扫描电镜工作原理

扫描电子显微镜工作原理 扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。 扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种 物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。 电子束和固体样品表面作用时的物理现象 当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄 歇电子、特征 x 射线和连续谱 X 射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外 光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子 体）。 背散射电子背散射电子 背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子，其中包括弹性背反射电 子和非弹性背反射电子。 弹性背反射电子是指倍样品中原子和反弹回来的，散射角大于 90 度的那些入射电 子，其能量基本上没有变化（能量为数千到数万电子伏）。非弹性背反射电子是入射电子 和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅能量变化，而且方向也发生变化。非弹性背反射 电子的能量范围很宽，从数十电子伏到数千电子伏。 从数量上看，弹性背反射电子远比非弹性背反射电子所占的份额多。 背反射电子的 产生范围在 100nm-1mm 深度。 背反射电子产额和二次电子产额与原子序束的关系背反射电子束成像分辨率一般为 50-200nm（与电子束斑直径相当）。背反射电子的产额随原子序数的增加而增加（右 图），所以，利用背反射电子作为成像信号不仅能分析新貌特征，也可以用来显示原子序 数衬度，定性进行成分分析。 二次电子二次电子 二次电子是指背入射电子轰击出来的核外电子。由于原子核和外层价电子间的结合能 很小，当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可脱离原子成为 自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层处，那些能量大于材料逸出功的自 由电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。 二次电子来自表面 5-10nm 的区域，能量为 0-50eV。它对试样表面状态非常敏感， 能有效地显示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层，入射电子还没有被多次反射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没有多大区别，所以二次电子的分辨率较 高，一般可达到 5-10nm。扫描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。 二次电子产额随原子序数的变化不大，它主要取决与表面形貌。 特征特征 X 射线射线 特征 X 射线试原子的内层电子受到激发以后在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能 量和波长的一种电磁波辐射。 X 射线一般在试样的 500nm-5m m 深处发出。 俄歇电子俄歇电子 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以 X 射线的形式释放而是用该 能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。因每一 种原子都由自己特定的壳层能量，所以它们的俄歇电子能量也各有特征值，能量在 50- 1500eV 范围内。 俄歇电子是由试样表面极有限的几个原子层中发出的，这说明俄歇电子 信号适用与表层化学成分分析。 产生的次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级 电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电 信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象， 反映了标本的表面结构。 SEM 成象图(3 张) 为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒， 重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性 质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。 扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择 检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对 x 射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配 置不同的扫描电子显微镜。 光学显微镜（光学显微镜（OM）、）、TEM、SEM 成像原理比较成像原理比较 由电子枪发射的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的 光学显微镜、TEM、SEM 成像原理比较 缩小形成能谱仪获得。具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫 描线圈驱动下，于试样表面 2 材料形貌分析观察作栅网式扫描。聚焦电子束与试