真空计算公式

1、真空计算公式1、玻义尔定律体积V压强p, p- v=常数一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即 P1/P2 = V2/Vi2、盖吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：U/V2= Tl/T2=常数当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或P降低）1 C,则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。3、查理定律当气体的体积 V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即：r/P2= T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1 C，它的压强比原来增加（或减少）1/273。4、平均自由程： 入=（5 X 10 -

2、 ）/P （cm）5、抽速：S= dv/dt （升/ 秒）或 S = Q/PQ=流量（托升/秒）P =压强（托）V=体积（升）t =时间（秒）6、 通导： C = Q/（P2-P（升/ 秒）7、 真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式：t = 8V/S （经验公式）V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟内选择。8、 维持泵选择：S维=S前/109、 扩散泵抽速估算：S= 3D （D =直径cm）10、 罗茨泵的前级抽速：S= （0.10.2）S罗（l/s）11、漏率:0漏=V（P2-P1）/（t2-t 1）Q漏一系统漏率（mmHg l/s）V系统容积（I）R 真空泵停止时系统中压强

3、（mmHg）F2真空室经过时间t后达到的压强（mmHg）t 压强从P1升到P经过的时间（s）12、 粗抽泵的抽速选择：S= Q/P 预（l/s）S=2.3V- Ig（P a/P 预）/tS-机械泵有效抽速Q真空系统漏气率（托升/秒）P预一需要达到的预真空度（托）V真空系统容积（升）t达到P预时所需要的时间Pa 大气压值（托）13、前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnAPgS 或Sggs/P nSg 前级泵的有效抽

4、速（l/s）Pn主泵临界前级压强（最大排气压强）（I/S）Pg真空室最高工作压强（托）S主泵工作时在Pg时的有效抽速。（l/s）14、 扩散泵抽速计算公式：S= Q/P= （K n）/（P t）（升/秒）式中：S被试泵的抽气速率（l/s）n 滴管内油柱上升格数（格）t油柱上升n格所需要的时间（秒）P在泵口附近测得的压强（托）K滴管系数（托升/秒）K= V0 （L/n） （ Y 0/ Y n）+PaVt其中V滴管和真空胶管的原始容积（升）L滴管刻度部分的长度（mm）n 滴管刻度部分的格数（格）3Y o油的比重（克/厘米）Y m汞的比重（克/厘米3）Pa 当地大气压强（托）V t 滴管的刻度上的一

5、格的对应的容积（升/格）22415、 旋片真空泵的几何抽速计算公式：S=n ZnLKv（D -d ）/（24 X 10 ） （l/s）式中：Z为旋片数，n为转速（转/分）,L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径（cm） , Kv为容积利 用系数（一般取95 %）。16、O型橡胶槽深 B= 0.7DD为橡胶直径，槽宽 C= 1.6B17、方形橡胶槽深 B= 0.8AA为方形橡胶边长，槽宽 C= 1.67B真空常用名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表

6、示真空度“差”的意思。3、真空度单位通常用托（Torr ）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托=1/760大气压=1毫米汞柱4、托与帕的转换1 托=133.322 帕 或 1 帕=7.5 X 10-托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“入”表示。6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“ Q表示，单位为帕升 /秒（Pa - L/s ）或托升/秒 （Torr L/s ）。7、流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s ），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“ U。U= Q/（P2- P i）8、压力或压

7、强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“ P”表示。9、标准大气压压强为每平方厘米 101325达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Q/（P Po）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和

8、位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气 体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气10-5 Pa。15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集 的离子流的大小来测定气体压强的真空计。16、电阻真空计（皮拉尼真空计）利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空 度的真空计。17、麦克劳真空计（压缩式真空计）将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，

9、利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。18、B A 规这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软 X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。19、水环真空泵泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。20、往复真空泵利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。21、油封机械真空泵用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。22、罗茨真空泵具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等 可直排大气的真空泵。23

10、、涡轮分子真空泵有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽 除。24、油扩散真空泵扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵 出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。25、低温真空泵利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。26、冷阱(水冷挡板)置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。27、气镇阀油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置,空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

11、28、真空冷冻干燥真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使 冰升华而达到干燥目的。29、真空蒸镀在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。30、真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。31、真空系统常用名称(1) 主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中 的油扩散泵就是主泵。(2) 前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片 或滑阀泵就是前级泵。(3) 粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜

12、 机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4) 维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助 泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。真空常用数据及单位换算1、真空区域划分真空区域压强范围托(Torr)帕(Pa)低真空760101013251333中真空1010313331.33 X 10 1咼真空1031081.33 X 10 1106超咼真空10 810 1210 610 10极咼真空._ -12V 10“小-1V 102、长度：公制-英制对照表单位米(m)英尺（ft）英寸（in）1 米(1m)13.2839.371英尺(1ft

13、)0.30518.331英寸0.02541213、重量：公斤-磅-央士对照表单位公斤（kg）英磅（lb）央士 (oz)1公斤12.235.271磅0.451161央士0.030.0614、各种真空计及规管对照表真空计名称电阻真空计热偶真空计1.热阴极电离真空计2.压强自动控制仪冷阴极碰控 真空计中真空计超咼真空计P规管名称电阻规管二热偶规管二电离规管冷阴极规管中真空规管B-A规管规管型号ZJ-52TZJ-51(DL-3)ZJ-53ZJ-27(DL-9)ZJ-2(DL-2)ZJ-10(DL-5)M014DL-5DL-8ZJ-32ZJ-32BCZJ-125、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表 温度形式

14、k（绝对温度）nC （摄氏） F（华氏）|K（绝对温度）1C +273.155/9( F+459.67)C（摄氏）K-273.1515/9( F -32) F（华氏）9/5(K-459.67)9/ 5( C +32)16、抽气速率单位换算表单位立方米/秒升/秒立方米/小时:立方英尺/分1立方米/秒（1m /s）1100036002118.881 升 / 秒(1L/s)10-313.62.1191立方米/小时（1m/h）-42.78 X 100.27810.591立方英尺/分（1cft/min）-44.72 X 100.471.69J17、各种水的电阻率（欧姆）水海水劣质自来水优质自来水蒸馏水超

15、净水电阻率-210101031041051061071088、20C空气在不同压强下的分子平均自由程P（托）110-310-410-510-610-9入（厘米）4.72 X 10-4.7247.247247204.72 X 109、常用压强单位换算表帕Pa托Torr微米水柱mHg微巴bar毫巴mbar大气压atm工程大气压am英寸汞柱inHg磅/英寸22lb/in7.51-29.86923 11.01972.953 1.450 1 Pa1-37.510102-65-4-4X 10X 10X 10X 10X 101 -31.315791.35953.9371.9341 Torr133.32110

16、1333.21.3332,亠-3,s-3,亠-2,亠-2X 10X 10X 10X 101 mHg0.13332“ -311.33321.33321.315791.35953.9371.93410-3-6“八-6-5-5X 10X 10X 10X 10X 101 bard C-17.57.51S39.869231.01972.9531.45010-44八110-7“八-6-5-5X 10X 10-X 10X 10X 10X 1027.57.539.869231.01972.9531.4501 mbar10-12101-4“八-3-2-2X 10X 10X 10X 10X 10X 101 atm

17、1013257603760X 101013.253X 101013.2511.033329.92114.6961 am98066.3735.56735.56980663980663.-30.967839128.95914.223X 103X 10325.43.3863.3423.4534.9121 inHg338625.4.3,-433.86. -2-21X 10-1X 10X 10X 10X 1051.7156.8956.8057.0311 lb/in 2689551.7153468.95-2-22.0861X 10X 10X 10X 1010、不同压强下空气分子密度P(托)110-310-

18、4 J10-510-610-93no（个/厘米）164X 10134X 10124X 10114X 10104X 1074X 1011、真空油脂的主要性能名称成分20C时饱和蒸气压（托）最高使用温度（C）2#高分子碳-83.1 X 10303#氧化合物10-9354#皂基脂10-710-81307501硅油加硅粉10-6以下-40+20012、力单位的换算达因(Dyn)牛顿（N）斯坦公斤力（kgf）110-510-8-61.02 X 1013、功率单位换算单位马力千瓦瓦马力（PS）10.735735千瓦（kW）1.3611000瓦(W)1.360.001114、真空封膏特性真空脂名称真空封脂真

19、空封泥50#80#30#温度50 C80 C30 C10-710-8 托10-710-8 托5X 10-4 托15、各种橡胶特性表橡胶种类天然橡胶丁基橡胶丁腈橡胶氟橡胶特性1耐水性，耐酸 性，耐碱性良好渗透率小耐油良好23型耐强酸特性2出气量较大升华严重弹性较好26型渗透率低 出气率小真空范围1X 10 -5 托107 托108 托10-8 托温度3080C30150C30120C-20200C16、面积单位换算平方米（m2）平方厘米（cm ）平方毫米（mm）平方市尺（sc ）平方英尺（ft 2）平方英寸（in 2）11100001000000910.7639155017、容积单位换算立方米升

20、立方市尺英加仑美加仑（液体）立方英尺立方英寸日升1100027219.98264.1835.31470.06103554.37 J18、1号真空机械泵油的主要性能指标项目运动粘离（厘泊）闪点（C）饱和蒸汽压20 C时比重分子量KK-150C时(4757), 100C时(811)不低于15不咼于4X 105托0.86克/厘米3333 克19、国产扩散泵油性能指标牌号1#2#3#274硅油275硅油饱和蒸气压（托）20 C不大于4X 10-82X 10-82X 10-82X 10-8-81.7 X 10运动粘度（厘泊）45605565688038 3165 20凝固点（C）不高于-15-15-15-10-14-18闪点（C）不低于230230230 210 243比重（克/厘米2）1.051.081.09 0.0220、真空泵的种类及其工作范围真空泵工作范围（托）真空泵工作范围（托）旋片真空泵-47605X 10往复真空泵-276010滑阀真空泵37605X 10-吸附泵-476010油增压泵-1-410 10溅射离子泵-4-1010 10罗茨真空泵10-110-4钛升华泵10-310-10油扩散泵-3-710 5X 10分子泵10-310-10水环真空泵76025低温泵10-3