重点实验室所需设备购置计划表

1、重点实验室所需设备购置计划表（预算268万元）序号设备名称拟购数单价（元）金额小计（元）技术参数1场发射扫描电子显微镜1套26800002680000一、 运行环境：1.1、房间温度：1822；1.2、相对湿度：小于65%；1.3、适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，6kVA，要求连续供电；1.4、地线：仪器要求的接地电阻值不大于1；二、设备用途：用于空间组织结构、成分分布、微观样品的形貌及样品的元素分析；三、技术规格3.1、组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件；3.1.1 扫描电镜电子光路采用无交叉的

2、设计3.2、电子枪：肖特基热场发射电子枪，最大束流不低于20nA；3.3、分辨率：二次电子像：不低于1.2 nm / 15kV；不低于2.2nm /1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜；3.4、加速电压：加速电压：0.02kV30 kV，步进10V，连续可调，无需模式更换；3.5、束流稳定性：优于0.2%；可在设备电流参数中上进行查看监测；抗噪声性能优于1%/h；3.5.1镜筒有无磁设计，能够保证铁磁材料的成像，可对铁磁性材料进行高分辨成像, 镜筒具有减震系统和自动水平系统样品观察点导航功能。3.6、放大倍率：10-1,000,000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数

3、自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；3.7、五轴马达驱动样品台移动范围：125mmX，125mmY，50mmZ，T=-10°+90°（倾斜），R=360°（旋转）；3.8、样品室：宽度或者内部直径不小于365mm，高度不小于270mm；3.9、抽屉式拉门，最大样品尺寸：200mm (直径)；3.10、扫描电镜操作软件：配合扫描电镜的基本操作软件；3.10.1双放大系统：在观察区域同时进行再放大可同时观测，帮助聚焦，调节图像；3.10.2鱼眼模式：可以通过大视野对于样品进行查看，有助于样品室样品的观测和寻找；3.11、真空系统：全无油真空系统3.11.1样品室真空

4、度：高真空模式优于2×10- 4 Pa；电子枪真空度：10-9Pa数量级；3.11.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵；3.11.3 前级机械泵；3.11.4自动抽真空：完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规´1，皮拉尼规´2；3.12、探测器：3.12.1配置镜筒内环形二次电子探测器，位于光路正光轴上，电子光路穿过环形探测器中心，探测器不能位于光路一侧；3.12.2样品室内二次电子探测器ETSE；3.12.3样品室IR-CCD相机；3.12.4高灵敏度5象限背散射电子探测器；3.12.5二次电子像或纯的被散射电子像或两种信号的任意比例混合像；3.13、操作系统：3.1

5、3.1断水、断电和真空状态不良下的自动保护；3.13.2操作方式：控制样品台的控制器，采用键盘与旋钮控制面板集成的操作面板和双轴摇杆台及鼠标；3.13.3可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；3.13.4 具有双通道功能，屏幕显示不同探测器拍摄的图像；3.13.5 具有样品台图像导航功能；3.13.6 具有断水、断电和真空状态不良下的自动保护；3.14附件接口：3.14.1 配备能谱仪(EDS)接接口；3.14.2 配备IR-CCD相机接口；3.14.3样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）系统

6、、红外CCD照相机、波谱仪（WDS）等不少于六个附件接口，且二次电子探测器、EDS和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析的最优化设计；3.15、显示器：24寸，显示器分辨率1920x1200 3.16、能谱仪（EDS）技术参数：3.16.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；扫描电镜配置的能谱仪器分析工作距离小于9.0mm；3.16.2 分辨率优于127eV；3.16.3 谱峰漂移小于1eV；3.16.4 分析元素范围：Be4-Pu943.16.5 场效应管；3.17软件：3.17.1 点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素；3.17

7、.2 定性定量分析导航器；元素面分布分析导航器；电子束任意定位分析导航器；上述三个导航器涵盖点、线、面分析；3.17.3从Be-Pu的所有元素的完整的能谱数据库；3.17.4自动多点分析；没有数目限制的元素面分布图；没有数目限制的至少四套以上的多套能谱的自动迭加比较；3.17.5重叠峰剥离；3.17.6实时的定性定量分析定性分析：可检测到质量分数在0.1%以上的BePu之间的元素；定量分析：准确度在±0.5%±1.0%之间（元素含量在5%以上）；准确度在±1%±5%之间（元素含量在5%以下，1%以上）；准确度在±5%±15%之间（元素

8、含量在1%以下）；3.18数字图像记录系统：3.18.1图像扫描：100%数字化扫描，最大扫描和成像3000 x 2300像素；3.18.2 图像显示：1920×1200像素，24”LCD显示器；3.18.3测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入；3.18.4 图像记录：TIFF，BMP，JPEG；3.18.5扫锚电镜工作站系统一套。3.19、仪器生产厂家在福建当地设有售后服务点，以提供便捷高效的服务；需提供仪器生产厂家盖章说明在福建售后人员名单及联系方式。四、配置要求4.1、场发射扫描电子显微镜主机 1台4.2、场发射电子枪 1套4.3、镜筒内正光轴上二次电子探测器 1套4.4、样品室二次电子探测器 1套4.5、高灵敏度5象限背散射电子探测器 1套 4.6、样品室IR-CCD相机 1套4.7、电子半导体制冷能谱仪 1套4.8、分子泵 1套4.9、机械泵 1套4.10、离子泵 1套4.12、电镜数据管理及图像处理软件 1套4.14、冷却循环水系统 1台4.15、空压机 1台4.16、供电装置 1台4.17、扫描电镜工作站 1台4.18、开机