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文档简介

.,SEM/EDX介绍,GQA,.,SEM/EDX介绍,一：SEM/EDX基本原理二：样品制备三：参数选择,.,SEM/EDX基本原理:二次电子和背散色电子,二次电子SE：二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子，进行SEM分析。,二次电子SE特点：1.二次电子主要来自试样表面,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。,.,SEM/EDX基本原理:二次电子和背散色电子,2.它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注:并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时0.5KV,信息流失,不适合观察。,.,SEM/EDX基本原理,背散射电子：背散色电子检测器接受入射电子与试样产生背散射电子(BSE),进行SEM分析（主要分析样品组成，不同元素颜色分界明显。右图背散射电子像显示试样中金和镍的镀层组成信息。）,.,SEM/EDX基本原理,背散射电子应用：1.背散射电子主要来自试样的较深层,它能区分不同元素原子量。因此不同元素物质颜色分界明显。主要用来分析试样的组成。如背散射电子图中，元素原子量较低部分的颜色较灰暗。如下Au,Ni镀层背散射电子图,原子量较小的Ni-P层颜色比原子量大的Au部分灰暗，Au层比较明亮。备注：Au原子量=79,Ni原子量=28，P原子量=15,.,SEM/EDX基本原理,背散射电子应用：2.如果ENIGkeypad上有机污染，在背散射电子图中可以看到明亮的keypad上有其它黑色物质，这是因为有机物主要由C元素组成（C的原子量为6），而金的原子量为79，所以在图上，含C物质比keypad灰暗。,含C污染物,金面,.,SEM/EDX基本原理,SEM/EDX一体化分析：SEM/EDX能谱仪接受入射电子与试样产生的特征X射线,二次电子（或背散色电子进行）进行SEM/EDX分析，在SEM监视器及EDX监测器上显示相关SEM图像分析及EDX数据分析。,.,SEM/EDX能谱仪介绍,能谱仪系统主要由以下几个部分组成：电源供应器，为x-stream提供24v直流电源X-stream控制器（包含数字脉冲处理器,从探测器接收电信号，测量并计入相应通道,从而在谱图相应位置获得峰谱）Mics控制器（与SEM/TEM的图像接口相连接,实现图像获取）探测器（探测X射线信号并转换为电信号）计算机系统(运行微分析应用软件),仪器介绍：,计算机系统,.,SEM/EDX样品制备,样品制备注意事项:,针对有机物试样,由于熔点低,会受到热的影响,再加上导电性差,所以样品在制备时候必须做一些特殊制备,否则会影响SEM图像质量。,.,SEM/EDX参数选择,SEM/EDX参数优化的选择:(正在DOE实验
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