JB-T7483-2005_半导体电阻应变式力传感器

7483 7483 7483二.，.，. .，.2规范性引用文件.，.，.，.一，.-.一，.，二，.，二“.，“.24技术要求.，.，一价，二价.，.，.，. 一，.，一，.，.，.价，.，二，二价.耐环境试验性能，价.一一一一一35试验方法.，价一，.二. .价“.，.外观检验.，价，.453输人电阻.价.价，.，二，.，-“.价一一一.一.价.，.，.二. 价.价一一，蠕变试验.，.价，.“二点.，.，一，-.，价.，. 价二，一，-. .，.“.3过载试验一，.4振动试验，.，.，价.，“.，.”.”.”.”，二.:. .，价.，.价.“”-.，.，”二，.，价.7恒定湿热试验”.，二“-. .”二”. 86检验规则.价价一.+.检验分类.”.“.”二“.“”二“.“.“.出厂检验二”.，.”.”.”.”-.“”:.”.型式检验.“价.价一.一一一一一一一一一一一一一一97标志、包装、运输、贮存.”.一”.“”:.”.”.“.“”.“.”:.“.“”.”:.”.“一”一”.运输.价”“”.二10 ，.价.，.，.-表2传感器性能参数._二.，一.二_.，一表3同心倾斜误差、偏心倾斜误差和偏心误差.表4出厂检验项目、顺序、技术要求、检验方法及接收质量限(5试验项目、组别、顺序、技术要求和试验方法.，.图1校准方框图二价.' 7483 7483导体电阻应变式力传感器的修订。本标准与' 7483要变化如下:条款3“型号命名”和条款4“产品分类”合并为条款3“产品分类“，随后各章的序号相应向前调整1号。2中输出灵敏度由“大于40订为“大于等于 o“零点漂移”修订为“短期零点稳定性”:增加“注3"。中的“四项技术指标”修订为“四项性能参数，。中的“产品”修订为“传感器”。1中的“调零电位器”取消。中的非线性计算公式由“a,=些些”修订为U,“，一a”。U,中的偏心误差公式由“凡=U。一_、一x 修习为  a。原条款7原条款7U,中的“合格质量水平”修订为“接收质量限”。的a)条取消。中的“周期检验”修订为“型式检验”，1”组和“2”组之间的关系和检验顺序。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准由机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会归口。本标准由沈阳仪表科学研究院负责起草，蚌埠长达力敏仪器有限责任公司参加起草。本标准主要起草人:刘剑、于振毅、徐秋玲、潘宿成。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:' 7483B/T 7483下简称传感器)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体应变式力传感器的制造、验收和使用。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 定湿热试验方法(984) 验方法试验击(1987) 验方法试验动(正弦)(00681982) 验方法试验N:温度变化(1984, B/T 接收质量限(检索的逐批检验抽样计划(1999, B/T 2829用于对过程稳定性的检验) 7666传感器命名方法及代号  7666的规定，半导体应变式力传感器型号命名采用如下形式:结构型式代号(测量代号(L)  (感器代号(C)示例:表示弹性体为连孔式结构的半导体应变式力传感器。 种型号，感器分类品种型号导体应变式力传感器导体应变式称重传感器)3: , 1。三级。1, 2, 3, 5. 71 x 10"注!:1, 盆单位为g, 单位为N, 可见损伤。涂敷应光亮、均匀;各紧固件不得有锈蚀、毛刺等现象，接插件的接触应良好:产品铭牌应端正、牢固地固定在外壳上。性能参数传感器的主要性能参数应符合表2的规定。1士5%)士10%)输出电阻允差(1士5%)1士10%)1士10%)绝缘电阻00,100)100零点拍出%刀输出灵敏度S<03<S<0J<乃重复性%S<短期零点稳定性%刀 7483)S/'S/'C<入、输出电阻的标称阻值输人、输出电阻的标称值从下列数值中选取:60Q、120n、350Q、600Q、大供桥电压的选取应与输人电阻相对应。一般规定为:输人电阻:60n、120 350 600 1000 桥电压:3V, 6V, 12V, 15V, 出灵敏度应满足额定供桥电压下，定负载试验后，其输出灵敏度、非线性、迟滞、重复性四项性能参数应符合表2的规定。同心倾斜误差、偏心倾斜误差和偏心误差应符合表3的要求。表3同心倾斜误差、，S。乃零件应无损伤、紧固件无松动，其输出灵敏度、非线性、迟滞、重复性四项性能参数应符合表2的规定。零件应无损伤、紧固件无松动，其输出灵敏度、非线性、迟滞、重复性四项性能参数应符合表2的规定。观应无可见损伤。标志应清晰。其输出灵敏度、非线性、迟滞、重复性四项性能参数应符合表2的规定。外观应无可见损伤。标志清晰。其绝缘电阻应不小于50耐疲劳寿命传感器经疲劳寿命试验后，其输出灵敏度、非线性、迟滞、重复性四项性能参数应符合表2的规定。验必须在下列大气条件下进行:' 7483境温度:20士30C;环境湿度:< 80%大气压力:8606传感器校准时间内，环境温度每小时的变化不得超过1。倾斜负载和不同心负载的影响减至最小。保证其温度与试验条件的温度相同并稳定。优于被测传感器等级的3倍以上;指示仪器和稳压电源的精确度，数字欧姆表测量输人端的输人电阻。数字欧姆表测量输出端的输出电阻。人端与壳体之间的绝缘电阻，其测量电压为100V 热30不加负载条件下，用数字电压表测量传感器的输出电压。传感器预热30后对传感器施加额定负载三次，每次加载后退回到零负载。到额定负载。在每一点负载稳定后，读取输出电压值。注1:第一点负载应为10%额定负载;注2:校准点数不得少于六点(包括零点及额定负载输出点)。负载增加到105%额定负载，停留把负载减少到额定负载。待负载稳定后，读取输出值作为反行程的额定负载输出值。相同的减量施加递减负载。在每一点负载稳定后，读取输出值。57石退回到零负载，隔55读取零点输出值。 的步骤，重复做三遍。算出工作直线。本标准规定，以校准示值的端点直线作为工作直线。出相应的技术参数。)计算:U's =。(I)式中:额定输出电压值，单位为 次循环(6点测量)额定负载输出电压值的平均值，单位为次循环(6点测量)零负载输出电压值的平均值，)计算:S=U.(2)式中位为位为V,)计算:_U,_口，=一x 1. (3)一U,式中:8,非线性，%;,_各校准点在同一行程上的三次测量输出电压值的算术平均值与工作直线相应点的值之差的绝对值的最大值，4)计算:=二二    0'0'x y迟滞，%;同一校准点三次循环(六次测量)正、反行程输出电压平均值的最大差值，单位为)计算:一吞,=竺三X 100%  U,式中:8R重复性，%:4U. = U; , )矶，二:在正行程上，同一校准点三次测量输出电压的最大差值，单位为叽*。、在反行程上，同一校准点三次测量输出电压的最大差值，单位为在无负载条件下放置24h，加工作电压，预热30速而无冲击地施加额定负载。在加载第5:时，读取输出信号值:在第30取输出信号值。传感器的蠕变按公' 7483)计算标二!U.X i(0% .(6)式中:8:U,额定负载第5位为n 位为取第一次零点输出值。以后每间隔15续读取2h(九次)，其短期零点稳定性按公式(7)计算:            _D=二二二二吧乙       . (7)U,式中:D。一一一短期零点稳定性，%;在短期零点稳定性检测期间，零点示值的最大差值的绝对值，单位为人温度试验箱后。分别在室温、)计算:_U口=竺廿，二门.，二.合.”.”“.“U 12一8)式中:绝对值较大值)1/0C;t,室温，单位为:限或上限工作温度，单位为;位为012 - 位为别在室温、下限工作温度和上限工作温度各保温功，并记录上述温度时的额定电压输出值。热灵敏度漂移按公式(9)计算:。S,，一S.,   .二”     U.()(9)式中:刀一一热灵敏度漂移(取绝对值最大值)1/'C;凡:度时输出灵敏度，单位为u 位为 度时传感器额定输出电压值，单位为载轴线与传感器主轴的夹角为10，并预施加额定负载三' 7483次在额定负载时停留30s，读取此时的输出值，然后退到零负载，间隔30s，按上述方法进行第二次、第三次加载。同心倾斜误差按公式(10)计算:一   二分丁丁,5_ = . (10)U,式中:心倾斜误差，%:心倾斜I时，额定负载输出电压值的算术平均值，变传感器的位置使其偏心量为2算并产生1“的倾斜，其偏心倾斜误差按公!U (11)U,式中:8-偏心倾斜误差，%认。偏心2，额定负载输出电压值的算术平均值，传感器与凸面加载圆往之间的相对位置偏离加载轴线(偏心误差按公式(12)计算_旦二兰二12)U,式中:心误差，%:U。一一州扁心(2，额定负载电压输出值的算术平均值，感器在120%额定负载下，连续加载3后减至零负载。按此方法连续进行三次过载试验，试验后恢复l 非工作状态下的传感器紧固在扫频振动台上，按 振动频率为20动加速度为100m/传感器敏感方向和与之垂直的两个方向上各振动五次循环。试验结束后，进行静态校准。非工作状态下的传感器用专用夹具紧固在冲击台上，按GB/i' 冲击加速度为300m/s'，脉冲持续时间为I I 行静态校准。B/T 7483T 低温度值T为一200C，高温度值低温下暴露时间t,为换时间t,为2行三次循环。试验后于常温下放置2h，然后立即进行静态校准。非工作状态下不带包装和附件的传感器置于试验箱内，按 验结束后，取出传感器，在常温下放置2h，传感器安装在疲劳机上，在不加工作电压情况下，对其施加额定负载，负载变化频率为工环次数为2常温下恢复2h，立即进行静态校准。a)出厂检验(逐批检验);b)型式检验(例行检验)。由质检部门确认合格后方可出厂，并附说明书和产品合格证。产品说明应按格证应按 14436规定编写。按 用一般检查水平收质量限(按表4的规定。序、技术要求、检验方法及接收质量限(表4的规定。表4出厂检验项目、顺序、技术要求、检验方法及接收质量限(号项目名称技术要求检验方法接收质量限( 产品经生产厂做百分之百的筛选后，应重新进行交验。再次交验的产品如仍被判为不合格，必须立即停止交验，分析产生不合格的原因并排除后方可恢复交验。进行型式检验:a)新产品定型时:b)正常生产的周期达两年;c)产品的结构、工艺技术、原材料有改进可能影响性能时;d)连续停产超过半年又恢复生产时。别、顺序和技术要求试验的项目、组别、顺序、技术要求和试验方法按表5的规定表5试验项目、组别、顺序、 2829择不合格质量水平(50, n=6, A,=1, 为型式试验组的抽样方案。种产品应在下列量程段分别(尽可能等量)抽取:(0- 100) (1001000 7483(100(一100000000果产品的某量程范围尚未生产时，0”组项目为必检项目，对所有样品进行该组项目的检验;对“0”组检验项目合格的样品随机抽取4只，其中2只用于“1”组，另2只用于“2”的抽检，勺”组和“2”为破坏性试验，试验后样品不能交付。应认真查找原因:如果因设备故障或操作不当造成不合格，则允许重新进行型式检验。造成不合格的原因如