半导体厂设备工程师人员安全注意事项

1、半導體廠設備工程師人員安全注意事項 半導體廠設備工程師人員安全注意事項 林義凱工程師 台灣積體電路製造股份有限公司三廠工安環保部 摘要J - 半導體業對台灣整體市場影響力非常大，積體電路製造過程使用非常多化學 品及有害氣體，主要設備單位包括 Diff、Thin-film 、CMP Vacuum Dry Etch、 Wet Etch、Photo。為了讓工安人員、設備人員能夠充分的了解在FAB內所處之 工作環境及在工作時需特別注意之安全事項，茲將設備人員所負責之機台及該注 意之安全事項，加以彙整說明，以確實加強改善半導體廠設備工程師人員之安 全，避免人員意外事件發生。 一、工作安全之基本觀念 一般

2、工作現場中主要安全基本觀念包括以下數點：S+ （一）安全是工作的一部份，我們有義務要把安全做好。 （二）依據國際安全評分系統（ISRS）所統計之意外事故比率： 每6 0 0件虛驚事故，就會伴隨3 0件財物損失之事故，並產生10件輕 微傷害事故，最後可能產生1件嚴重傷害事故。 （三）任何意外事故發生，均是由日常工作中不安全的行為或不安全的環境所造 Jzj成 （四）落實安全管理是主管的必修課程，不是在事後補救；預防勝於治療。7 一 （五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必須有百分之百的把握， 你所做的任何行為或動作沒有任何安全顧慮。所有工作人員，都必須有預 知危險之危機意識。 （六）從事

3、任何工作，你首先要考慮的是你自己本身的安全，再來是週遭的人身 安全，其次才是機台與產品的安全。 （七）擔任維修及保養工作時，若你發現你不夠清楚，請立即停止進行中的工作。 （八）凡事務必遵守標準程序（SOR PMProcedure、Trouble Shooting Guide） 從事特定維修工作，請確實按照規定穿著標準防護用具。 二、設備人員維修/保養工作通則 半導體廠中設備人員維修、保養時易造成人員安全疑慮，因此凡於無塵室內 從事PM及維修工作時，均應遵守下列規定事項，以確保安全且整齊之高品質工 作環境。 （一）安全事項： 1任何操作均以安全為第一考量。7hR a.e# 2、設備維修時，必須掛

4、上維修中警示牌，以防止他人誤動作。 3、PM維修中，如需佔用走道或掀開高架地板，工作人員必須將施工區域用圍 欄區隔，以防止危險發生；掀開高架地板作業完畢，地板蓋回後，必須確認 地板間是否平整，以維持無塵室內作業安全。 4、PM維修時，若有接觸化學品或有害氣體之虞時，必須依照標準 Procedure 做好安全防護措施，以保護本身及他人之安全。 5、PM維修中如需要使用附屬設備，如工作台車、House Vacuum時必須擺放適 當之安全位置，以防止人員絆倒產生危險。 6、使用IPA、H2O2 DIW須用小瓶罐裝，人員離開時須放回鋼瓶座內。 7、執行維修保養工作時，務必特別注意機台零件及工具銳角對人

5、身可能造成之 （二）操作整齊注意事項：- 1、任何操作均應隨時保持高品質之工作環境。 2、PM維修拆下之零件，不可放置機台或地面上，必須放置維修台車上或指定 收納置物箱內，螺絲須放入螺絲盒內，如Parts體積龐大須暫放地面，應放 置安全，不得妨礙他人之作業安全。 3、PM維修使用之工具須擺放整齊，人員離開時必須放在工作台車上或放回工 具箱內。 4、PM維修使用完之無塵布、棉花棒等，必須立即丟入垃圾筒及垃圾袋內，以 保持工作環境之整潔。0 5、搬運物品時必須輕提輕放，不可用拖拉方式移動物品。 6、PM維修時，禁止使用貨架台車暫放零件或運送零件，以維護貨架台車之清 潔，PM工作台車使用完畢，必須保

6、持乾淨清潔，放置於規定地方。 7、House Vacuum使用完畢後，須 check house outlet之銅蓋是否蓋上及密合， 使用電源插座完畢後，須 check電源座是否推回地板面，蓋子是否蓋上。 &工作中或暫時休息，皆不可坐於桌面及地板或腳踏板上。5 9、工作完成後，請檢視周遭環境確保整齊清潔。 三、設備人員單位簡介及安全概述 半導體廠設備單位一般包括 Diff、Thin-film 、CMP Vacuum Dry Etch、- Wet Etch、Photo，各單位之主要性質介紹如下： （一）Diff 擴散設備單位（包括 KE、TEL、DNS Applied 等） 主要用到有毒、無毒之

7、 Process Gas、water、高電壓、高電流、廢氣， Clean 機台則使用強酸鹼化學液、而有廢酸液之生成。 （二）Thin-film薄膜設備單位（包括 Applied、Novellus 等） 主要用到有毒、無毒之 Process Gas、water、高電壓、高電流、高頻、廢 氣。 （三）CMP研磨設備單位（包括Applied、DNS等） 主要用到強鹼slurry 化學液、water、而有廢鹼液之生成。 （四）Vacuum真空設備單位（包括 Applied、AG Varian等） 主要用到有毒、無毒之 Process Gas、water、高電壓、高電流、高頻、廢 氣；噴砂機台作為維修之

8、用。 （五）Etch乾蝕刻設備單位（包括 Lam TEL、Applied、PSC Mattson機台） 乾蝕刻機台之製程主要用到有毒特殊氣體（Cl2,Hbr,氟化物）、無毒之氣體 （N2,Ar.）、water（冷卻循環水,去離子水.）、高電壓、高頻、高電流在真 空中反應，且在生產過程會有廢氣、輻射、廢水之生成物。 （六）Etch濕蝕刻設備單位（包括 Kaijo機台） 濕蝕刻機台之製程主要用化學藥品，如強酸 （HF ,BOE ,H3PO4 ,H2SO4 ,HNO3），強鹼（ACT-690）及 DIW ,Cooling water等，在生產過程中會有廢酸液、廢水及反應生成物之產生。 （七）Phot

9、o黃光設備單位（包括 ASM stepper、TEL track、AGV及其他相關量 測或檢視機台） 主要用到紫外線光源 HMDS thinner、光阻等有機溶劑，且有高電流、高 電壓、紫外線之應用，生產過程會有廢氣、廢液之生成。 綜合一般無塵室內常見之工業安全傷害，可分為化學性、物理性之傷害， 而傷害也分佈身體之各部位。以下就將各單位較易發生及機台維修之安全事項說 明如下： （一）Diff 擴散設備單位 1、Furnace tools and CVD tools （1）機械方面：robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外洩、plasma輻射傷害、gate door之夾傷，高溫燙傷。 （2）

10、電力方面：高壓電流觸及。 （3）維修方面：身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。 （4）保養方面：高溫爐管之燙傷、parts之割傷、化學溶劑吸入性及噴濺之傷害 2、Wet bench安全注意事項 （1）機械方面：robot之夾傷、撞傷、挫傷。 （2）化學藥劑方面：強酸/強鹼之灼燙傷、化學品之觸及、吸入性傷害 (3) 電力方面：漏電觸及。4 (4) 維修方面：撞傷、wafer割傷、強酸/強鹼之波及。 3、Inter-bay transfer system (1) 機械方面：R/M之夾傷、撞傷、挫傷。 (2) 維修方面：高架作業之安全。 (二)Thin-film薄膜設備單位 (1) 機械

11、方面：避免撞傷、高溫燙傷、廢液桶壓傷、 robot夾傷、slit valve 夾 傷、7 肌肉拉傷。 (2) 電力方面：避免高壓電流觸及身體。 (3) 維修保養方面：高溫燙傷、粉塵吸入、重物壓傷、強酸/強鹼之灼傷、身 體之擦傷、撞傷、夾傷、挫傷、parts害V傷、powder避免吸入體內。 (4) 化學溶劑方面：強酸/強鹼之波及和吸入。 (5) 特殊氣體方面：防止毒氣外洩之吸入。 (三) CMP研磨設備單位. (1) 機械方面：motor gear 轉動時夾傷、DNS gate door夾傷。 (2) 電力方面：高壓電流觸及。 (3) 維修方面： a. Mirra Cross轉動時須先確定無人

12、。#- b. robot 移動時，須把door關起來，避免撞人員。 c. Wafer 破片之割傷。 (4) 保養方面：換Pad時須使用適當工具，避免拔 Pad時工具撞到臉部。 (5) 化學藥劑方面：4. a.維修或養DNS TBC chamber時要先flush，並帶口罩及防酸手套，防止 HF腐蝕。一 b.處理W slueey時，須帶手套。 (四) Vacuum真空設備單位 (1) 機械方面：robot之夾傷、撞傷、chamber毒氣外洩、plasma輻射傷害、slit valve之夾傷，肌肉拉傷，咼溫燙傷。 (2) 電力方面：高壓電流觸及、X ray輻射、強磁場。 (3) 維修方面：身體之撞

13、傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。 (4) 保養方面：高溫燙傷、parts之割傷、化學溶劑吸入性及噴濺之傷害。 (5) 特殊氣體方面：防止毒氣外洩之吸入。 (五) Etch乾蝕刻設備單位 (1) 機械方面：機械手臂之夾傷、撞傷、chamber毒氣外洩吸入性之傷害、plasma 輻射污染傷害、gate door之夾傷，咼溫燙傷。 (2) 電力方面：高電壓、高電流之電擊傷害。- (3) 維修方面：身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、wafer之割傷。 (4) 保養方面：parts之割傷、化學溶劑吸入性之傷害。 (六) 濕蝕刻設備單位 (1) 機械方面：機械手臂之夾傷、撞傷、挫傷。 (2) 化學藥劑

14、方面：強酸/強鹼之灼燙傷、化學品之觸及、吸入性傷害。 (3) 電力方面：高電壓、電流之電擊傷害。 (4) 維修方面：撞傷、wafer割傷、強酸/強鹼之波及。一 (七) Photo黃光設備單位 (1)機械方面：robot、mail arm、AGV之撞傷，KrF、化學品外洩、indexer 之 夾傷，高溫燙傷。一 (2)電力方面：高壓電流電擊。 (3) 維修方面：身體之撞傷、擦傷、夾傷、燙傷、lamp、wafer之割傷、高速旋- 轉物飛出、液體濺出。 (4) 保養方面：紫外線、laser曝露、有機溶劑吸入、皮膚接觸。 钟子期听懂了俞伯牙的琴音 一一巍巍乎若高山，荡荡乎若流水”俞伯牙视其为知音。钟子

15、期死后，面对江边一抔黄土，俞伯牙发出“此曲终兮不复弹，三尺瑶琴为君死”的感慨，摔琴而去，从 此，高山流水，知音难觅。 “你既为我之知己，自然我亦是你之知己”造 红楼里，宝钗与黛玉皆爱宝玉，宝钗看重功名，常拿一些伦理纲常来压制他的不羁与顽劣，黛玉却从未提及这些，因她懂得他的心性，她说 不是所有的相遇都可以相知，不是所有的相知都可以永恒。生命里，我们只愿结交那些心性相宜的人，统一的语言，相同的志趣，将彼此的心灵拉近，一份懂得，不言不语，却在默契里 滋生。 懂得，是两颗心的对望，潜生一种心灵感应，不发一言，便可知会。一声懂得，没有千言万语，却可以令人眸中含泪，心中蕴暖。 这世间太多人情薄凉，你是否觉得，有一个真正懂你的人，是一种幸福与慰藉呢？茫茫人海，你不孤单，有人愿与你同运命，共风雨，如此