开题报告,,,李彤

1、开题报告,李彤 附件 6 6: : 本科毕业论文开题报告 题 目： 椭偏法测量介质薄膜的厚度和折射率 院 系： 培黎工程技术学院 专 业： 物理学 班 级： 物理 121 班 姓 名： 李 彤 指导教师： 郭中华 申报日期： xx-12-12 毕业论文开题报告 1本课题的研究意义 厚度和折射率是光学材料的根本性能参数之一，也是光学设计的根底，准确获得光学材料在紫外波段的厚度值折射率值对光学材料的生产、使用以及光学设计都非常重要。为了准确获得光学材料的厚度值和折射率值，就需要对光学材料进行准确测量。 本文阐述了一种椭偏法测量介质薄膜厚度和折射率的方法，利用该方法测量光学材料的厚度和折射率时，只需

2、将被测材料加工成较薄的平板形式，因此非常适合于尺寸较小的光学材料以及光学元件折射率的测量。由于实验室器材的紧缺，需要自己组装简易的椭圆偏振仪，仿真椭偏仪对介质薄膜进行测量，实验的顺利完成有利于培养学生的动手动脑能力，更能进一步加深自己对椭偏法的理解，更好的掌握椭偏法测量光学材料的原理、具体操作和考前须知。 2本课题的根本内容 本文椭偏法的理论依据，系统地设计了椭圆偏振仪的实验主要流程，同时详细的解释了有关椭偏法的各环节的详细步骤，最终求得所测光学薄膜的厚度和折射率 首先，介绍了椭圆偏振仪的简单构造及使用原理，由于实验室没有椭圆偏振仪，要自己组装模拟椭圆偏振仪，用椭偏法来进行测量待测光学薄膜，其

3、次，按照设计思路设计实验具体流程。最终根据实验数据求得待测光学薄膜的厚度和折射率，并处理数据得到自己的预期效果，并对数据进行误差分析得出结论。 毕业论文开题报告 3本课题的重点和难点 本课题的重点是：（1）掌握如何运用椭偏法来测量光学薄膜的厚度和折射率；（2）掌握椭偏法测光学薄膜实验的具体步骤及数据分析。 本课题的难点是：（1）怎样设计易用、实验效果好的实验流程；（2）如何利用所得数据出理想的实验结果。 4论文提纲 1 绪论 1.1 研究背景及意义 1.2 研究内容 2 椭偏法的根本理论 光波的偏振 椭偏法的根本原理 消光法 直接计算法 3 椭偏法测量薄膜厚度和折射率的实验研究 实验设计 测量

4、 3.3 数据的处理及分析 5 结论 6 参考文献 1 陈燕平,余飞鸿.薄膜厚度和光学常数的主要测试方法j.光学仪器.xx，28（6） 2 孙香冰等.测量薄膜折射率的几种方法j.量子电子学报.,xx,22(1).页码 3 范江玮等.多层模型计算椭偏法测量的 sio 2 /si 超薄膜厚度j.测试技术学报,xx,26(5). 4 郭文胜等.椭偏光谱测量中模型的任意性与合理性j.电子科技大学学报,1998,27(增刊). 5 马逊等.椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率j.云南师范大学学报,xx,25(4). 6 王洪涛.椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理j.物理实验, xx，21(7). 7 王雷等.椭偏法测量光学材料折射率jxx， 8 武颖丽,李平舟.基于椭偏法的介质薄膜光学常数测量研究j.应用光学,xx,39(专刊). 9 陈星,叶兵.椭圆偏振仪测量薄膜光学常数数据处理方法j.xx. 10 陈星等.椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析j.实验技术与管理,xx.28(6