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1、第四章第四章 数字式传感器数字式传感器常用数字式传感器有:常用数字式传感器有:光栅式传感器、磁栅式传感器、编码器、光栅式传感器、磁栅式传感器、编码器、感应同步器感应同步器http:/ 光栅数字式传感器光栅数字式传感器n分类分类n光栅传感器基本原理结构光栅传感器基本原理结构n测量电路测量电路n应用应用 http:/ 透射光栅透射光栅反射光栅反射光栅 按光栅表面结构和作用原理按光栅表面结构和作用原理黑白光栅黑白光栅闪耀光栅(相位光栅闪耀光栅(相位光栅) 按用途按用途长光栅长光栅圆光栅圆光栅 径向光栅径向光栅切向光栅切向光栅 激光全息光栅、偏振光栅激光全息光栅、偏振光栅玻璃相位光栅的断面玻璃相位光栅
2、的断面http:/ 在和光栅刻线向垂直的在和光栅刻线向垂直的方向上,就出现了明暗相方向上,就出现了明暗相间的条纹,这些条纹就是间的条纹,这些条纹就是莫尔条纹。莫尔条纹。http:/ 1光源;光源;2透镜;透镜;3主光栅;主光栅;4指示光栅;指示光栅;5光电元件光电元件 组成:光栅付、光源、光电转换电路组成:光栅付、光源、光电转换电路http:/ 1光源;光源;2透镜;透镜;3主光栅;主光栅;4指示光栅;指示光栅;5光电元件光电元件http:/ 1光源;光源;2准直透镜;准直透镜;3主光栅;主光栅;4指示光栅;指示光栅;5透镜;透镜;6光阑;光阑;7光电元件光电元件http:/ 1主光栅;主光栅
3、;2指示光栅;指示光栅;3场镜;场镜;4反光镜;反光镜; 5聚焦透;聚焦透;6光源;光源;7物镜;物镜;8光电元件光电元件 反射式光路:反射式光路: http:/ 1光源;光源;2半透半反射镜;半透半反射镜;3聚光镜;聚光镜;4主光栅;主光栅; 5物镜;物镜;6反射镜;反射镜;7光电元件光电元件http:/ 主光栅和指示光栅做相对位移产生了莫尔条纹,莫尔条纹需要经过转换电路才能将光信号转换成电信号。光栅传感器的光电转换系统由聚光镜和光敏元件组成,光敏元件可以将光量的变化转换成电阻或电能的变化。 http:/ 。http:/ 号号bg1bg1a光栅栅距光栅栅距40 m(0.040mm)、)、20
4、 m(0.020mm)、)、10 m(0.010mm)光栅测量系光栅测量系统统透射式红外光学测量系统,高精度性能的光栅玻璃尺透射式红外光学测量系统,高精度性能的光栅玻璃尺读数头滚动读数头滚动系统系统垂直式五轴承滚动系统,优异的垂直式五轴承滚动系统,优异的重复定位性,高精度测量精度重复定位性,高精度测量精度45五轴承滚动系统,优异的重复五轴承滚动系统,优异的重复定位性,高等级的测量精度定位性,高等级的测量精度防护尘密封防护尘密封采用特殊的耐油、耐蚀、高弹性及抗老化塑胶,防水、防采用特殊的耐油、耐蚀、高弹性及抗老化塑胶,防水、防尘优良,使用寿命长尘优良,使用寿命长分辨率分辨率1 m2 m5 m10 m有效行程有效行程503000mm 每隔每隔50mm一种长度规格(整体光栅不接长)一种长度规格(整体光栅不接长)工作速度工作速度20米米/分钟分钟工作环境工作环境温度温度050 湿度湿度90(205)
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