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文档简介

1、等离子体放电原理与焊接一一不锈钢表面镀膜烙铁钎焊实验姓名 *学号 *一、实验目的学习本课程的教学目的在于培养学生：1、了解多弧放电技术的应用及优缺点；2、熟悉真空离子镀膜专用设备、设备构造原理及使用方法。3、感悟学科的交叉，学以致用。二、实验装置及实验材料2.1 实验装置(1) dhj-800型多功能等离子体处理平台机(2)超声清洗机(3)复合高功率脉冲电源和阴极弧电源(4)电烙铁2.2 实验材料304不锈钢、cu靶、焊锡、铜导线、芯片等实验用品三、实验原理以在不锈钢试片与电子元件引脚或 cu导线直接钎焊前，选择与钎料存在反应的 cu元素 在不锈钢母材表面进行沉积前处理， 即在不锈钢(或铝表面

2、) 形成铜元素改性层， 进而提高 处理后的母材表面钎料的润湿铺展性，从而实现不锈钢与元件管脚或cu导线的直接钎焊。四、实验方法与实验步骤4.1 实验方法(1)不锈钢表面僦离子溅射清洗(2)不锈钢表面沉积 cu薄膜(3)不锈钢直接焊接与不朽钢镀铜烙铁钎焊的比较4.2 镀膜实验步骤 如下表所示：处理过程预定参数超声清洗内酮清洗：3min酒精清洗：3min真空建立本底真空：1.0x10-2 paar离子溅射清洗ar 流里：30 sccm气压：*工件偏压:时间：* - pa* v* minar流量：工作气压：x sccm*pacu薄膜制备工件偏压阴极弧电流* 一v* aa时间：* min烙铁钎焊五、试

3、验结果(1)试验设备照片：*(2)试片照片：*(3)焊接后试片照片：*(4)实验结论和体会：*(5)可以发挥:*注：把* 部分补充完整真空加热 冷闻系统真空fttfjrrut- n c：h： *水系统迸/口触发器，是个引弧针，是接触引弧。接触后，拿开，电弧形成。类似于我们 焊接的接触引弧。在真空中金属在电弧的加热下熔化蒸发， 蒸发的原子在电场作 用下离化，形成等离子体。工件上施加负偏压，离子被吸引到工件上，形成膜层。膜层的种类依赖于靶材。膜层质量决定于等离子体密度、工件偏压、真空度、真 空室温度以及阴极弧放电的大颗粒杂志等等。当靶材为活性靶材（如ti、al、cr、zr等），而气体为反应气体（如n2, o2, ch舒）时，就会形成tin、aln、tio2、 altin等等。这些陶瓷性材料具有耐磨、防腐、耐高温等一系列优异性能，用于 刀具、模具、齿轮、轴

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