无尘室环境检测标准

1、1. 目的 规范无尘室内环境检测方法及判定作业。 2. 范围 适用于公司所有无尘室的环境检测作业。 3. 职责 无尘室管事部：负责无尘室的定期检测及检测数据的统计分析，无尘室检测异常的提出。 生产部：负责对无尘室的日常维护及保养。 机电部:负责无尘室高效及低效过滤网的更换及维修。 设备部：负责无尘室的定期保养，新过滤网的请购。 4. 内容 无尘室落尘检测： 静态检测：生产设备安装完毕，且正常运行但无人员工作状态下检测。 动态检测：生产设备安装完毕正常运行，且工作人员正常工作状态下检测。 检测周期:无尘室2次/周。作业面区域2次/周，FFL过滤网检测1次/年度，生产依据检测排查结果，开出工 程需

2、求申请单，请购滤网进行更换。注：CCI及三星专线无尘车间为每日点检。 无尘车间人数规定，按每3m2最多只能容纳1人计算；比如：100m2的车间，最多只能容纳33人， 每天进入无尘车间人员需做清点及统计，并记录于无尘室人数点检表中，超出空间限制人 员数量时应由无尘室管理禁止及进入。（参考国标GB 50073-2001）。 检测方式： 检测时使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。 测量时位于工作区的高度（距离地面高度约处进行检测。 测量时间最少为1mi n。 检测异常处理： 灰尘度检测人员对检测结果进行判定，如检测结果超出标准，无尘室管理部开出无尘室检测异常 联络单，要求产线和相关部门进行改

3、善，改善后再进行生产。 检测方法要求： 参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Sta ndard for Certified Test ing of Clea nroom 1个立方英尺，取样时间为一分钟。 在每个点的中心最小取一分钟，高度在米左右（靠近人员实际作业区域） 当有障碍物时采样点放在障碍物12英寸上面 检测等级判定： 本司检测设备检测量为 min（即min）。 依据FS-209E/GB50073-2001标准进行检测判定，即1ft的空间里面含有落尘的数量即为多少等 级,也可依1m3空间来计算,换算公式为1 m3=1000L。 例：现设备检测1min,的落

4、尘显示数值为87。即为：在空间内有87个的落尘=1ft空间内有870 个的落尘。依标准判定无尘室等级为870级。 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度等级（ft & m3比对表） 等级标准 等级限制 5um 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 m3 Ft3 10 2 100 24 10 4 1 1000 35 237 102 3 35 1 10 10000 350 2370 75 1020 30 352 三10 100 100000 23700 750 10200 300 3520 100 29 1000 1000000 237000 102000 35200 996 293 7 10000 352000 9962 2930 70 100000 3520000 99616 29300 700 293000 FFU滤网检测：参考：ISO 14644-3 : 注1:洁净室及相关受控环境-第3部分：计量和测试方法。 测试方法 2X4过滤器，距离其表面150MMi均匀取2个读数 4X4过滤器，距离其表面150MM处均匀取4个读数 20% 无尘室压力管控 规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于5pa，洁净区与室外的压差应 不小于10pa