单晶炉维护与修理

1、单晶炉维修和保养规程单晶炉维修和保养规程一、坍蜗轴驱动部件的维修：坍蜗轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要加强 维护，坍蜗轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况，以免因冷却水不充分而被烧坏，拆下 后需垂吊放置；2、坍蜗轴驱动装置的导柱及直线运动轴承是关键的导向元件，应妥善 维护，导柱须保持清洁，严禁灰尘、杂物附着，定期涂抹油脂，以防绣蚀。 直线轴承出厂时已作充分润滑，必要时每隔一年加注锂基润滑脂一次，加 油时，松开油盖，提起油封，推出轴承，认真清洗后方可注入新油（见附 图9）,发现导柱与轴承间有研损时，应将轴承微转一角度，使滚珠避开研

2、 损痕迹，以确保平衡运行。导柱与轴承是配套装配的，请勿装错；3、滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等传动部件，应经常保持清洁、润 滑，严禁灰尘等脏物污染，以免零件损坏和失灵；4、土甘蜗轴快速升降传动涡轮，每两个月打开润滑孔在涡轮齿面上润锂 基润滑脂一次，请定时清除波纹管中的杂物；二、谐波减速器的维修（见附图 M11谐波减速器是由波发生器所产生的机械波， 通过柔性齿轮变形，从而产 生齿间相对位移而达到传动目的的一种大减速比减速机构，使用中一般不 加油，不必拆卸，在必要时，拆后装配务必将个零件清洗干净，其轴承内 应涂201润滑脂，齿面应加7011特钟脂；三、籽晶提拉部件的维修（见附图 M17 M101、

3、籽晶提拉部件是单晶炉的关键部件，卷轮箱是核心部分，上面设有 观察孔，用来观察内部卷轮及软轴钢丝绳的工作情况，卷轮箱左端联有超 限位箱，用来保护卷轮箱不会因其超程而被损坏，卷轮箱的右端由双级减 速器传递转知距，减速箱内的涡轮涡杆传动件，每三个月加注适量润滑油；2、不锈钢丝软轴定额承载150Kg,每次开炉后，应检查承重头部钢丝 绳是否烧损，如有烧损应将烧损部分及时去掉，外层编织层拉紧并打个节扣（有条件的可用氯弧焊封头），一根钢丝绳可供几次修整使用，但每次修 整后，都应核实所剩钢丝绳长度是否能满足使用要求，否则应更换新的软 轴钢丝绳；3、卷轮箱内的调整螺母（铜螺母）不得随意拆动，以免影响软轴的对 中

4、，如果必须要拆卸时，装时一定要认真调整，最终保证软轴读中，软轴 钢丝绳在保管、使用、维修安装中不准造成任何死弯现象，否则在运行中 会引起抖动；四、水冷系统的维修每次装炉前要检查各水路是否畅通，关键部位的水温巡检传感器安装 是否正常，拉单晶时，当水压报警时要及时处理，如有漏水时要及时采取 措施，当发现结垢时，应先用醋酸进行除垢，然后用清水冲洗，最后用压 缩空气吹尽余物；五、隔离阀的维修每次装炉前都要检查阀口密封圈是否完好， 检查隔离阀操作是否轻松、 无卡滞，如发现问题应及时排除；六、管道的维修真空管道是联接主机与真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影 响着设备的正常工作，因此，也应重视这方面的

5、维护，除尘器中的过滤网 每2-3炉清理一次，抽气管道每1炉清理一次，管道的温升直接影响着泵 的寿命、抽气速率及密封圈的寿命，应经常检查管道的冷却水，保证畅通;单晶炉常见故障现象、原因及排除方法故障现象产生原因排除方法1真空抽小到指标1、真空密封室密封不艮2、球阀处密封松动或损坏3、真空泵有故障1、对真空室进行分段检验确定漏点， 进行排除；（磁流体密封处加注磁液）2、调整球阀或更换密封圈；3、参阅真空泵说明书；2埸升不稳1、丝杆、螺母有污物，润滑不 良；2、电磁阀离合器工作不良；3、齿轮而松动或齿合不良；4、给定电位器接触不良；5、测速电机有问题；6、电机抖动，放大倍数过大；1、活洗丝杆丝母，加

6、润滑油；2、调整电磁离合器，控制间隙至0.4-0.6;3、调整齿行带，使其合理齿合；4、更换电位器；5、检查测速机刷头或更换电机；3地转不稳1、土甘埸轴有卡滞现象；2、楔形带有松动；3、测速机有问题；4、土甘埸轴定位轴承工作不良；5、同第二项中的第4、6条1、活理波稳管中的杂物；2、调整楔形带张力；3、检查测速机刷头或更换电机；4、活洗润滑轴承或更换轴承；5、同第二项中的第4、6条；4籽晶轴升降不 稳，有抖动现象1、卷丝轮与牵引套联接松动；2、钢丝绳有毛刺或拆痕；3、减速机润滑不良4、电刷环接触不良5、同第二项中的第二步、6条6、计算机控速输出不稳1、紧固2、更换软轴钢丝绳3、活洗润滑4、活理

7、、调整电刷环组件5、同第二项中的第二步、6条6、更换计算机5籽晶轴转动不稳1、测速电机有问题2、楔形带松动3、支轴承工作不良4、同第二项中的第二步、61、检查测速机电刷头，或更换电机2、调整楔形带张力3、活洗润滑轴承或更换轴承4、同第二项中的第二步、66 1飞车1、测速机电压开路1、查电刷坏及线路7偷转1、12A8控制器零点偏正；2、计算机控速有输出；1、调控制器零点2、将计算机控速输出OP回零8不转1、给正无车刖出；2、计算机有负信号输出（晶升）3、滑环卅路；1、检查给定电源（印刷板）2、将计算机OP回零3、维修滑环组件9重锤左右摆动1、软轴对中性差；2、籽晶提拉部件动平衡差；3、阻尼套松动

8、或损坏；4、外界振动影响；5、与限位杆干涉；1、调整对中；2、调整配重使之达到平衡；3、调整更换阻尼套；4、排除外界振动影响；5、调整限位杆；10液面抖动1、按第9项各条检查调整；2、按第2、3、4项中各条调整1、按相关方法处理；2、按相关方法处理；3热系统（托杆、埸托等）与给 埸杆联接松动；4、两抽气口抽气不匀；5、外界震动影响；3、调整各联接使之紧固；4、检查活理抽气管道；5、排除外界振动的影响；11等径过程中出现 晶体扭曲现象1、按第9项各条检查调整2、主机水平偏差过大；3、液面温度偏低，拉速过快；1、按相关方法处理；2、调整主机水平；3、加大温校量；12计长显示不准1、电刷环组件接触不

9、良；2、计算机有问题；1、活理、调整电刷环组件；2、换计算机；13拉晶过程中速度 记录曲线出现尖 刺1、测速电机接触不良产生暂时 飞车现象（尖刺向上）；2、力矩机电刷接触不良，产生 暂时停车现象；检修调整刷头使之接触良好14欧陆显示断欧1、计算机控温输出（OB较大;2、侧取光断路；3、温度记录仪接口板故障；1、将计算机OP输出降至800字；2、检查接通侧取光；3、查接口板；15非故障报警传感器有问题检查传感器16加热过程中电流 突然下降同步少一相1、交流接触器头接触不良；2、同步变压器断头；1、换交流接触器；2、换同步变压器；17加热电压加至30V突然回零1、可控硅断路；2、脉宽电容特性差；1

10、、换可控硅；2、换电容；18过流1、加热器打火；2、氧气不纯拉弧；3、加热电极与炉体问绝缘性差；4、高温加热后，杂质挥发过多， 拉晶过程中打火1、活理炉内个处；2、换相应绝缘件6单晶炉部件拆装一、土甘蜗轴的拆装（参阅附图 M10拆卸土甘蜗轴时，应先松开水套与水套固定座的联接螺钉， 去掉轴挡圈，卸下水套固定座，然后松开圆螺母，卸下带轮，将磁流体密封部件整体取下，最后将坍蜗轴上面整体抽出，装入时逆操作，只要注意轴承的润滑采用真空脂润滑，水套座内的润滑可用一般润滑即可；二、电极的拆装（见附图M12由于电极材料为无氧铜，因此装时应特别小心，切勿重击，拆装电极时，首先卸掉水冷电缆及铜夹子，然后拆下水嘴座，松开压紧螺母，移去上部石英护套，将电极从上部抽出即可，装配时，可进行逆操作即可；三、卷丝轮的拆装卷丝轮轴的旋转密封采用的是磁流体密封，拆装卷丝轮时应尽可能不要拆开磁流密封组件，1、拆去电机及减速箱（拆时做上相对位置记号，复位时按记号找正）；2、拆下软轴网丝绳压轮；3、卸下重锤及软轴钢丝绳；4、拆下卷轮箱左端限位箱；5、拆下左端盖及限位杆；6、拆下拖动限位杆的拖动圆盘；7、松开右端盖与卷轮箱的联接螺钉；8、将右端盖与卷丝轮