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文档简介
國科會南區微機電系統研究中心簡單操作流程1. 刷卡、填儀器紀錄簿、插上真空馬達插座 2. 打開主機及面板之POWER （主機POWER，機台後方） （面板POWER）3. 進入DATA SET設定 按下、鍵，選擇program NO SET鍵移往設定畫面4. 開始設定program 設定SPIN TIME、SPIN SPEED（SPIN TIME為到達所設定回轉數的時間） 最後一個STEP需將MODE設為95. 回到主畫面，進入AUTORUN畫面 將SAMPLE放置STAGE上面，然後VAC ON 利用、鍵，指向所設之PROGRAM NO.6. 按下START鈕，即開始SPIN動作 若有任何狀況RESET鈕燈即會亮，則依所發生之錯誤訊息，重新設定 若欲停止SPIN動作，則按下STOP鈕 若有任何緊急狀況，欲全部動作停止者，按下EMERGENCY STOP鈕7. SPIN時，會依所設定之PROGRAM執行每個步驟 畫面下方會顯示目前的轉速，SPIN的時間，及所RUN之PROGRAM SPIN結束時，buzzer會響3秒，stop switch燈即亮，回到自動運轉menu選擇畫面 自動運轉時，若蓋子被打開即會自動停止，時警報器響，stop燈亮。按reset switch鍵來停止buzzer，返回到自動運轉menu選擇畫面。8. 若欲重複SPIN時，則重複37之步驟9. 清理動作： 將無塵布換掉，換上新的無塵布 將機台沾到光阻液之地方清洗乾
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