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文档简介
1、c自来水进水pword 文档取样保安过滤器ppcf不合格排放p原水箱r紫外线杀菌灯原水泵机械过滤器fp活性炭过滤器紫外线杀菌灯软水器盐箱rf高压泵反渗透装置化学计量泵用水点纯水出口调压阀ffppp风机过滤器0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放pfkfk浓水回流或排放极水 浓水fi循环泵c纯水抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级edi膜堆0.2 um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放ppcfrcfk电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流量计电阻率表电导率表图 3常用的一级 ro+二级 edi+mb 电子 i 级超纯水系统工艺配置图流变掌握开关适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率高(小于10
2、00 s/cm ),要求产水电阻率18 18.2m· cm的超纯水系统c自来水进水p取样保安过滤器ppcf不合格排放p原水箱r原水泵紫外线杀菌灯机械过滤器fp活性炭过滤器紫外线杀菌灯软水器盐箱rf高压泵反渗透装置化学计量泵用水点纯水出口调压阀ffppp风机过滤器0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放pfk浓水回流 fk或排放极水 浓水fi循环泵c纯水超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级edi膜堆0.2 um过滤器纯水泵脱气水箱符号说明:不合格排放ppcfrcfk电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流量计电阻率表电导率表图 4 常用的一级 ro+二级 edi 电子级超纯水系统工艺配置图流变掌握开关
3、适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率(小于1000 s/cm ),要求产水电阻率15 18m· cm的超纯水系统自来水进水cfcppff排放快速过滤器pppcp不合格排放原水箱紫外线r杀菌灯原水泵fp紫外线杀菌灯超滤装置rf反洗排放水高压泵化学计量泵反渗透装置风机用水点0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放fk纯水出口调压阀pffppp循环泵过滤器c浓水回流 fk或排放极水 浓水纯水抛光混床超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级edi膜堆0.2 um过滤器纯水泵纯水箱符号说明:不合格排放ppcfrcfk电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流量计电阻率表电导率表流变掌握开关图 5常用的一级 ro+
4、二级 edi 电子+mb 电子 i 级超纯水系统工艺配置图适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000 s/cm ),要求产水电阻率18 18.2m· cm的超纯水系统自来水进水cfcppff排放快速过滤器pppcp不合格排放原水箱紫外线r杀菌灯原水泵fp紫外线杀菌灯超滤装置rf反洗排放水高压泵化学计量泵反渗透装置风机用水点0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放fk纯水出口调压阀pffppp循环泵过滤器c浓水回流 fk或排放极水 浓水纯水超纯水泵氮封超纯水箱极水排放二级edi膜堆0.2 um过滤器纯水泵纯水箱符号说明:不合格排放ppcfrcfk电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流
5、量计电阻率表电导率表图 6常用的一级 ro+二级 edi 电子级超纯水系统工艺配置图流变掌握开关适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000 s/cm ),要求产水电阻率15 18m· cm的超纯水系统图 7 是常用的一级edi 全系统组成图;c自来水进水p风机取样f保安过滤器pcpp不合格排放pcph调剂pp原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药一级高压泵一级反渗透装置脱气水箱纯水泵二级高压泵r用水点p紫外线杀菌灯rffc化学计量泵过滤器b风机0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放ffippp极水pc 浓水c纯水pp循环泵cf不合格排放抛光混床符号说明:toc分解器超纯
6、水泵氮封超纯水箱一级edi膜堆0.2 um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱二级反渗透装置ppcfrc电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流量计电阻率表电导率表图 7常用的产水水质稳固的二级ro+一级 edi+mb电子级超纯水系统组成图适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率<1000 s/cm, 即 tds < 500ppm 时,要求产水电阻率18 18.2m· cm的纯水系统c自来水进水p风机取样f保安过滤器pcpp不合格排放pcpp二级高压泵ph调剂原水箱原水泵机械过滤器活性炭过滤器阻垢剂加药一级高压泵一级反渗透装置脱气水箱纯水泵r用水点p紫外线杀菌灯c化学计量泵过滤器b0.1 um过滤器氮气瓶不合格排放rffffippp极水pc浓水c纯水循环泵c风机f不合格排放符号说明:toc分解器超纯水泵氮封超纯水箱pp一级edi膜堆0.2 um过滤器不合格排放纯水泵脱气水箱二级反渗透装置ppcfrc电磁阀球阀止回阀压力表压力掌握器流量计电阻率表电导率表图 8常用的产水水质稳固的二级ro+一级 edi
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