全球及中国六氯乙硅烷行业市场调研与发展趋势分析报告

1、全球及中国六氯乙硅烷行业市场调研与发展 趋势分析报告部分章节第一章六氯乙硅烷产业概述1.1六氯乙硅烷定义1.1.1六氯乙硅烷定义六氯乙硅烷，英文名称hexachlorodisilane,简写hcds,是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体。一般作为一种高纯度前体产品，hcds在多种 高级薄膜淀积（半导体存储和逻辑芯片制造技术）工艺中发挥着至关重要的作用，即在低温工况中 替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中。图六氯乙硅烷分子式cicl si/cici/si ci ci来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月(ed)出岷幡1.1.2六氯乙硅烷

2、产品参数表六氯乙硅烷物理性质表项目值单位检测方法分子式268.86g/molcas号码13465-77-5密度（2ctc）1.562g/cm3din51757沸点(1 bar)144-145°cdin51751熔点°c闪点78°cdin51755表观无色透明液体来源：evonik,恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图六氯乙硅烷蒸气压120,000100,00080,00060,00040,00020,000050100150温度(°c)来源：toagosei，恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月表六氯乙硅烷产

3、品参数项目数值级别电子级(eg) /高纯级(uhp)purity by gc99.7% (最小值)purity by icp-ms99.999% (eg), 99.99999% (uhp)eg metals purity<lppm: al, ca, cr, cu, fe, k, na, ni, mg, mn, tiuhp metals purity<10 ppb: al, fe, k, na, zn<5 ppb: ag, b, ba, ca, cd, co, cr, cu, ga, hf, li, mg, mn, nb, ni, pb, sb, sn, ta, ti, w,

4、zr来源：novakem,恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.2六氯乙硅烷分类六氯乙硅烷可以按纯度分为：高纯度级别和普通纯度级别。表六氯乙硅烷产品分类no.类别详细内容1高纯度级六氯乙硅烷一般纯度大于99%,主要用 在半导体领域，主要用作cv d, ald的前体。2低纯度级六氯乙硅烷一般纯度在95-98%,主要用作工业生产或 者提纯来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图2015年全球不同种类六氯乙硅烷产量市场份额2015来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3六氯乙硅烷应用领域表六氯乙硅烷应用领域表no.应用详

5、细说明1半导体六氯乙硅烷口j以在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷 应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中 ,主要用作cvd, ald的前体。2太阳能六氯乙硅烷还可以作为前体用在太阳能领域3其他六氯乙硅烷还可以用在光纤，航空航天等领域。来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月图全球2015年六氯乙硅烷不同应用领域销量市场份额2015来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3.1半导体行业图半导体行业举例来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月132太阳能图太阳能举例来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2

6、016年10月1.4六氯乙硅烷产业链结构图六氯乙硅烷产业链结构图半导体行业六氯乙硅烷太阳能行业其他来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.5六氯乙硅烷产业概述及主要地区发展现状1.5.1六氯乙硅烷产业概述；n六氯乙硅烷主要作为前提用在半导体行业。目前，六氯乙硅烷的生产市场主要集中在日本、 韩国、美国、德国。六氯乙硅烷属于硅烷类半导体前体，可用于半导体行业，太阳能行业，光纤等。toagosei是世 界上第一家工业化生产六氯乙硅烷的企业，所知生产工艺的改进以及下游半导体行业的发展，越 来越多的厂家进入该行业，比如韩国的dnf, hansol chemical, dsum

7、t,美国的道康宁，德国evonik等。目前，得益于半导体行业的发展，全球六氯乙硅烷年 消费量已达100吨。1.5.2六氯乙硅烷全球主要地区发展现状表全球主要地区六氯乙硅烷发展现状主要地区/国家发展现状北美美国道康宁于2015年成功扩大hcds产能，并助力道康宁成功挤进全球半 导体生产工艺关键前体领先的供应商 地位。除道康宁外，altogen chemicals也是美国本土另一个主要 的供应商，其hcds产能为300kg 一个月，并于2016年推出超纯hcdso欧洲evonik 凭借 siridion® hcds 500e （六氯乙硅烷）将在这一技术革新中 受益。通过化学气相沉积工艺，

8、作为 硅源的 siridion® hcds 500e被用于超薄功能性膜层的制备，这 是生产这些超细结构的关键。siridion® hcds 500e是siridion®品牌家族的一员。在该品牌下，evonik也为太阳能级多晶硅 、光纤、半导体及平面显示器行业提 供关键原料。日本toagosei是世界上第一家工业化生产 的企业也是日本本土六氯乙硅烷最大 的生产商；中国据我们调查，由于技术等多方面原因 ,目前在中国还没有hcds生产厂家 ，但是中国对hcds仍在不断地研究 ,并发表很多hcds的专利。其他地区韩国 dnf, hansol chemical, ds um

9、t是韩国主要hcds的生产公司 ,其中韩国dnf每年hcds营业收 入超过10亿韩元。来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.6六氯乙硅烷产业政策分析据我们多角度调查，半导体行业是hcds主要的应用领域，占据87%的市场份额。半导体产业作为尖端技术及高附加价值产业对其他产业的影响极大，是在整个国民经济中具 有巨大战略意义的关键性技术产业，因此世界各国政府都将其视为国家的骨干产业。一国想走在 世界经济的前列或是为了保卫国家安全,都必须要进入这个耗资巨大而又发展极为迅速的技术领 域。在其中，政府干预的影子在世界各国的半导体产业发展中随处可见。无论是半导体产品的研 究开发

10、、生产制造，或是与他国半导体产品的贸易，政府对半导体产业都具有深远的影响。第二章六氯乙硅烷生产成本分析2.1六氯乙硅烷原材料价格分析六氯乙硅烷目前有多重生产工艺，其主要原材料是硅或者硅钙合金、四氯化硅、氯气/液氯 o四氯化硅是生产多晶硅的副产物，在西门子法生产多晶硅的过程中，通过测算，每生产1吨 多晶硅将消耗1520吨三氯氢硅，同时产生大约1520吨左右的四氯化硅。表六氯乙硅烷主要原材料及供应商主要原材料原材料供应商氯气/液氯四氯化硅硅钙合金来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月2.2劳动力成本分析2.3其他成本分析2.4生产成本结构分析表六氯乙硅烷2015年生产成本

11、结构项目成本细分份额直接成本j直接原材料65.21%直接人力7.85%i其他直接成本2.15%间接成本间接原材料6.68%i间接人力2.01%其他间接成本1.12%设备折旧i设备折旧6.98%能耗能源成本5.21%其他i其他2.79%合计100%来源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月2.5六氯乙硅烷生产工艺分析但是，现有技术中制备六氯乙硅烷的各种方法，六氯乙硅烷的产率都很低，多为气固反应， 设备相对复杂，不利于操作，这在很大程度上限制了其应用。因此，发展更为简单的、产率较高 的合成工艺使其在工业上得到更大范围的推广十分必要，也具有十分重要的实际意义。目前，六 氯乙硅烷

12、的合成方法主要有以下几种：（一）、硅钙合金在 15（t250° c 与氯气进行气固反应inorganic syntheses, 1939, 1:42-反应journal of45;(二) 、硅铁合金在氯化鞍的存在下，在110 200 ° c与氯气进行气fluorinechemistry, 1997, 83 (i), 89-91;(三) 、硅或硅合金进行氯化制备六氯乙硅烧,其中在得到的生成物中含有sic14、si2c16、以及si3c18以上的高沸点组份；通过两段低级化处理，即(i)初始的副产高沸点组份，通过加热进行低级化反应处理；（2）残存的si3c18以上的高沸点组份，通

13、氯气进行低级化处理日本专利 特开昭 59-20782;（四）、高温下裂解或氢化还原氯硅烷来沉积多晶硅的硅反应体系排放的废气cn1392862a ；（五）、氯气与低级硅烷（siclx,x=0. 2 o. 8）反应，使得低级硅烷聚合w02011067331o以上方法制得的六氯乙硅烷产率都偏低（1（20%）,均为气固反应，装置复杂且对设备要求 较高，不易操作，同时反应的温度一般偏高，能耗大。这些都在一定程度上限制了反应的推广。2.6全球2011-2016年六氯乙硅烷价格、成本及毛利分析总结1、六氯乙硅烷（hcds）是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型无色液体。一般作为一 种高纯度前体产品，hcds在多种高级薄膜淀积（半导体存储和逻辑芯片制造技术）工艺中发挥着 至关重要的作用。2. 2015年，六氯乙硅烷市场已达9千万美元，年消费量超过100吨，美国dowcorning,日本 toagosei,德国 evonik,韩国 hansolchemical, dnf是主要的生产商，且前五名生产商产量份额为66%,所以该行业为寡占型市 场。3.六氯乙硅烷市场作为cvd/ald的前体，主要用在半导体行业，太阳能行业等，其中半导体行 业是主要的应用