KLA报警处理...ppt

KLA报警处理,一.KLA2135报警处理二.KLA2138/39报警处理三.KLAAIT报警处理四.Tencor6420报警处理五.KLASP1报警处理,1.手动退片(wafer在stage上)A.Initstage(calibrationInitSystemInitstage)B.Initrobot(calibrationInitSystemInitrobot)C.如果故障期间没有移动cassette,runmoreunload,一般情况下都可以解决问题D.如果故障期间移动了cassette,或者按照C的做法无法退出wafer.calibrationmanualload/unloadmanualunload.这种方法只能将wafer退到手臂上,然后在manualload/unloadvacuumoff.关掉真空后,需要用手取下圆片.操作时只要谨慎些,一般不会造成wafer的划伤和沾污,用手取片的时候也有足够的空间来操作.E.如果上述方法都无法退出stage上的wafer,出现vacuum或者其他的报警,这时stage已经走到了unloadposition,只需要将stage的真空关闭就可以用手取片,这时主要是圆片上方空间比较狭窄,两只手夹住wafer边缘,即可将wafer抽出来,切忌不可用单手拿,很容易划伤.,一.KLA2135报警处理,KLA2135报警处理,2.手动退片(wafer在手臂上)calibrationmanualload/unloadmanualunload.这种方法只能将wafer退到手臂上,然后在manualload/unloadvacuumoff.关掉真空后,需要用手取下圆片.操作时只要谨慎些,一般不会造成wafer的划伤和沾污,用手取片的时候也有足够的空间来操作.,KLA2135报警处理,3.roboterror当机台在做片时出现报警,手臂处于非正常位置,比如插在cassette里没有退出来,calibrationInitSystemInitrobot,执行这个操作的时候,必须确认cassette的位置正常,手臂没有送错slot位,没有擦片或者碎片.,KLA2135报警处理,4.PC死机2135的PC是DOS,极少情况会死机,一般PC的故障分以下四种:A.在正常的2135操作软件中,无法进行正常的操作,或者操作没有响应,ctrl+alt+del重起PC,当重起后第一次进入2135的软件,系统会认为是非法退出,所以系统提示还需重起一次(系统提示应该是按任意键重起).正常进入软件后,需InitSystem.B.2135的系统退到DOS环境下出现死机,ctrl+alt+del重起PC,这种情况系统只需重起一次,正常进入软件后,需InitSystem.C.系统被人误操作退到了DOS环境下,显示提示符C:escort,这时,只要输入menu3即可进入操作软件.D.如果键盘没有响应,则需将键盘下方的设备面板打开,2135的PC是背对我们放的,reset是一个长条形或者方形的按钮.,二.KLA2138/39报警处理,1.手动退片由于2138/39使用的是NT的系统,操作起来相对简单,下图是手动load/unload的界面.,Waferhandling,KLA2138/39报警处理,A.尝试waferunload来退出在stage或者robot上的waferB.如果waferunload无法退出wafer,用AutomaticwaferrecoveryC.如果wafer在手臂上始终无法退回cassette,在advanced的下拉菜单中可以控制robot的vacuum,关掉vacuum就可以手动取片.,KLA2138/39报警处理,2.roboterror当机台在做片时出现报警,手臂处于非正常位置,比如插在cassette里没有退出来,calibrationInitSystemInitrobot,执行这个操作的时候,必须确认cassette的位置正常,手臂没有送错slot位,没有擦片或者碎片.,KLA2138/39报警处理,3.PC死机2138和2139的PC差别不大,由于使用的是NT的系统,所以处理死机的故障跟我们使用自己的电脑没有什么不同.A.任务管理器,关闭当前使用的软件B.如果键盘和鼠标都没有响应,将下方机台面板打开,2138是一个黑色的按钮,关闭再打开即可;2139是一个红色的按钮,按一下即可.,三.AIT报警处理,1.系统初始化.AIT的系统初始化要分别通过三个软件实现在进行初始化的时候必须关闭AIT测片的软件.初始化的三个软件分别是DPBTest,Stagetest,Robot,他们都放在桌面上的AITServiceProgram文件夹内.,AIT报警处理,A.双击DPBTest,程序会自己运行,结束后会显示以下的画面,关闭程序需要按两次Alt+F4.,AIT报警处理,B.双击Robot，出现以下画面,打开程序之后，首先要确认当前手臂的设置是对应”还是”，如果显示是inch,Ctrl+N更改设置,6inch对应的是150,确认之后，按Ctrl+E,初始化手臂完成之后，会提示“HOMENoerror”.,AIT报警处理,C.双击Stagetest,会出现以下画面,单击键盘“”键，stage会自动初始化，最终位置如图所示,AIT报警处理,2.手动退片更换软件的模式到engineermode,密码tencor.load任意一个产品菜单,放一个空的片架上去,打开handler的下拉菜单,选择unload,如果片子在stage上可以按上述,方法操作,如果片子在手臂上就只能用手拿了.,AIT报警处理,退出wafer之后,一定要删除一个报警文件.,文件路径如图所示.操作步骤:关闭测片软件删除hstate04.dat初始化机台打开测片软件.,四.Tencor6420报警处理,1.手动退片放一个空的片架上去,点击软件上方的“HOME”,机台会先对空的片架做一个扫描,让你选择一个slot位.,Tencor6420报警处理,2.软件有报警无法正常使用在软件中点击”LOGOFF”,这时软件会退到让你输入登陆密码的界面,点击”shutdown”,等待提示”safetoshutdownthecomputer”,在机台面板上有一个黑色reset键,提示出现之后,按下此键,进入windows界面之后,打开6420的软件即可.,五.KLASP1报警处理,1.手动退片,KLASP1报警处理,不论wafer是在stage上还是在robot上,软件中都会有相应的提示.点击”start”,机台会提示你有原片未退出,然后点击软件中的”cassette”区域,手臂会先扫描片架,然后选一个空的slot位即可.,KLASP1报警处理,2.centerthewafer以及edgescan报警出现报警之后片子会停在stage上,点击start,机台会先初始化st