《激光刻膜机介绍》ppt课件

1、我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其中激光划线机3台1台1064nm红光；2台532nm绿光【两台一样】；激光增透机1台；激光清边机1台。非晶硅薄膜产品线引见非晶硅薄膜产品线引见华工非晶硅产品线引见 激光划线机激光划线机P1为为1064nm刻刻TCO膜、膜、P2为为532nm刻非晶硅膜、刻非晶硅膜、P3为为532nm刻刻Al铝铝层层 激光增透机激光增透机P4为为532nm 激光清边机激光清边机P5为为1064nm激光划线机设备机型引见激光划线机设备机型引见激光划线机图片仅供参考激光划线机图片仅供参考激光划线机引见激光划线机引见P1、P2、P3激光划线运用激光划线运用P1P2P3激光划线机组成激

2、光划线机组成系统组成红外激光器系统、绿激光器系统、声光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦系统、控制及软件系统、除尘系统.视觉定位系统.二维高精度任务系统及定位系统和气动夹紧系统所组成。可根据客户需求配备玻璃翻转机构。实现自动化消费系统的任务原理系统的任务原理划线机激光器划线机激光器 激光器激光器1：(P1) 激光波长：激光波长： 1064 nm 任务频率范围：任务频率范围： 1100KHz 平均功率：平均功率： 20W50kHz 激光脉冲能量不稳定性：激光脉冲能量不稳定性： 2%(RMS) 激光脉冲宽度：激光脉冲宽度： 90% 晶体：晶体： YVO4 光束质量：光束质量： M2 5W30kHz

3、 激光脉冲能量不稳定性：激光脉冲能量不稳定性： 2%(RMS) 激光脉冲宽度：激光脉冲宽度： 90% 光束质量：光束质量： M2 1.1 出口光斑：出口光斑： 0.9mm 远场发散角：远场发散角： 1.8 mrad 偏振方向：偏振方向： 垂直垂直 晶体晶体: YVO4 泵浦方式：泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦光纤耦合端面泵浦划线所到达的目的划线所到达的目的 刻线光滑明晰，刻划线膜层两侧不能粘 连短路检测方式为万用表档 线宽：0.04mm-0.08mm可调 三条线总宽0.4mm以内光学系统光学系统 采用全封锁光路系统采用全封锁光路系统 1分光系统：四路同时输出，光束间功率最大差别小于5，且四条光束

4、的间距可调，调理范围：5mm18mm； 2全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统 3配置2-8 倍扩束系统，保证光束高质量左图所示为四光路分光聚焦系统。二维平移台可使各自单光路系统在一定范围内挪动，以调理单光路的程度位置；45度折返组件能将单束激光分成能量相当的四路激光。聚焦镜调理组件能方便用户调理激光在垂方向上的焦点位置。采用单光路高精度组合聚焦透镜 经过调理聚焦筒调理聚焦焦距，使之到达划线效果最好。聚焦筒上标有刻度，方便调整。 焦距 f=100mm浮动Z轴光点焦平面可精细调理聚焦系统聚焦系统控制及软件系统控制及软件系统计算机控制系统是整个激光划线机控制和指挥的中心，同时也是软件安装的载体。

5、经过控制声光调制系统、四光路分光系统、运开任务台伺服系统的协调任务完成对工件的刻线处置。软件系统是采用本公司本人研发的软件华工激光专利，本软件操作简单，功能强大，易于掌握，刻划参数可由软件设定并保管。并实时显示运动轨迹。软件功能引见软件功能引见划线软件华工激光专利、是激光划线机重要技术划线软件华工激光专利、是激光划线机重要技术支撑点支撑点1 1本软件界面友好，本软件界面友好，操作简单，易于掌握。操作简单，易于掌握。刻划参数可由软件设刻划参数可由软件设定并保管。并实时显定并保管。并实时显示运动轨迹示运动轨迹二维高精度运动系统 采用任务台作二维运动方式。二维运动系统采用大理石底座使运动的动刚度更好

6、，有利于设备在高速运动平稳，选用进口直线电机和高精度导轨；反复定位精度：X轴和Y轴 3m定位精度：X轴 2m Y轴 2m 平行度： 2m 平面度：0.02刻线直线度：15m/1400m CCD定位精度：1um 任务行程：1100*1400mm直线电机：X轴龙门上激光头运动 最大推力: 1200 N继续推力: 586 NY轴 设备底座上任务台运动 最大推力: 1200 N继续推力:586 N 玻璃基板固定夹具激光划线机技术参数激光划线机技术参数 1红外激光波长:1064nm 2绿激光波长: 532nm 3直线电机驱动划线速度：400mm-1500mm/s 4任务幅面规格：1245mm635mm、 1300mm1100mm 1400mm1100mm (任务台可根据客