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文档简介

1、SPQ/W效过滤器检漏SOP佰）作者:日期:高效过滤器检漏SOP目 的： 通过检测高效过滤器的泄漏量，发现高效过滤器及其安装的缺陷，以便及时采取补救措施。适用范围：适用于洁净厂房高效过滤器泄漏的检查。责任部门：设备能源部、质量保证部负责本程序的正确执行和监督。1、高效过滤器安装检查1.1 高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密 封胶和框架有无损坏，边长、对角线和厚度尺寸等是否符合要求； 杠架有无毛刺和锈 斑（金属框）；有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。1.2 检查过滤器的滤材是否完好。1.3 滤材与其框架内部的连接是否严密。1.4 过滤器框架的密封垫付和

2、过滤器组支撑柜架之间连接是否稳固。2、高效过滤器的检漏。2.1 测试方法：尘埃粒子计数器法。2.2 测试范围：对于D级及更高洁净度要求的洁净室，包括层流工作台、百级层流罩、 隧道烘箱等设备上的高效过滤器，都必须在现场进行检查检漏。3、检测材料及仪器。3.1 尘源：含尘浓度为3.5X104粒/L,微粒0.5 pm的气体。3.2 仪器：尘埃粒子计数器。4、粒子计数器法检漏方法。4.1 在被检测高效过滤器上风侧以大于或等于0.5加 微粒，含尘浓度为3.5 X104粒/L的空气做为尘源，调整过滤器在接近设计风速的条件下运行，用粒子计数器在被 测高效过滤器下风侧测得含尘浓度。4.2 根据CLJ-03A型

3、尘埃粒子计数器SOP正确使用计数器。4.3 用尘埃粒子计数器采样头扫描过高效滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约24cm处，沿过滤器内边框均速移动计数器探头巡检，扫描速度应低于5cm/s 。4.4检漏标准控制表洁净度尘粒最大允许数/立方米>0.5 师>5 mA级35001B级35001C级3500002000D级3500000200005、泄漏后处理：5.1 出现泄漏时，用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再次进行扫描巡检，仪表指示 为“0”，表明漏点已被堵住。5.2 高效过滤器泄漏处允许用专用胶水修补，但是单个泄漏处的面积不能大于过滤器 总面积的1%,全部泄漏点的面积不能大于过滤器总面积的 5%,否则必须更换c5.3 过滤器修理或重装后必须重新进行测试。6

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