拉晶作业指导书

1、扬州华尔光伏科技有限公司lj0022010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名清炉日期 1 of 21.0 适用范围2.0 作业流程主要技术参数：2.0.11 三瓣埚 壁厚大于7mm ；2.0.8 用无尘纤维纸 或 毛巾缠 在长棒的头部 并用无水 乙醇浸湿 ，把缠 有纤维纸 的一 端伸入副室 ，从上往下慢慢沿着2.0.10 按照拆 炉的相反顺序安装 好热场部件。2.0.9 取下观察窗玻璃擦试干净 并重新 装好；用砂纸磨 掉保温 盖、导流筒支撑环 、导流筒等石墨件 上的 氧化物 ，并用无 尘纤维纸将 石墨件 擦拭干净 ；2.0.6 戴好一次性手套 和口罩，

2、取适量 无尘纤维纸 用无水 乙醇浸湿 ，把炉盖、炉 筒和小副室内 的粘污物擦除加热器 螺丝是否 拧紧；2.0.5 把取出石墨件 运 到清炉间进行冷却，戴好口罩对石墨件 进行清扫：用砂轮机磨 掉粘在石墨件 上的 大块硅点，作业指导书清炉doc.# 文件号：rev 版本 :reason(s) for update 更新原因：product 产品：customer 客户：work station 工序名称：page 页：规范单晶炉 清炉作业。2.0.2 确认已取出单晶 棒,抓牢取 出导流筒放到 拆炉车上,然后依次取出密封环、保温盖和导流筒支撑环 放到拆炉车上；2.0.4 取出三瓣埚 、托盘 以及中轴

3、加长放到 拆炉车上，用t型内六角扳 手将 埚杆内 的螺丝拧紧 ，用加热器 专用扳手检查2.0.1 穿好清炉服，准备 好拆炉车、t型内六角扳 手和加热器 专用扳手, 戴好防护 眼镜、口罩 、纱手套和石棉手套；2.0.3 上升埚位到埚 杆 上限,用老虎钳 取出石英坩埚放 入铁筐，注意 尽量保 证埚底料的完整性，将铁筐放到 指定地点；干净，直到擦拭 后纤维纸 不再沾有挥发物；副室内壁擦拭 ，注意小 心操作，不 要使重锤和钢丝绳碰 到副室壁 ，以免把钢丝绳碰出毛刺；2.0.12 导流筒壁厚大于12mm 。2.0.7 卸下排气口护盖用真空 吸尘泵吸干净 排气口管道及 护盖上的挥发物, 用无 尘纤维纸擦净

4、 护盖，装上护 盖；2.0.3 尽量使埚底料完整2.0.1-4 把拆下来的热场放到 拆炉车上2.0.7 清洗排气口护盖2.0.5 磨去大块硅点扬州华尔光伏科技有限公司lj0022010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名清炉日期 2 of 23.0 仪器 /工具 /材料4.0 注意事项4.0.1 检查加热器和 托 杆的螺丝是否松动, 核对平口, 检查加热器 与保温筒之间的间 距是否均匀；导流筒壁厚如有小 于12mm 的应更 换导流筒，三瓣埚 壁厚 如果有小 于7mm 的应更 换三瓣埚 ；4.0.3 清炉时塑料手套等 易烫化的物体不要碰到石墨件，不能 沾无

5、水 乙醇擦拭 观察 窗玻璃 ；4.0.4 处理石墨件 上的硅 点时， 操作要小心防止硅渣崩溅，伤人眼睛 ；4.0.6 大清后高温 1小时方可投料 。5.0 各种表单5.0.1 单晶 生产记录4.0.2 检查炉 底压片是否有 破损翘曲, 如有破损翘曲 应及时更换, 加热器是否 变形 ，保温筒是否有 裂纹 ,碳毡 是否 硬化,4.0.5 加热器 每四炉拿 出清扫，装料之前边充 氩气边抽真空 5分钟方可投料 ，每8炉对所有石墨件、 弯头、电磁阀、customer 客户：清炉doc.# 文件号：reason(s) for update 更新原因：3.0.1 无水乙醇、无尘纸 、砂纸；3.0.3 t 型

6、内六角扳 手（参照螺丝 尺寸）、加热器 专用扳手、卡尺、100cm 直尺、拆炉车、吸尘器、砂轮 角磨机；3.0.2 清炉服、防尘帽 、一次性口罩 、石棉手套、一次性手套；电子阀、波纹管 等进行大清；rev 版本 :product 产品：work station 工序名称：page 页：作业指导书扬州华尔光伏科技有限公司lj0032010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名装料日期 1 of 21.0 适用范围2.0 作业流程主要技术参数：work station 工序名称：2.0.4 检查待投料 石英坩 埚外观有无异常（检查 裂纹、附着物、划伤、表 面沾

7、污、波纹、气泡、黑点等是否与坩埚2.0.2 抽真空 期间充氩气 1-2次，抽至极限真空 后关闭球阀和真空泵开关进行检漏，漏 气小于1帕每3分钟, 如检漏不合格通知维修班检修；2.0.3 用装料车将硅原料从存料间 拖至装料单晶炉 旁边，检查 原料重量、电 阻率和母合金是否 与随工单一致；作业指导书装炉doc.# 文件号：rev 版本 :reason(s) for update 更新原因：product 产品：customer 客户：2.0.11 用沾有无水乙醇的无 尘纸将 炉筒的密封面接合部位污物除 去；page 页：规范 拉晶装料作业。标准相符）, 若无异常 将它放入三瓣埚 内，在三瓣埚 拼缝

8、 处垫上碳纸，将石英坩 埚放平 ，即高出三瓣埚的 石英2.0.5 首先放置好 保温盖,确认母合金无异常后，再 放入石英坩 埚内，取较小的材料约2-3kg平铺于埚底，然后再放入2.0.1 将单晶炉 盖好后点动 真空泵开关 ，打开球阀抽真空 ，点动 真空泵时注意 真空泵是否发 出异常 响声，如有异常通知维修班进行检查；2.0.12 检查 确认以上述操作无误后合上炉盖和炉 筒，在快 合上的时候应点动慢 合拢；2.0.13 填写 装料记录。坩埚高度要均 匀且石英坩埚与三瓣埚间的间 隙要均 匀，若有异常 通知当班班 长；2.0.7 放入中等块料，大 约为大块料的 2/3 左右 ，将剩下的小块料尽量填在缝

9、隙中；2.0.8 装完料后， 降下石英坩埚（18寸系统降 到下限位 ，20寸降到平口与限位 之间），转动石 英坩 埚，查看是否平稳2.0.10 用无 尘纸将 籽晶擦拭干净 ，安装 到籽晶夹头上，注意 将籽晶位置摆正；一些大块料；2.0.6 为了让 大块料稳固 须再放入一些直径小于5的小硅料平 铺在石 英埚的中部；2.0.9 用吸尘器吸净周围 的硅粉，石英埚停止转动，依次放置好导 流筒支撑环 、导流筒、保温盖和密封环；2.0.4 检查石英坩埚2.0.5-7 划开口袋2.0.6 中部装料2.0.7 顶部装料2.0.9 硅料不要碰到导流筒扬州华尔光伏科技有限公司lj0032010单晶棒部门originator编制tech技术qc质量mfg制造拉晶车间签名装料日期 2 of 23.0 仪器 /工具 /材料4.0 注意事项4.0.3 检查重锤上方200mm 以内的钢丝绳是否有 毛刺和散开现象， 若有应通知维修组维修或更 换；4.0.4 炉盖和上炉室快合拢时应该点动慢 合拢；4.0.5 尽量避免细小的料接 触石英坩埚上 部埚壁，以防挂边，避免大块料的 尖角指向埚壁以免戳坏石英坩埚。5.0 各种表单5.0.1 单晶 生产记录3.0.2 白大褂、一次性口罩 、汗布手套、一次性手 套、剪刀 ；4.0.2 检查硅料位置 ，使其不要碰到导 流筒；custo