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第五章电容式传感器,5.1电容式传感器的工作原理和结构,典型应用范围:差压、(角)位移、振动、加速度、物位、成分含量、层析,一、基本工作原理(物理学内容的复习)1.平行板电容器,电容量C,忽略了边缘效应,当平行板的间距d远小于平行板的尺寸(半径、长和宽等)时,对精度要求不是特别严格的条件下,边缘效应即可忽略。,2.同心圆筒形电容器,忽略了边缘效应:L(Rr),在上述两种电容器中,决定其容量大小的诸多参数之一在待测对象的作用发生变化,其电容量将随之改变,这就是电容式传感器的物理基础。对于平行板电容器可以变化的参数有:、A、d等;对于同心圆筒形电容器可以变化的参数有:、L、r/R等。,二、变极距型电容式传感器(平行板电容器式),当极距d0d1=d0-d时,则电容量C0C1。,C0,0,然而,d0受介质的绝缘强度限制(空气:约3KV/mm),不可太小。通常,d在25200m之间,d/d0PL模片上凸hmax时,CA=C(h)=?。,电容量分析设膜片半径为a,球冠形固定电极的半径为R,固定电极的实际拱底半径为b,拱底距膜片的距离为db,当d0R时:,在PH-PL作用下中心膜片的上凸量h近似为:,而CA为:(积分求解过程省略),利用脉宽调制电路,将中心膜片接地,其输出U0:,输出U0与差压PH-PL成正比。,计算点半径,5.5.2电容式加速度传感器,差动式电容加速度传感器固定电极:两个固定极板(与壳体绝缘)动电极:由弹簧片支撑的质量块,两个端面经过磨平抛光。(与壳体电连接),空气或其它气体作阻尼物质,频率响

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