半导体厂消防设施安全基准

1、半导体厂消防设施安全基准(建议草案)适用范围目的：本基准旨在提供半导体制造厂之制程区 及支持区消防设施之安全规范。危害物 (HPM)的储存、运送和使用应以本规范 为依归。相关的消防安全设施和系统必 须随时维持在可使用的状态。引用标准及说明 本基准草案主要是 根据 UFC Article51的内容，并参酌 我国消防法、NFPA318 、 FM Loss Prevention Data、 及 SEMI S-2 Doc.2697等资料编写 而成。名词解释：制程区(Fabrication area)危害物(Hazardous Production Material ;HPM)危害物易燃性液体(HPM

2、Flammable Liquid) 危害物储存场所(HPM Storage Room) 紧急紧报系统(Emergency Alarm System) 防灾中心(Emergency Control Station) 服务走道(Service Corridor)制 程设备(Workstation) 闪点(Flash point) 沸点(Boiling point)我国消防法1.半导体厂火灾之预防1.1通则：尽量减少火源与可燃物接触的机 会。1.2火源管制:1.2.1 一般火气：严禁吸烟，使用火柴、打 火机1.2.2作业用热源：不使用直接燃烧气体进 行加热干燥，应采用热媒间接加热方 式。1.2.3临

3、时动火：应在责任者之充分监督下 才准使用。1.2.4电气设备：密闭室内使用防爆型以外 之电气设备时，不得使用会发生可燃 性蒸气之溶剂。若无法避免，即使在 电源切断时，应须进行充分换气作业。1.2.5静电：讲求抑制静电发生及防止带电 之方法。1.3可燃物之管制：耐燃三级系由中国 国家标准CNS6532 所规范者。1.3.1周围之不燃化:钢瓶、容器储存场所， 应采耐火构造，并与其它建筑物隔离， 并尽可能避免可燃物之进入。排气系统 之风管，应使用不燃材料；但一般所称 难燃材料（耐燃三级），在长时间火焰 作用下仍会引燃，故排气风管不得使用 该种材质。排放管内之沉积物，应定期 检查排放及清洗。1.3.2

4、气体漏泄之防止：由于不可能完全不使 气体漏泄，故重点在于万一漏泄发生 时，如何防止起火或产生滞留爆炸。1.3.3可燃性液体泄漏防止：A. 使用密闭容器B. 配管之使用：可燃性液体之处理场所 应设置于与贮存处所或作业场所有别之安全场所，再使用配管将制程所 需必要的最小量送入制程区。C. 泄漏之局限化：作业场所之楼地板应 为液体不会浸透之构造，并有适度之 坡度或排液沟。处理槽应设于安全位 置。1.3.4爆炸性混合气体形成之防止（换气）:引 火点（闪点）在周围最高温度以上之可 燃性液体，可采白然换气方式；引火 点在环境气温以下者，须采强制换气 方式。可燃性液体蒸气通常较空气重， 其换气装置之排气口应

5、设于靠近蒸气 发生源之低处，而进气口则以设于高 处为原则。换气装置应使用防爆机型。 危险装置附近应设于气体侦测器俾能 随时检测。2.半导体厂之消防设施2.1制程区之火灾侦测：NFPA 318 和 FMLPD 7-7之规范。2.1.1洁净室之探测器应选用能适应平时洁 净环境能感应其变化程度设定之侦烟 器，并应安装在在回风管之吸气口处。 火灾侦测系统应采极早期预警型式。2.1.2氢（H 2）之燃烧火焰几乎完全不会释放 出红外线，因此其储存区域或使用区 必须使用紫外线火焰探测器。2.1.3排放管路之火灾探测系统：应采感知 速度较快之火焰探测器。2.2白动洒水系统：洒水设备系统必须符合可参见第43条至

6、 第60条之规定。相关建筑法规和各类场所消防安全设 备设置标准之要求。警报讯号必须送 至防灾中心。例如 FM-200 （LPD7-7 , 17-12）可参见各类场所 消防安全设备设置 标准第129条至 第132条之规定。*海龙灭火设备可防止制程设备之二次损 害，但有环保（破坏臭氧层）问题，可采用 海龙替代品（须经内政部消防技术委员会 审议通过者）防护之。2.3火警警报系统：凡在高度危险工作场所 必须全面性的备有手动火警警报系统。其激活必须能在原地发出警报声，同时 相关讯号须传送至防灾中心。该系统之 设计及安装应符合各类场所消防安全 设备设置标准之要求。2.4防排烟设备：火灾时，空调机之运转应

7、予停止。必要处所，应设置排烟设备。或参考防火防烟区划安全基准6.7之规 定。2.5通报设备：除前述洁净室内极早期警报 系统或风管内适用之火警探测系统外， 其它厂务设施空间适用之火警通报设 备，与一般防护空间相同。2.6电气防灾设备：2.6.1通则：应特别注意停电时所造成的不 当灾害。2.6.2感电部分：A. 电气设备之接地。B. 应设有感电防止用漏电遮断器等控 制设备。C. 高电压、大电力之半导体制程设备，应依下列规定:1. 明白标示。2. 作业中不致接触或接近之安全棚架、绝缘 覆体等。3. 设接地棒。4. 应有微控开关门扇不动作之防止。5. 应有作业前之白动检查并予纪录。2.6.3停电部分：

8、灭火设备、照明、引导灯、 特定制程设备、有害气体排气设备、 制程装置用冷却水设备等应设置不断 电设备（UPS）、蓄电池、紧急发电机。建筑技术规则第八十九条至九十九条2.7避难救助设备:半导体厂房多属台湾消 防法规之无开口楼层，故应有A. 避难器具之设置B. 出口标示灯、避难指示灯C. 紧急进口D. 紧急照明设备2.8安全保护器具：使用毒性气体区域，应 设有适应各毒性气体特性之呼吸用保护 器具，其种类如下：防尘罩防毒罩呼吸用保护器具送气罩 J hose-mask 供给式 <airline mask1白给式呼吸器r空气呼吸器。2呼吸器3.制程区见前述之防火防 烟区划安全基准3.1制程区必须符

9、合建筑法规或防火防烟区 划安全基准之相关规定。3.2位置：制程区之位置必须位于一楼或以 上之楼层。3.3危害物最高储存量：单一制程区内危害 物的平均密度不得超过下表（表一）所 规定之上限。*若任何单一制程区之总量未超过表二所 规定之总量上限，则不受上述3.3之限 制。表一 单一制程区中危害物平均密度上限1.2状态单位易燃性氧化剂腐蚀性固态Kg/m 20.0050.150.015液态L/m 21.633 31.223.26气态m3/m220.3810.914上标说明：1该平均密度不适用于管路中之危害物。2易燃性，有毒性气体的最大容许总量不得超过表二之上限。3易燃性和可燃性液体的平均密度不得超过下

10、述之量。Class (I-A)+(I-B)+(I-C) (混合之易燃性液体) =1.020其中Class 1-A不得超过=0.102Class II=0.41Class III-A=0.82说明：Class I-A 液体：闪点 <23'C,沸点 <38°CClass I-B 液体：闪点 <23°C,沸点 *38”CClass I-C 液体：闪点芝23W,沸点<38°CClass II 液体：38P闪点 <60°CClass IIIA 液体：60 6闪点 <94也Class III-B 液体：闪点 >94

11、°C上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见 下页表二单一制程区中危害物最大容许总量物质最 大 容 许 总 量易燃性液体Class I-AClass I-BClass I-C混合之易燃性液体 可燃性液体Class IIClass III-A易燃性气体液化易燃性气体易燃性固体腐蚀性液体氧化性物质-气体氧化性物质-液体氧化性物质-固体过氧化性高有毒性物质及有毒性或 高有毒性气体341 L681 L1022 L1363 L1363 L2839 L255 m3【常压常温(21 C )下】681 L680 Kg625 L510 m 3568 L680 Kg13.6 Kg包括在上述易燃

12、性气体之总量，而不论 其可燃界限范围。上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见 下页3.4通风要求：原数字1ft3/min.爪2楼地板面积3.4.1通则：每平方公尺楼地板面积至少有 每分钟0.3立方公尺之通风量。3.4.2分离系统：在建筑物内任何制程区的 回风系统不得与其它系统连结。3.4.3通风控制：空气供应或循环系统，或 两者，都应在制程区外设有手动控制 开关。消防主管机关得要求设立额外 的手动开关位置。3.5特别要求：3.5.1溢流控制：若危害物之气体供应高压 管线破裂，必有一失效-安全 (Fail-Safe)系统来关闭气体供应。若供 应管线是源起于危害物储存场所，则 溢流控制

13、阀必须设在此场所内；若管 线源起于建筑物外，则溢流控制阀则 应设置于建筑物外，亦尽可能接近于 供应源处。3.5.2管线设备：管线设备必符合相关要求 标准。除非管线是置放在密闭管道空 间，否则具有3或4人体健康危害等 级(health hazard ranking )之危害物 的供应管线，其所有接头处必须焊接。 和钢制管线不能兼容的物质，或许可 用非金属管线，但其接头仍须经过验 证。3.5.3气体监测系统：在危害物气体之使用 或分装的储存区域或场所，不论其否对人体有害，都必须设有持续性之气 体监测系统。在运送过程中，若易燃 性气体或蒸汽量有超过其爆炸下限百 分二十之可能性时，必须有持续性之 气体

14、监测系统。这些监测系统须和防 灾中心联机。4.制程区内之制程设备原数字 0.044-inch(18gage)4.1制程区内之制程设备之材质必须和其使 用之化学品原料兼容。制程设备之危害 物气体和可燃性液体流经之处必须为不 燃材料。若为金属，则厚度不得小于1.12 公厘（18号钢）。另外危险气体和液体储 槽必具有经认证之抗震性。4.2危害物最大容许总量：如表三所示。表三：制程设备中危害物最大容许总量材料状态最大容许总量气体3瓶易燃性及有毒性液体57 L固体2.3 Kg气体3瓶腐蚀性液体95 L固体9 Kg气体3瓶氧化性液体45 L固体9 Kg上述公制数字系相关英制数字转换而来，原英制数字可见 下

15、页10-inch10-inch12 ft4.3排气通风4.3.1设计基准：应能完全排除制程过程中 产生的熏气(Fume)和蒸汽。4.3.2管道系统A. 材质：管道材质必须符合机械法规。B. 反应物：若排放之物质会在管道内造 成火灾，爆炸或危险之化学反应，则 应有两种以上之排放选择，且不能和 主排放系统结合。C. 穿墙：若排放系统必须穿墙至制程区 夕卜，其应置于具有防火时效之管道间 内。排气管道不得穿越制程区内区域 之区划。不得在排气管道中设有防火 闸门(板)。D. 消防设施：在下列情形，排放管道 内部必须设有洒水装置。管道之最大管径大于或等于25公原数字 分。(ii) 管道系在建筑物内。(ii

16、i) 该管道系用来运送在可燃范围 内之气体或蒸汽。若管道系可燃 非金属材质所构成，且其最大管 径大于或等于25公分，则须加原数字 撒水装置。*若管道已明定不须有撒水装置或其装设在天花板下且其长度未超过3.7公尺，原数字则不受上述限制。4.3.3紧急电源及控制：排气系统必须具有紧急电源。其设计及设置必须符合电力法规。该紧急电源必须能维持至少一半正常风扇运转速度，以保持环境的安全。4.4消防设施：撒水设备之有效范围须能覆盖制程设备之水平平面且不得受到任何阻碍。若制程设备系由可燃材质所构成，则撒水设施必须设置在排放装置与装备接壤处，或者不得超过该接壤处1.2公原数字4 ft尺以上之距离。洒水头及接到

17、管道之管线必要时，应有防腐蚀之保护层。该洒水装置应易于作定期性的检查。撒水系统设计必须考虑到喷洒型式及其对设备的影响。*若使用下方式，则不受上述条件限制1. 经审核认可之其它替代灭火系统，其激活可使相关的制程设备停止运作。2. 若制程设备操作温度超过500 C,且附有白动停止危害物供应装置者。3. 若易燃性气体之钢瓶柜系在制程设备内，且其排气管线管径在25公分以下原数字10-inch 者。4.5电器设备：若电器设备距离使用易燃性气体或液体之制程设备在1.5公尺之内，原数字5 ft应依电器法规中Class I , Division 2之相关规定决定其位置。亦应遵循2.6之要求。*若对制程设备之排

18、气或稀释会造成持续性之不燃环境，则不受上述限制。4.6特殊要求4.6.1化学物质之排放：每一使用危害物之 制程设备必须具备下列条件：A. 和排放系统兼容之排放管线系统。B. 设备平面能提供斜坡或其它适当方 式来使溢出的化学品至排放系统。C. 经过审核认可的方式，使溢出或漏 泄的液体导流至排放系统。4.6.2标示：供应或排放危害物之系统必须 予以明显标示，而且在任何时候皆可 目视到。4.6.3遮断阀：在制程设备中危害物供应系 统必须具有遮断阀。4.6.4储槽避免损坏之保护：连接或在制程 设备中之危害物的储槽必须避免损 坏，而且该储槽不可突出设备之外。原数字3 ft4.6.5制程设备之空间裕度：使

19、用危害物之 制程设备对电器设备，气体钢瓶接头， 或紧急状况时，必须保持有1公尺以 上水平的工作空间。这个空间只是用 来例行操作使用，而非用于修理或相 关保养工作。5在制程区中危害物之储存及分装5.1通则：危害物液体、气体和固体必须完 全储存在钢瓶柜中或制程设备中。不同 危险等级之危险物质必须置放在不同之 钢瓶柜中，而且不能混放。但隋性物质 则不受此限制。5.2危害物气体之特殊要求。5.2.1通则：其钢瓶柜除了符合5.1之要求夕卜，内部也必须设有撒水装置。钢瓶 瓶柜必须有白动关闭系统。*在危害物储存房间中之钢瓶柜可以不装 撒水装置，但活化性气体仍须装置。5.2.2气体监测：不论是否在供应状态中，

20、钢瓶柜中应有连续性气体监测系统。若发现有泄漏情形产生，该监测系统 能白动切断钢瓶柜中之供应阀门，并 发出警报，同时将讯号送至防灾中心。5.2.3排气：钢瓶柜必须有排气装置。若钢瓶柜中之储存气体是毒性或高毒性者，其排气速度应使接头处面上之速度超过60公尺/秒以及在接头任意点原数字200 fpm 之速度至少45公尺/秒。钢瓶柜应保原数字150 fpm 持负压，且其排气系统要求亦和4.3.2和4.3.3者相同，并容许其与设备之排 气系统相连。5.2.4溢流控制：溢流控制阀与第3.5.1之要 求相同。6在走道中危害物之处理6.1新建筑物：在新建筑物中，走道不得有 危害物。6.2既有建筑物：6.2.1通

21、则：当既有建筑之制程区重新翻修 时，在经由消防主管机关同意后，可 以将危害物移至走道。6.2.2储槽：所有运送危害物之储槽，必须 经过审核认可。若液体未超过20公 升，其可被允许以20公升容量之储槽 来装送。若超过两桶以上之20公升装 之液体在走道上运送，他们应装载在 一经过验证之手推车上。除非在避免 受到污染的情形下，玻璃容器在一般 情形下是不准使用。玻璃容器的容量 不得超过4公升。6.2.3手推车和搬运车：两者均须用来运送 危害物，其设计必须符合6.3之规定。*例外：1.若两个盛装危害物液体之容器均未超 过20公升，可以容许以手提方式运送。 单独未超过200公升的储桶，应用适当 的储桶搬运

22、车来运送。6.2.46.2.52. 危害物之气体钢瓶必须以经验证过之 手动钢瓶搬运车来运送。单一之手提钢 瓶，不可超过50公斤。3. 危害物之固体，若未超过200公斤，可 以经验证过之手动搬运车运送。单一之 手提储槽，不可超过100公斤。气体钢瓶之预防措施：危害物之气体 钢瓶在搬运当中，其开关阀必须有顶 盖或密闭式的装置盖住，而且其保护 盖也必须在定位。在手推车或搬运车 中之钢瓶，钢瓶必须个别锁住。分装：危害物不得在走道处分装。管理：手推车或搬运车不得在无人看原数字原数字原数字原数字原数字原数字原数字原数字原数字5 gallons5 gallons5 gallons1 gallon5 gall

23、ons55 gallons25 pounds100 pounds50 pounds6.2.6管下置于走道。6.2.7在走道上危害物贯穿区域：在走道若 有贯穿区域存在，则其与走道的门必 须为白行关闭之型式，且具有一小时 以上之防火时效。贯穿区域必须完全 以墙面（同走道墙面要求标准）成一 封闭区域，而且具有审核认可之白动 灭火系统。6.2.8紧急警报：必须装置有紧急电话系统， 手动警报装置或警告讯号装置。他们 之间的距离不得超过45公尺，或者设原数字150-foot 置在各个出口楼梯处。这些警报讯号 都必须接至防灾中心。6.2.9消防设施：洒水系统须根据建筑法规见2.2之说明 和各类场所消防安全设

24、备设置标准 来安装。若走道上有一排的洒水头的 设计，则其最大计算所须的数目不须 超过13个。6.3手推车和搬运车之设计6.3.1通则：手推车和搬运车必须有安全的底座来支撑运送的物品，而且有锁住 装置以避免因意外而使物品脱落。他 们亦须配备有停车及减速装置，使运 送者能安全的操作。使用于Class I , Division 1 或 Class I , Division 2 危险 场所之动力手推车和搬运车必须经审 核认可。绝不可使用内燃机当动力来 源。6.3.2液体搬运：用于运送危害物可燃性或易燃性液体手推车或搬运车之材质必 须为厚度超过1.12公厘的钢板（18号 钢）或者具有火焰延烧等级Clas

25、s-I之 认证的材料。危害物液体搬运用之手 推车或搬运车必须使运送的物体完全 密封，必须能够在搬运时防止泄漏产 生。6.3.3尺寸：手推车之长度或宽度不得超过 1.2公尺，或者不得超过走道宽度的一 半。在搬运危害物时，手推车和搬运 车之最大承载量不得超过200公升的 液体；7个气体钢瓶（每个最多90公 斤）；110公斤的固体。6.3.4标示：手推车和搬运车必须标示其运 送物品之内容。不能兼容物品不得置 放于同一手推车或搬运车。6.4管线6.4.1通则：若输送危害物的管线是在走道 的墙面，地板或顶部，则相关装置须 符合下列要求。6.4.2关闭阀：手动或遥控失效安全紧急 关闭阀必须装设在：A. 管

26、线系统进入走道之进口处。B. 分支管联结至制程区处。此种阀必 须标示清晰而且可清楚目视之。6.4.3溢流控制：同3.5.1所要求者。6.4.4气体监测。同3.5.3所要求者。原数字0.044-in(18 gage)原数字48 inchs原数字55 gallons原数字400 pounds原数字500 pounds6.4.5电器设备：在管线空间之电线和相关 设备，应符合Class I , Division 2 危险位置要求者。亦应遵循2.6之要求。7服务走道中危害物的处理7.1运送标准7.1.1通则：若危害物必须运送至储存间或 从该储存间运出，或者由建筑物外送 至制成区之外墙，则必须有专用之服

27、务走道。用来搬运危害物之服务走道 应符合下列要项。7.1.2储槽：同6.2.2之要求。7.1.3宽度：服务走道之最小净宽为1.5公 尺。*若有使用手推车或搬运车，则最小宽度应 为手推车或搬运车最大宽度再加上0.8公 尺。7.1.4容量：服务走道中，一次运送危害物 的量，不得超过6.3所规定者的两倍。7.1.5紧急警报：应有手动警装置或其它审 核认可之警告讯号装置。亦可见6.2.7 之要求。消防主管机关得要求增加装 置。7.1.6消防设施：应设置洒水头，其设置应 根据6.2.8之规定7.2禁止程序：在服务走道中，禁止分装危 害物。7.3结构要求：依建筑法规之规定。7.4紧急出口：依建筑法和各类场

28、所消防 安全设备设置标准之规定。原数字5 ft原数字33 inches见2.7之说明7.5管线：同3.5之规定。8危害物储存8.1在建筑物外之储存8.1.1通则：建筑物外之储存场所应依建筑 法规之区别，结构和防火要求之规定 和本基准之规定。8.1.2管线遮断装置：从建筑物外面进来之危害物气体供应管线应具备有3.5.1 之规定。建物外每个储存槽危害物供 应管线均应设有紧急手动关闭阀，该 阀位置，标示应明显目视且易于激活。8.1.3特殊要求：建筑物外之危害物储存槽应对公共场所保持适当的安全距离。8.2在建筑物内之危害物储存8.2.1结构：危害物储存场所须依建筑法规相关规定。其面积不得超过550平方

29、原数字 公尺。若其面积超过28平方公尺，则原数字 须有两小时防火时效之隔间墙。若面 积在28平方公尺以下，则隔间墙须一 小时防火时效。除非经审核认可，所 有墙面及地板均须为不燃材质所构 成。若储存场所亦用来分装Class I或II之易燃性气体和液体，则其面积不得超过90平方公尺。原数字8.2.2建筑物内之位置：危害物储存场所至少要有一面墙至少离距境界线(property line ) 10公尺以上。若有爆原数字炸之可能性，则须有爆炸控制系统。6,000 ft 2300ft 21,000 ft 230 ft该系统之设计应依建筑法规之相关规8.2.3储存场所内之分隔区划须求：在储存 场所中易燃性，腐蚀性，氧化性，亲 水性等固体和液体，应依表四方式作 分隔区划。表四原料分隔区划1.2(18inches)以上。2危害物气体和危害物液体及固体的区划，可见8.2.3。3若距离超过6公尺(20 ft)以上，则允许可以不用不燃性(见1.3.1 之说明)隔间。4必须要有另一个储存场所。当表四中允许在不同等级的危害物有 不燃材质构成的隔间，则这些危害物可置放 在同一储存场所。亲水性危害物不得和易燃性和可燃性 液体置放在同一储存场所而必须有所区隔。 他们之间的区划墙不须具有防火时效。防火时效系由中国 国家标准 CNS 11227、12514 所