MEMS传感器生产制造项目立项申请

1、MEMS传感器生产制造项目立项申请一、项目基本信息（一）项目名称MEMS传感器生产制造项目MEMS传感器指可批量制作的，将微型传感器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一体的微型器件或系统，即利用传统的半导体等材料，用微纳加工技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应的ASIC芯片集成为一个整体。MEMS技术目前被称为最炙手可热的半导体技术之一。与传统的传感器相比，基于半导体技术和微纳加工技术的MEMS传感器具有体积微小、低功耗、一致性高等特点，可大批量、低成本制造，大大拓宽了传感器的应用领域，为智能设备的发展奠定了重要的技术基础，已成为主流的传感器技术。MEMS传感器技术虽然在全

2、球只有20余年的商业化历史，但作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已广泛应用于航天航空、医疗电子、网络与通信、消费电子、汽车电子、工业自动化等领域。同时，MEMS传感器技术的发展在很大程度上促进了物联网的成长，实现智能硬件与现实世界更有意义的互连。工业互联网是全球工业系统与高级计算、分析、感应技术以及互联网连接融合的结果。它通过智能机器间的连接并最终将人机连接，结合软件和大数据分析，重构全球工业、激发生产力，让世界更美好、更快速、更安全、更清洁且更经济。工业互联网必须以物联网和工业数据分析为基础，不同于传统互联网公司比如谷歌、亚马逊等可以通过PC、移动端后台收集数

3、据，工业数据需要来自安装在机器上的传感器，传感器收集机器运行时的数据，实时传送到云端进行存储、分析和决策。工业级传感器相对于普通传感器来说，需要更强大的稳定性和更高的灵敏度，因为很多工业级传感器需要在更恶劣环境下运行，比如生产车间相比普通环境，工业噪声会大很多，比如电力、铁路沿线的监测，需要在恶劣的自然条件下进行监测。而工业互联网对于工业数据的要求是实时采集、存储和分析，因此MEMS传感器体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量生产、易于集成和实现智能化的特点，正好契合了工业互联网对于传感器的要求。随着传感器技术的不断成熟、价格降低和新技术持续出现，传感器应用范围和出货数量将快速增长

4、，市场容量亦会随之扩大。目前人们每天使用到100颗传感器，而未来随着智能设备和物联网的普及，至2024年人们每天接触到的传感器数量将激增至300颗。2014年至2022年，全球传感器市场总量将增长2.5倍，这其中硅基MEMS传感器将成为主流，至2020年全球MEMS产品市场规模将从2014年的约115亿美元增长至约220亿美元。在整个亚太地区中，来自中国的MEMS传感器需求尤为突出，消费升级和产业升级均带动了MEMS传感器市场的迅速扩容。近年来，中国的MEMS传感器市场增长速度一直高于全球市场的平均增速，主要原因为中国MEMS传感器市场发展相对较晚，基数较小。迅速增长的市场需求，为中国境内的M

5、EMS设计制造企业提供了良好的发展时机。汽车、智能手机、平板电脑和医疗保健是目前MEMS传感器应用最为集中的领域，而在上述领域中渗透率较高的压力传感器、麦克风、加速度计、陀螺仪、惯性组合传感器和射频MEMS器件也成为全球MEMS传感器市场的主要构成部分。中国MEMS传感器市场的起步和发展与中国3C产品(包括计算机、通信和消费类电子产品)及汽车电子产品保持快速增长、全球电子整机产业向中国转移密切相关，而智能手机又是3C产品中MEMS传感器应用最为集中的领域，因此中国MEMS传感器的市场构成以汽车电子和智能手机相关传感器为主，在上述2大领域中运用较为广泛的压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺和麦克

6、风等产品成为中国MEMS传感器市场的重要组成部分。未来伴随着新产品和新应用在汽车电子、以智能手机和平板电脑为代表的3C产品和医疗电子中进一步渗透，在上述加速度传感器等4类重要传感器之外，主要应用于医疗电子的生物微流控系统和应用于智能手机的微镜阵列的市场份额也将进一步增加。（二）项目建设单位xxx公司（三）法定代表人肖xx（四）公司简介未来，在保持健康、稳定、快速、持续发展的同时，公司以“和谐发展”为目标，践行社会责任，秉承“责任、公平、开放、求实”的企业责任，服务全国。经过10余年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，完善的加工制造手段，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步

7、增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。公司经过多年的不懈努力，产品销售网络遍布全国各省、市、自治区；完整的产品系列和精益求精的品质使企业的市场占有率不断提高，除国内市场外，公司还具有强大稳固的国外市场网络；项目承办单位一贯遵循“以质量求生存，以科技求发展，以管理求效率，以服务求信誉”的质量方针，努力生产高质量的产品，以优质的服务奉献社会。公司实行董事会领导下的总经理负责制，推行现代企业制度，建立了科学灵活的经营机制，完善了行之有效的管理制度。项目承办单位组织机构健全、管理完善，遵循

8、社会主义市场经济运行机制，严格按照中华人民共和国公司法依法独立核算、自主开展生产经营活动；为了顺应国际化经济发展的趋势，项目承办单位全面建立和实施计算机信息网络系统，建立起从产品开发、设计、生产、销售、核算、库存到售后服务的物流电子网络管理系统，使项目承办单位与全国各销售区域形成信息互通，有效提高工作效率，及时反馈市场信息，为项目承办单位的战略决策提供有利的支撑。公司将加强人才的引进和培养，尤其是研发及业务方面的高级人才，健全研发、管理和销售等各级人员的薪酬考核体系，完善激励制度，提高公司员工创造力，为公司的持续快速发展提供强大保障。为了确保研发团队的稳定性，提升技术创新能力，公司在研发投入、

9、技术人员激励等方面实施了多项行之有效的措施。公司自成立以来，一直奉行“诚信创新、科学高效、持续改进、顾客满意”的质量方针，将产品的质量控制贯穿研发、采购、生产、仓储、销售、服务等整个流程中。公司依靠先进的生产、检测设备和品质管理系统，确保了品质的稳定性，赢得了客户的肯定。上一年度，xxx有限责任公司实现营业收入22072.37万元，同比增长32.42%（5403.75万元）。其中，主营业业务MEMS传感器生产及销售收入为18829.93万元，占营业总收入的85.31%。根据初步统计测算，公司实现利润总额4964.81万元，较去年同期相比增长415.40万元，增长率9.13%；实现净利润3723

10、.61万元，较去年同期相比增长795.92万元，增长率27.19%。（五）项目选址xxx新兴产业示范基地（六）项目用地规模项目总用地面积46243.11平方米（折合约69.33亩）。（七）项目用地控制指标该工程规划建筑系数76.30%，建筑容积率1.07，建设区域绿化覆盖率6.99%，固定资产投资强度181.08万元/亩。项目净用地面积46243.11平方米，建筑物基底占地面积35283.49平方米，总建筑面积49480.13平方米，其中：规划建设主体工程35859.89平方米，项目规划绿化面积3460.31平方米。（八）设备选型方案项目计划购置设备共计99台（套），设备购置费5987.93万

11、元。（九）节能分析1、项目年用电量1027815.31千瓦时，折合126.32吨标准煤。2、项目年总用水量26019.38立方米，折合2.22吨标准煤。3、“MEMS传感器生产制造项目投资建设项目”，年用电量1027815.31千瓦时，年总用水量26019.38立方米，项目年综合总耗能量（当量值）128.54吨标准煤/年。达产年综合节能量45.16吨标准煤/年，项目总节能率20.41%，能源利用效果良好。（十）项目总投资及资金构成项目预计总投资15557.44万元，其中：固定资产投资12554.28万元，占项目总投资的80.70%；流动资金3003.16万元，占项目总投资的19.30%。（十一

12、）项目预期经济效益规划目标预期达产年营业收入29787.00万元，总成本费用22564.10万元，税金及附加304.52万元，利润总额7222.90万元，利税总额8523.68万元，税后净利润5417.17万元，达产年纳税总额3106.50万元；达产年投资利润率46.43%，投资利税率54.79%，投资回报率34.82%，全部投资回收期4.37年，提供就业职位487个。（十二）进度规划本期工程项目建设期限规划12个月。（十三）项目评价1、项目达产年投资利润率46.43%，投资利税率54.79%，全部投资回报率34.82%，全部投资回收期4.37年，固定资产投资回收期4.37年（含建设期），项目

13、具有较强的盈利能力和抗风险能力。2、改革开放40年来，民间投资和民营经济由小到大、由弱变强，已日渐成为推动我国经济发展、优化产业结构、繁荣城乡市场、扩大社会就业的重要力量。从投资总量占比看，2012年以来，民间投资占全国固定资产投资比重已连续5年超过60%，最高时候达到65.4%；尤其是在制造业领域，目前民间投资的比重已经超过八成，民间投资已经成为投资的主力军。鼓励民营企业参与智能制造工程，围绕离散型智能制造、流程型智能制造、网络协同制造、大规模个性化定制、远程运维服务等新模式开展应用，建设一批数字化车间和智能工厂，引导产业智能升级。支持民营企业开展智能制造综合标准化工作，建设一批试验验证平台

14、，开展标准试验验证。加快传统行业民营企业生产设备的智能化改造，提高精准制造、敏捷制造能力。从经济的贡献看，截至2017年底，我国民营企业的数量超过2700万家，个体工商户超过了6500万户，注册资本超过165万亿元，民营经济占GDP的比重超过了60%，撑起了我国经济的“半壁江山”。作为中国经济最具活力的部分，民营经济未来将继续稳步发展壮大，为促进我国经济社会持续健康发展发挥更大作用。二、建设必要性分析(一)项目建设背景近年来受益于消费电子、汽车电子、医疗电子、光通信、工业控制等多个市场的高速成长，MEMS行业发展势头迅猛，全球和中国市场呈现稳步增长。中国MEMS消费电子类产品，如智能手机、平板

15、电脑等产量保持稳定增长，带动加速传感器、陀螺仪、硅麦克风等MEMS行业需求的增长，中国已经成为全球MEMS市场发展最快的地区。2018年中国MEMS整体规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。国内MEMS产业经过政府和企业的共同努力，已经形成从设计研发（中试）、生产制造、封装测试到系统集成的完整MEMS产业链条，包含如苏州纳米科技发展有限公司、上海微技术工业研究院、中国科学院电子所等科研院所；歌尔股份、瑞声科技、敏芯微电子、格科微电子、硅睿科技、深迪半导体等设计企业；中芯国际、上海先进、华润上华、罕王微电子等专业MEMS代工企业；华天科技、长电科技、晶方科技等传统半导体封

16、装测试企业；华为、中兴、联想、比亚迪、海康威视等系统集成应用商。从企业数量和分布来看，2018年我国MEMS传感器制造企业大约有200家，大多属于初创类中小型企业。企业主要集中在长三角地区，企业数量占比超过50%，其中江苏省占比接近30%。这主要得益于长三角具有良好的集成电路产业基础，硅基MEMS研发及代工生产线资源较多，产业链完整，涵盖设计、代工和封测的重点企业。从产品使用领域结构来看，国内MEMS公司在营业规模、技术水平、产品结构、与国外有明显差距，60%至70%的设计产品集中在加速度计、压力传感器等传统领域。MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，

17、由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。未来随着MEMS传感器在自动驾驶、无人机/机器人、AR/VR、工业4.0、可穿戴设备、人工智能、5G等领域的不断发展，针对这些应用场景，赛迪顾问从物联网的几大细分市场的规模、增长潜力等维度，筛选出未来六大潜力市场，分别是智慧城市、工业互联网、智慧家庭、车联网、智慧农业、智慧医疗。结合未来六大物联网潜力市场，赛迪顾问针对不同传感器产品的市场规模和增长潜力等维度，筛选出未来六大潜力产品，分别是压力、惯性（组合）、射频、MEMS麦克风、非制冷红外成

18、像和探测器、气体传感器。(二)必要性分析在全球的MEMS传感器市场中，亚太地区受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响，2014年MEMS市场占比达到45.7%，远超美国、欧洲等区域。MEMS压力传感器已成为MEMS传感器市场规模最大的细分市场之一，在汽车、工业、消费电子、医疗和和航天航空领域均有广泛的应用，预计到2018年的市场规模将达30亿美元。压力传感器在具体的应用中主要用于控制和监测。其最大市场仍然是汽车，主要用于轮胎压力监测系统。但在以手机、可穿戴设备为主的消费电子领域，增长将最为猛烈。手机和可穿戴设备中应用的压力传感器主要为高

19、度计，用于测量高度并配合导航定位系统。高度计作为运动导航中高度(气压)测量的感测单元，已受到消费电子系统商的青睐，未来将成为非常重要的应用，产生爆发性的市场需求。压力传感器在消费电子市场应用的兴起只是其应用市场的一部分，未来压力传感器里的高度计另外一个主要应用市场将会是爆发的无人机市场。随着无人机制造市场的爆发，压力传感器中高度计的用量应将出现更大增长。中国的MEMS压力传感器研发和制造目前还处于起步阶段，尚未出现一定经营规模的企业，具备相应研发和制造能力的企业非常稀缺。敏芯微电子目前是国内少数同时掌握高度计(智能手机、无人机应用量增速较快的压力传感器)的MEMS芯片和ASIC芯片设计制造能力

20、并批量出货的企业。在全球范围内，MEMS压力传感器的技术难度较高，市场相对较为集中，目前，博世(Bosch)、株式会社电装(Denso)、森萨塔(Sensata)、通用传感器(GESensing)和飞思卡尔(Freescale)合计市场份额已近50%。中国已经成为全球最为主要的汽车和智能手机市场，除此之外，中国无人机的出货量也在爆发增长中，胎压计、燃油消耗相关传感器的存量市场巨大，而在消费电子产品上应用的压力传感器例如高度计的需求量则会出现高速增长，中国本土的MEMS企业只要能突破核心技术，实现产业链的本土化，中国本土多层次的需求市场会为其生存发展提供肥沃土壤。三、投资建设方案（一）产品规划项

21、目主要产品为MEMS传感器，根据市场情况，预计年产值29787.00万元。项目承办单位计划在项目建设地建设项目，具有得天独厚的地理条件，与xx省同行业其他企业相比，拥有“立地条件好、经营成本低、投资效益高、比较竞争力强”的优势，因此，发展相关产业前景广阔。（二）用地规模该项目总征地面积46243.11平方米（折合约69.33亩），其中：净用地面积46243.11平方米（红线范围折合约69.33亩）。项目规划总建筑面积49480.13平方米，其中：规划建设主体工程35859.89平方米，计容建筑面积49480.13平方米；预计建筑工程投资3788.67万元。（三）用地总体要求本期工程项目建设规划

22、建筑系数76.30%，建筑容积率1.07，建设区域绿化覆盖率6.99%，固定资产投资强度181.08万元/亩。项目预计总建筑面积49480.13平方米，其中：计容建筑面积49480.13平方米，计划建筑工程投资3788.67万元，占项目总投资的24.35%。（四）选址综合评价项目承办单位通过对可供选择的建设地区进行缜密比选后，充分考虑了项目拟建区域的交通条件、土地取得成本及职工交通便利条件，项目经营期所需的内外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件等，通过建设条件比选最终选定的项目最佳建设地点项目建设地，投资项目建设区域供电、供水、道路、照明、

23、供汽、供气、通讯网络、施工环境等条件均较好，可保证项目的建设和正常经营，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为项目建设提供了良好的投资环境。项目承办单位通过对可供选择的建设地区进行缜密比选后，充分考虑了项目拟建区域的交通条件、土地取得成本及职工交通便利条件，项目经营期所需的内外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件等，通过建设条件比选最终选定的项目最佳建设地点项目建设地，投资项目建设区域供电、供水、道路、照明、供汽、供气、通讯网络、施工环境等条件均较好，可保证项目的建设和正常经营，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为项目建设提供了良好的投

24、资环境。四、风险应对评估项目建设过程中需要一批建筑施工队伍和建筑工人，能够为当地富余劳动力提供合适的就业机会，增加他们的收入；项目建成运营后，可提供900个就业岗位，对缓解当地社会就业压力有一定的积极作用；员工进入企业后不仅拥有可观、稳定的收入，而且通过企业的教育与培训可以进一步提高管理人员的管理水平，提高技术人才的研发能力，提高加工操作人员的操作技能，使其拥有更高的上升空间，为今后收入的进一步增长打下坚实的基础。项目的实施有利于项目承办单位的项目产品在中国市场上甚至在世界市场上综合竞争力和项目产品出口创汇能力；有利于带动当地相关产业链的发展；投资项目位于项目建设地，为打造多元化的国家级开发区

25、提供发展元素，有利于项目建设区的建设和综合发展。项目承办单位其产品为项目产品，投资项目的建设是为了更好地贯彻“坚持开发与节约并举、节约优先”的方针；从而体现了“以人为本，树立全面、协调、可持续的发展观，促进经济、社会和人的全面发展”的科学发展观。五、项目投资规划（一）固定资产投资估算本期项目的固定资产投资12554.28(万元）。（二）流动资金投资估算预计达产年需用流动资金3003.16万元。（三）总投资构成分析1、总投资及其构成分析：项目总投资15557.44万元，其中：固定资产投资12554.28万元，占项目总投资的80.70%；流动资金3003.16万元，占项目总投资的19.30%。2、

26、固定资产投资及其构成分析：本期工程项目固定资产投资包括：建筑工程投资3788.67万元，占项目总投资的24.35%；设备购置费5987.93万元，占项目总投资的38.49%；其它投资2777.68万元，占项目总投资的17.85%。3、总投资及其构成估算：总投资=固定资产投资+流动资金。项目总投资=12554.28+3003.16=15557.44（万元）。（四）资金筹措全部自筹。六、项目经济效益可行性（一）营业收入估算该“MEMS传感器生产制造项目”经营期内不考虑通货膨胀因素，只考虑MEMS传感器行业设备相对价格变化，假设当年MEMS传感器设备产量等于当年产品销售量。项目达产年预计每年可实现营

27、业收入29787.00万元。（二）达产年增值税估算达产年应缴增值税=销项税额-进项税额=996.26万元。（三）综合总成本费用估算根据谨慎财务测算，当项目达到正常生产年份时，按达产年经营能力计算，本期工程项目综合总成本费用22564.10万元，其中：可变成本19457.26万元，固定成本3106.84万元，具体测算数据详见总成本费用估算一览表所示。（四）利润总额及企业所得税利润总额=营业收入-综合总成本费用-销售税金及附加+补贴收入=7222.90（万元）。企业所得税=应纳税所得额税率=7222.9025.00%=1805.72（万元）。（五）利润及利润分配1、本期工程项目达产年利润总额（PF

28、O）：利润总额=营业收入-综合总成本费用-销售税金及附加+补贴收入=7222.90（万元）。2、达产年应纳企业所得税：企业所得税=应纳税所得额税率=7222.9025.00%=1805.72（万元）。3、本项目达产年可实现利润总额7222.90万元，缴纳企业所得税1805.72万元，其正常经营年份净利润：企业净利润=达产年利润总额-企业所得税=7222.90-1805.72=5417.17（万元）。4、根据利润及利润分配表可以计算出以下经济指标。（1）达产年投资利润率=46.43%。（2）达产年投资利税率=54.79%。（3）达产年投资回报率=34.82%。5、根据经济测算，本期工程项目投产后

29、，达产年实现营业收入29787.00万元，总成本费用22564.10万元，税金及附加304.52万元，利润总额7222.90万元，企业所得税1805.72万元，税后净利润5417.17万元，年纳税总额3106.50万元。七、项目综合评估1、进一步促进中小企业健康发展，既是保持经济平稳较快发展的重要基础，也是关系民生和社会稳定的重大战略任务。当前，我们必须采取更加积极有效的政策措施，切实改善中小企业发展环境，帮助中小企业克服困难，转变发展方式，实现又好又快发展。一是进一步完善政策法规，为中小企业发展营造公开、公平竞争的市场环境和法律环境。要在国家已经出台的相关法律法规基础上，加快制定配套政策和实

30、施办法，落实好扶持中小企业发展的政策措施，特别是在放宽市场准入、加大财税金融支持、提供创业扶持、推进技术创新、大力开拓市场、发展社会服务、维护职工合法权益等多个方面完善政策法律体系，全力为中小企业发展保驾护航。二是进一步加大对中小企业的财税扶持，努力缓解融资难、担保难。要逐步扩大中央财政预算扶持中小企业发展的专项资金规模，建立中小企业创业投资发展基金，用政策支持中小企业成长壮大；全面落实支持中小企业发展的金融政策，重点完善小企业金融服务，积极引导银行业金融机构创新体制机制，创新金融产品、服务和贷款抵质押方式，积极发展中小金融机构，扩大对小企业的贷款规模和比重；完善小企业信贷考核体系，推动建立小

31、企业贷款风险补偿基金；进一步拓宽中小企业融资渠道，完善中小企业上市育成机制，扩大中小企业上市规模，增加直接融资；加强中小企业信用担保体系建设，积极设立多层次中小企业融资担保基金和担保机构，推进区域性信用再担保机构的设立和发展。三是进一步引导中小企业加快结构调整和产业升级。要坚持把促进发展与推进结构调整和产业升级有机结合起来，通过政策引导和服务，支持中小企业加大研发投入，支持中小企业提高技术创新能力和产品质量；引导中小企业集聚发展，鼓励支持中小企业走“专、精、特、新”和与大企业协作配套路子；积极推动中小企业产业转移、节能减排和淘汰落后工作；积极实施中小企业知识产权战略推进工程和中小企业信息化推进

32、工程，促进工业化和信息化的融合。中小企业促进法完全符合新时期中国经济发展的实际，是时代的需要，历史的必然，它顺应了中小企业改革与发展的客观要求，中小企业的快速发展和提高从此有了强有力的法律保障。立法是基础，但关键在于付诸实施。因此，要动员社会各界认真学习、宣传和贯彻中小企业促进法，提高全社会促进中小企业发展的法律意识和思想观念，形成全社会关心和支持中小企业发展的良好氛围。各地区、各部门要按照“三个代表”要求，认真贯彻中小企业促进法，切实维护中小企业的合法权益，落实好中小企业扶持政策。要以中小企业促进法为基础，加快制定与之配套的法规和实施办法，并根据中小企业促进法规定的促进中小企业改革与发展的基

33、本方针、政策和原则，尽快制定相应的地方性法规，使我国中小企业立法形成一个科学、完备、有序的体系。引导中小企业精细化生产、管理和服务，以美誉度好、性价比高、品质精良的产品和服务在细分市场中占据优势。鼓励中小企业抓住关键环节，量化标准，强化责任，不断提供优质的产品和服务。支持中小企业最大限度地发挥员工的优势和潜能，满足日益增长的个性化、定制化需求。2、项目拟建设在项目建设地内，工程选址符合项目建设地土地利用总体规划，保证项目用地要求，而且项目建设区域交通运输便利，可利用现有公用工程设施，水、电、气等能源供应有保障。3、本期工程项目投资效益是显著的，达产年投资利润率46.43%，投资利税率54.79

34、%，全部投资回报率34.82%，全部投资回收期4.37年（含建设期），表明本期工程项目利润空间较大，具有较好的盈利能力、较强的清偿能力和抗风险能力。MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。过去几年中，MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。2017年，全球MEMS传感器和执行器总体市场规模为115亿美元，其中MEMS传感器为61亿美元，增长17.3%

35、，预计2018年，全球MEMS传感器销售额将增长10%以上，达到68亿美元。美国是MEMS产业、技术和产品的发源地，其发展水平世界领先。上世纪60年代，斯坦福等大学就从事MEMS领域的研究开发，佐治亚理工学院和美国加利福尼亚大学洛杉矶分校等众多美国大学几乎都建立有自己的MEMS晶圆生产线。美国麻省理工学院、斯坦福大学、加利福尼亚大学伯克利分校、凯斯西储大学等还开发用于MEMS研究的设备、仪器等，支撑其技术研究。各学校一边研究探索，同时也相互不断进行技术与业务的交流，并与产业界组建成联盟，促进MEMS技术及时转化成MEMS产品。经过长期的发展，美国已发展为集官、产、学、研、金融等为一体的较为完整的MEMS产业体系。其用来进行MEMS产品生产的晶圆尺寸目前基本与IC同步，呈现大口径化、智能化，与人体神经元和大脑信息互通互联，与IC芯片、计算机软件、数据采集和处理技术等多位一体化发展的趋势。同时，应用领域也不断向军事、医疗、生物、仿生学、航空航天等领域全方位快速渗透和发展。欧洲各国政府积极制定相关规定推动MEMS产业和技术的发展，欧洲国家政府要求2012年汽车必须采用电子稳定控制（ESC）和轮胎压力监测系统。欧洲新车评估体系（NCAP）等汽车安全性评估系统虽然是一种自愿评估机制，但目前得到了欧洲各国政府、汽车俱乐部