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文档简介

PECVD的认识,认识,PECVD的全称镀膜的作用Si3N4的作用工作原理设备结构岗位所用气体,PECVD的全称：PlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition等离子增强化学气象沉积,镀膜的作用：在电池片表面沉积深蓝色减反膜,其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能,同时还具有良好的阻挡钠离子,掩蔽金属离子和水蒸气扩散的能力,它的化学稳定性也很好.除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外,其它酸与它基本不起作用.,Si3N4的作用：减少反射防氧化增加光的吸收,工作原理：CentrothermPECVD系统是一组利用镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器在一定的条件下发生反应。,高频等离子激发器,镀膜舟,设备结构：上料区炉体特气柜真空系统控制系统,所用气体：氨气硅烷四氟化碳氮气氧气,祝愿朋友们快乐生活、快乐工作！谢谢大家！,
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