微加工中心试验室收费规定

1、微加工中心实验室收费规定（2015年第3版）Q/NNLM JG1-G0061. 为了维持微加工中心设施、仪器设备正常运行，更好地服勢于科研工作，特制走本收费 暂彳魂走。2. 微加工中心收费内容包括： 2.1部分大型仪器设备操作培训；2.2超净间使用费;2.3用户自行操作设备进行工艺和测试的项目的机时费和耗材费；2.4经审核接受的全委托加工类项目；2.5放置在微加工实验室超净间内，用户自己采购、使用、运行管理的设备仪器的放置费。3. 经微加工中心审核并接受的全委托加工类项目费用包括: 3.1实际机时费；3.2耗材费；3.3超净间使用费以及人工费用等部分；3.4由工作人员按收费标准预估费用后通知用

2、户并通知用户渎验完成后根据实际消耗出具结算清单,双方签字确认费用；3.5全委托类加工项目按实验室对校外收费标准收费。4. 微加工中心鼓励用户经过培训、通过考核后自行操作仪器设备进行实验。5. 微加工中心收费以申请注册时付费人为计算单元进行收费；微加工中心用户设备仪器使 用计费的方式为按机时计费。6. 微加工中心收费方法： 6.1付费人与微加工实验室签字确认需要使用的仪器和需要进入实验室人员名单；6.2微加工实验室每年向付费人提供其所属人员设备和仪器使用机时清单、超净间使用费、 培训费、耗材费和仪器设备放置费等费用结算清单；6.3付费人根据机时清单W费用结算清单按时支付各项费用；6.4錮)口工实

3、验室通常每年在11月向付费人提供结算清单。6.5付费人可以选择"预支"和"年度结算"两种付费方式。6.5.1对于选择"预支"费用的付费人,按费用结算清单从预付费中扣除,并为付费人提供 费用明细；6.5.2对于选择"年度结算"费用的付费人,工作人员每年向付费人提供费用结算单,付费 人按费用结算单支付费用。7. 微加工中心综合培训收费标准：(1)综合培训内容：超净间的总体布局、使用方法、超净间的管理规走、行为规范，安全 知识和设备网上预约等,含超净间参观讲解,包括综合培训考核等内容。(2 )综合培训收费标准：免费。8.

4、 微加工中心仪器设备操作培训费：工艺技术培训内容：工艺原理、技术及常见问题和处理方法；8.2仪器设备操作培训内容：设备基本原理、设备结构特点、设备操作规程和注意事项、基 本工艺、上机实习和独立操作设备考核等；8.3收取培训费用的仪器设备包括：SF100无掩膜光机、MJB4紫外光刻机、ULVAC等 离子体刻蚀机、国产离子束刻蚀机、PVA Tepla等离子体清洗机、快速退火炉、Lakeshore 探针台、Oxford P80等离子体化学气相沉积设备、PVD75电子束蒸发设备、PVD75磁控 溅射设备和苏州圆芯反应离子溅射设备等； 8.4免收培训费用的测试类设备仪器包括膜厚仪、台阶仪、锲焊机和显微億

5、等；8.5各种仪器设备操作培训收费标准：8.5.1 PVD75蒸发/溅射设备培训费为1500元/人/台；8.5.2探针台、快速退火炉和PVA Tepla等离子体清洗机培训费为300元/人/台；8.5.3其它设备培训费为1000元/人/台。8.6收取各种仪器设备操作培训费进行上机培训次数和培训费有效期:8.6.1 PVD75蒸发/溅射设备培训次数：4次；8.6.2 SF100无掩膜光刻机、MJB4紫夕卜光刻机、ULVAC等离子体刻蚀机、国产离子束刻蚀 机、Oxford P80等离子体化学气相沉积设备、苏州圆芯反应离子溅射设备培训次数：3次；8.6.3 PVA Tepla等离子体清洗机、快速退火炉

6、、Lakeshore探针台：1-2次；8.6.4在规走次数内无法通过设备操作考核，则增加的培训时间按正常使用设备计时收费；8.6.5设备操作培训应在6个月内完成;设备操作培训时间超过6个月还没有完成，应重新 申请仪器操作培训,须重新缴纳培训费。9. 超净间使用费：微加工中心根据付费人所属成员数收取超净间使用费。9.1超净间使用费包括部分超净间运行设施维持费用、超净间保洁费、超净服及其清洗费用、次性超净用品等；9.2超净间使用费收费标准是：300元/人/年。10、仪器设备使用收费规则:10.1仪器设备收费采用预约并结合刷卡登录/登出方法计算机时；10.2每台仪器设备收费采用起步时间与最小计费单元

7、相结合的方式；10.2.1起步时间：使用某设备完成一次工艺需要的最短的时间，如低于该时间不可能完成 次工艺。刷卡登录/登出一次至少按一个起步时间计算机时； 10.2.2最小计费单元：设备仪器收费采用的最小收费时间单元，机时按最小计费时间单元 的整数倍计算。10.3机时计费原则：10.3.1用户使用必须预约的仪器设备时，计费软件自动t匕较预约开始时间和刷卡登录时间， 计时取两者较早的时间；10.3.2用户使用必须预约的仪器设备时，计费软件自动比较预约结束时间和刷卡登出时间， 计时取两者较晚的时间；10.3.3用户实际使用时间超岀原预约结束时间而后面又没有用户预约该设备，用户可以继 续使用设备,计

8、费软件按实际刷卡登出时间计算；10.3.4用户使用时间超出了原预约结束时间，另有用户已预约使用该设备，则由超时用户 与后续用户协商,如后续用户不同意超时用户继续使用设备，则超时用户无条件登出；10.3.5用户已预约机时，并且发现该设备刷卡器显示没有用户正在使用该设备,则可以提 前登录、使用设备。该设备内如有别的用户放置的样品、源材料或设置的参数，该样品和源 材料作为无主样品无条件取出，设置参数可以清除,后果由样品主人自已承担。10.3.6计费软件自动比较预约时间和起步时间,当预约时间少于起步时间，按起步时间计 算；10.3.7用户预约使用设备且没有在规走时间内取消预约,则按预约时间计费；10.

9、3.8非设备本身故障导致用户无法按时完成工艺，按预约时间计费；10.3.9因设备本身故障、实验室辅助设施故瞳、停电、停水等原因造成用户无法按预约时 间完成工艺，用户需及时酬工作人员并作好记录，该次实验费用从结算清单中扣除。11. 用户设备场地使用费11.1在微加工实验室内放置用户自已采购、管理和使用的设备,除按唐仲英楼管理条件按 面积分担水电费外，还需要缴纳超净间使用费、辅助设施（空调、冷却循环水、气体等）使 用费管理费等。11.2缴纳的超净间使用费按9.2之规定执行；11.3辅助设施使用管理费按每年度微加工中心各项辅助设施维保费用总和，按面积分摊后 除以0.7的系数收取。11.2分担水电费：

10、按每年唐仲英楼管理部门计算的费用除以0.7的系数执行；12、收费优惠政策:12.1遵守微加工中心各项规章制度,完成加工工艺，无人为原因造成实验室设施和仪器设 备故障（包括不正确使用紧急停止，人为原因造成的分子泵刹车、不按正确流程开关机，等） 的实际付费人所属用户,经确认后可按收费标准的90%收取费用；12.2在微加工中心龍设、仪器设备使用过程中，能提出建设性意见、协助工作人员完善各 项规章制度、或是协助拓展仪器设备使用功能的用户,经确认后，收费按加工费用总额的 90%收取;12.3用户发表重要文章或在相关汇报和报告中对微加工中心工作给予肯走的，或经微加工 中心本人许可在公开发表文章的作者中包括

11、微加工中心工作人员或在致谢中提到微加工中 心，或项目获国家、省、部委奖励,并且在项目总结报告中明确提出是依托国家实验室微加 工中心完成的，经认定后可给予减免总加工费的10%。13. 微加工中心、仪器设备收费标准：微加工实验室收费标准校外收费价格（帀ma寸）操作培训费（刃人）3时间（小时）对校内优患价格备注价恪（元/小时）时段（小时）价格（元/小时）时段（小时）MJB標外光 刻机40010000.5200<3050>30全套光刻不另计匀 胶、显影费用.仅 限微加工中心提供 的光刻胶和显影 液，其余光刻胶和 显彩液自笛。SF100无掩膜 光刻机60010000.5300<2010

12、0>50全套光刻不另计匀 胶、显影费用.仅 限微加工中心提供 的光刻胶和显影 液,其余洸刻胶和 显彩液目备.匀胶机2000.25100<2050>20限于微加工中心提 供的光刻胶,每次 不超过1（）笔升，其 余目笛。此价恪针 对单独申请匀胶机 的用户显影机2000.25100<2050>20价格针对单独申请 显影的用户,显影 耗材另计。电子束光刻机100050001500<20250>20全套光刻不另计匀 胶、显影费。仅限 设备提供的光刻胶 和显彩液，特殊需 求的光刻胶和显影 液目备。ICP40010000.5200<2050>20离子束刻

13、蚀机20010001100<2050>20PVATepla 等离 形机2003000.5100<2050>20PECVD50010000.5250<20100>20PVD75磁控溅射20015004100<5050>50帧工实進配置 的低值耗材已包含 在内r其余特殊或 肓值靶材目备PVD75电子束（热）蒸发20015004100<5050>50帧工实進配置 的低值耗材已包含 在内，其余特殊或 高值源材料、蒸发 源和垃娱目备苏州圆芯反应 藩子溅射15010001.5100<5050>50帧工实縫配置 的低值耗材已包含 在内r其余特殊或 高