轮廓仪校正方法_第1页
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文档简介

1、.轮廓仪的校正方法一、 准备：找齐工具：10mm、20mm、40mm各一块，校正表一块，螺丝刀一个、内六角扳手一个，酒精、无尘布二、 调试压力:1. 把校正表水平放置载物台上，用载物台的台钳轻轻夹住，让探针接触校正表（位置在校正表凹点向内2-3mm），旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据为0，（打开软件新建一个窗口看Z1数据，看软件左侧刻度）读取校正表数值。（探针下面垫布，防止探针滑落撞击载物台而损坏）2. 校正表读数在305mmN以内OK，如不在则调整。3. 调整时打开砝码下面驱动器上的盖板，松开砝码上的锁紧螺钉左右调节至校正表读数在305mmN以内，然后锁紧砝码上的锁紧螺钉盖上盖板。三

2、、 调水平1. 把40mm和20mm标准块用酒精清洗后压在一起，要求无间隙，50mm量块在下面放在载物台。2. 打开软件点软件测量点调水平输入测量长度（量块的有效长度20-30之间）点调水平，测量结束后会弹出测量结果。3. 差值在24um以内则OK，否则调节载物台水平调节螺丝至差值在24um以内。四、 设置补偿条件 点软件测量校正选择静态校正点测量输入量块值（上面一块10mm，10mm与40mm压在一起成台阶面，台阶面为4-8mm长即可）点OK点调水平点取消点确定旋转驱动器上下调节手轮到探接触上一量块上面继续旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据在2-10之间点测量开始把探针水平移至下一量块上面点确定点测量开始输入注释点OK点下一步点下一步点完成。五、 检测1. 完成设置补偿条件后，旋转驱动器上下调节手轮到探接触上一量块上面（距台阶面5mm左右即可）继续旋转驱动器上下调节手轮至计数器上Z1数据在2-10之间点测量开始至探针接触下一量块上面并移动2-5mm点STOP。10mm2. 测量量

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