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文档简介

一、拉晶工艺流程图 说明： 取出晶体取出晶体 清炉过程 安装热系统安装热系统 连接部位的检查连接部位的检查 2. ? 中下部的料可以装得紧凑些并且贴近埚壁，但应该是自然堆砌， 而不是硬挤。上部的料块，仍可轻轻靠在埚壁上，但应该注意四 ? 3.抽空 4.充氩气 5.化料 ? ? 6.引晶 ? 7.放肩 副室抽真空 8.转肩 9.等径 等径过程中掉苞的处理 注意事项注意事项 拉拉B C) 10. 11. 12. 第一次煅烧第一次煅烧 对于新热场、炉子根据上次煅烧情况，进行第二对于新热场、炉子根据上次煅烧情况，进行第二 次或第三次煅烧。次或第三次煅烧。

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