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MEMS,麦克风,主要内容,驻极体电容式麦克风(ECM)MEMS麦克风ECMvs.MEMS麦克风MEMS麦克风的发展前景,ECM,电容式麦克风工作原理,PFxV,电容式麦克风的工作原理,Microphonevs.pressuresensor:Pressuresensormessurehigh(kPa)staticpressureMicrophonesmessurelow(mPa)alternatingpressureNomalconversation(60dB):app.20mPaalternatingsoundpressure,ECM的结构,驻极体麦克风由隔膜、驻极体、垫圈、外壳、背电极、印制板、场效应管等7部分组成，其中最主要的部件为一片单面涂有金属的驻极体薄膜与一个上面有若干小孔的金属电极（即背电极）。其中驻极体面与背电极相对，中间有一个极小的空气隙，它和驻极体构成了绝缘介质，而背电极和驻极体上的金属层则构成一个平板电容器。,ECM的工作原理,驻极体麦克风的工作原理是以人声通过空气引起驻极体薄膜震膜震动而产生位移，从而使得背电极和驻极体上的金属层这两个电极的距离产生变化，随之电容也改变，由于驻极体上的电荷数始终保持恒定，由Q=CU可得出当C变化时将引起电容器两端的电压U发生变化，从而输出电信号，实现声-电的变换。,ECM的结构与原理,TypicalSpecification,Sensitivity:160dBsoundpressureshockPowerConsumption:AnalogIDD250A;DigitalIDD650AStableacrosstemprature还可利用标准组件,如风噪信号过滤组件;专用接口和信号预处理将成为很大的应用领域；RF屏蔽也会得到进一步改进。很难预测何时会出现带有集成式麦克风并能记录美妙立
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