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文档简介
1、实验报告(四)一、实验目的:掌握静力学分析;验证理论分析结果;对 不同形状膜的分析结果进行对比。二、实验器材:能够安装ANSYS件,内存在512MHz以上,硬盘有5G空间的计算机。三、实验说明1、基本思路:建模与网格化;静力学分析;对结果进行分 析和比较。2、问题描述:许多压力传感器的工作原理是将受压力作用 而变形的薄膜硅片中的应变转换成所需形式的电输出信号, 比较的膜形状有圆形.正方形.长方形。四、实验内容及步骤(一)、圆形薄膜(自由式网格划分)1、先建立一个圆形薄膜:Main Menu 'Preprocessor 'Modeling >Create >Volum
2、es>Solid Cylinder. 弹出 一个对 话框, 输入 WPX=0, WPY=0, Radius=300e-6,Depth=13.887e-6,单击OK。设置单元类型: Main Menu 'Preprocessor 'Element Type >Add/Edit/Delete, 弹出一个对话框,点击Add,在 Library Of Element Type下拉列表框中选择StructuralSolide 项,在其右侧下选择Brick 8node 45选项,单击OK。再点击 Close.2、设置材料属性:Main Menu 'Preprocesso
3、r 'MaterialProps > Material Models,弹出一个对话框,在 MaterialModels Available 下双击打开 Structural 'Linear 'Elastic 'Isotropic,又弹出一对话框,在EX后面输入1.9E11,在PRXY后面输入栏中输入 0.3,在双击Density, 在DENS后面输入2.33e3,单击0K。关闭对话框。设置单元 尺寸:Main Menu 'Preprocessor 'Meshing >MeshTool, 弹出一个对话框,单击Global中的Set按钮,
4、弹出GlobalElement Sizes 对话框,输入 size=5e-006,然后单击0K <1VOLUMESTYPE NUMANMAR 20 201209060242-44-sunguoliang3、采用自由式网格化生成单元:MainMenu'Preprocessor'meshing'meshtool 弹出一个对话框,选 择Shape后面的Tet,Free,. 然后单击 Mesh,在单击OK。 施加约束:Main Menu 'Solution >Define Loads >Apply 'Structural 'Displa
5、cement >OnAreas.拾取圆的周围 面,然后单击OK,选择ALL DOF,单击OK。4、施加载荷:Main Menu 'Solution 'Define Loads 'Apply 'Structural 'Pressure >On Areas 拾取薄膜 上表面,然后单击OK,出现一个对话框,在Value Load Pres Values后面输入100000,单击OK。5、求解:Mai n Menu- 'Solutio n 'Solve 'Cure ntls LS 弹出一信 息框和一对话框,单击File
6、9;Close,单击OK,出现一个Solution Is Done的信息提示框时,单击 Close按钮。Utilitymenu 'File 'Save As.输入 Plate-Resu,.单击OK。UNFORRFORPRES100000MAR 20 201215:21:3409060242-44-sunguoliang6、显示节点位移云图:Main Menu >Gen eral Postproc >PlotResults >Contour Plot >Nodal Solu,出现对话框:在 ContourNodal Solution Data对话框中选择
7、Item To Be Con toured >NodalSolution >Dof Solution >Displaceme nt Vector Sum. 然后单击OKSTEP=2SUB =1TIME=2USUMRSYS二SOLUDMX =.214E-06SMX =.214E-06MAR 23 201208:09:290.476E-07.952E-07.143E-06.190E-06.238E-07.714E-07.119E-06.167E-06.214E-0609060242-44-sunguoliang7、显示节点应力云图:Main Menu >Gen eral Postproc >PlotResults >Co ntour Plot >Nodal Solu,出现对话框:在 Co
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