振动因素对SPM测量结果影响的研究

1、2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 1300 540570 270 105 60 8 0 0 200200 400400 600600 800800 10001000 12001200 14001400

2、2 219196060120120240240800800140014002200220060006000 频率，频率，hz 激振振幅，激振振幅，nm 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 103.03 43.25 7.63 15.26 180.00 29.26 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 0255176102127250500 频率，hz频率，hz 振幅，nm振幅，nm 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 7.63hz 42.90hz 24.79hz 4.77hz 15.25hz 0 0 200200

3、400400 600600 800800 10001000 12001200 14001400 16001600 18001800 0.950.9510.4910.4920.0220.0229.5629.5639.0939.09 频率，hz频率，hz 振幅，nm振幅，nm spm基座spm基座 spm测头spm测头 扫描器外壳扫描器外壳 样品台样品台 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 1khz 900hz 800hz 700hz 600hz 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 1khz 1.1khz 1.2khz 1.3

4、khz 1.4khz 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 1.4khz 1.5khz 1.6khz 1.7khz 1.8khz 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 1.8khz 1.9khz 2.0khz 2.1khz 2.2khz 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 200

5、2-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 10001000900900 1717 6060 180180 110110 0 0 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 6 6 7 7 8 8 9 9 0 06 61717505010010014014022022060060011001100150015002000200050005000 频率，hz频率，hz 间距变动量，nm间距变动量，nm 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动因素影响spm测量结果 2002-11-23振动