485和干泵之间的连接 RS232 485接口的使用 串联 如果任何一台真空泵断开则所有信号都丢失 并联 如果任何一台真空泵断开则只有该真空泵的信号丢失 松开四个螺丝 移开真空泵的尾盖 排气管道位于真空泵的底部 排气管加热带的安装 拆卸排气管道松开两个螺帽 2 移开管道 将加热带 3 安装在管道上 并通过绳索绑紧 排气管加热带的安装 安装隔热套 4 排气加热带的电路连接将加热带的电源线连接到电气箱内的RT3断路器上 注 若要在拆卸消音器时不断开加热带的连接 需确认电源线的长度等 如果有多个加热带 需将它们平行地连接到RT3的接点上 排气管加热带的安装 现场控制模式出于安全原因 真空泵在同一时间只能由一个手动遥控器控制 根据手动遥控器连接方式进行开关设置有两个开关必须设置 第一个开关在手动遥控器的背部 第二个开关S1则在电路接口处 运行模式 运行模式 干触点远程控制模式相对于串口连接模式有优先权 手动遥控器的使用 中性气体吹扫设置出于安全方面的考虑 真空泵的 CMDPURGE 菜单设置 DISABLED 该设置在真空泵运行时不允许客户停止气体吹扫 对于LM型的真空泵 设置 CMDPURGE 为 DISABLED 并将S2符号轮设置在位置 1 如果选择了气体吹扫的话 N2的信息将显示在手动遥控器屏幕上 手动遥控器的使用 真空泵的启动如果要同时启动罗茨泵和ADP 设置 CMDROOTS 菜单为 DISABLED 当ADP在运行时要启动或停止罗茨泵 则设置 CMDROOTS 菜单为 ENABLED 罗茨泵可以通过按 ROOTS 键启动或停止 手动遥控器的使用 真空泵的启动按 START 键可以启动真空泵 以下操作将会自动运行 进气口截止阀打开 如果设置了该选项的话 ADP泵启动 捕捉数据 传感器运行 如果菜单 CMDPURGE 设置为 DISABLED 的话 气体吹扫阀打开 P型和H型 罗茨泵启动 如果选择的话 同时 将显示真空泵的运行参数 注 对于有温度控制的真空泵 THERMADP 水阀在真空泵温度达到ADP设置温度值时打开 而当温度下降到ADP设置温度值 2 时 水阀关闭 手动遥控器的使用 真空泵的停机按 STOP 键并按 ENTER 确认 以下操作将自动运行 进气口截止阀关闭 如果设置了该选项的话 真空泵停止 如果设置了时间的话 0 120分钟 在停机状态下气体吹扫继续运行 P型和H型 如果是因为断电而停机的话 如果 AUTOSTART 菜单设置为 ENABLED 的话 真空泵可以自动重新启动 如果真空泵设置了断电后自动重新启动的功能 客户有责任采取所有的检测 以防止该运行方式造成的任何风险 可选配置 断电保护 该可选配置包含一块安装在M4电控箱内的线路板 用于当断电时暂时提供泵几秒钟电 该可选配置可通过用户在手动遥控器内的 DEFINITION 菜单设置 在手动遥控器内的 DEFINITION 菜单中设置电池一项为 ENABLED 如果发生主电源断电 W09powersupply 信息显示在手动遥控器上 但是远程控制器接口上的输出触点状态并不改变 可选配置 断电保护 有两种可能的情况 主电源在断电后延时1秒之内就恢复如果真空泵正在运行时突然断电 如果手动遥控器的 DEFINITION 菜单中的 AUTORESTART 设置为 ENABLED 则真空泵自动重新启动 真空泵恢复到原先的运行状态 主电源并没有在断电后延时1秒之内恢复发生断电后 出现 D09powersupply 信息 由于真空泵电源没有供电 该信息将会在主电源一恢复后就显示在 ADMINISTRATION 菜单的最近的报警停机栏内 然后电池供电也切断 报警停机信息将传送到用户的设备 罗茨泵的冷却水路配置了一个3通阀 用于根据工艺确定罗茨泵的冷却 ADS602中罗茨泵的冷却 罗茨泵冷却 罗茨泵不冷却 根据工艺的要求 可能不需要冷却罗茨泵 如果是这种情况 则将手动阀旋转180度到相反的位置 ADS602中罗茨泵的冷却 ADS602中罗茨泵的冷却 罗茨泵冷却的工作原理 真空泵设置参数的储存和读取 在安装或替换真空泵时 有可能需要将一台真空泵的设置参数拷贝到另一台真空泵上 根据用户编辑的所有运行设置和参数 Config Save 和 Config Load 所有的参数都被储存到真空泵中 除了以下参数则需要根据真空泵现场设置 蜂鸣器温度单位压力单位RS连接时间和日期语言 储藏模式 通过连续按 键滚动到 MANAGEMENT 菜单 然后 按 ENTER 键进入子菜单 STORAGE 随后 再按 键以及 ENTER 键选择 ENABLED 此时 真空泵将不能启动 计时器也被封闭 注 当真空泵启动后 STORAGE 模式自动取消 只需要重新设置一下日期和时间 因为在储存模式下运行模式被封闭 维护保养 真空泵内残留的工艺气体可能会造成严重伤害甚至于死亡 在搬动真空泵之前 通过机台对真空泵继续进行N2吹扫30分钟以上 N2的压力和流量应当与在工艺时编辑的数据相同 建议 P和H型 用干燥氮气对真空泵进行吹扫 如果在程序中编辑了氮气吹扫的指令 当真空泵停止时 正常停机或故障停机 氮气吹扫将会自动进行 如果不是的话 则需要如下操作 如果真空泵是远程控制的 则需要移开在真空泵尾部的J14和J1接头 并连接上随泵发送的接头 编辑 PURGEFLOWPROLONGED 并设置 PURGECOMMAND 为DISABLED 在面板上按START 然后按STOP 氮气吹扫在 STOPINPROGRESS 期间自动进行 维护保养 维护保养时间的监控根据设置编辑的维护保养时间 当运行时间超过维护保养设置时间时 手动遥控器上会交替出现运行参数以及报警信号 前端面板上的红色报警灯会点亮 在泵运行时按SET键 各元件的运行时间会依次显示 该信息也可以在任何时间通过MAINTENANCE菜单获得 维护保养周期维护保养周期根据工艺以及使用的设备而改变 换油在现场无需换油 只有在厂商培训的专人进行泵的大修时才需要换油 维护保养 电气元件的位置 电器箱 诊断和故障排除 从D30开始 可能会需要检查电气箱内的电气元件 维护保养 断路器的设置 维护保养 M4监控系统尾部的传感器接口位置 维护保养 真空泵的放油一些特别的气体在接触到油之后会变得有腐蚀性和有毒 在处理用过的油或脏油时请始终戴好手套 将油排放到密闭的容器中 不要呼吸到油蒸汽 请始终戴好呼吸面罩 注意 罗茨泵有2个油箱 维护保养 冷却水的排放由于冷却水路上配置了水阀 常关 冷却水的排放必须在真空泵运行状态下进行 这样阀才能打开 准备一段带1 4英寸快速公接头的软管