台阶仪操作规程

1、台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD台阶仪标准操作规程1.0目的为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作，并作为初学者的学习指引，特制订此操作规范。2.0职责2.1工艺部门对产品制定检查标准2.2 对新进入操作员工进行培训和技能指导2.3 按照标准对产品进行检查3.0文件内容第1页共3页台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD第#页共3页台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD3.1台阶仪3.：在台阶仪平台上，尽量保证在探针的正下方。3.2.1.2.双击桌面的DekJtak台阶仪电源开关图标，开启测试软件，此时测试平台

2、自动调整。焦距调节旋钮平台微调旋钮平台倾斜调节第2页共3页台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD第3页共3页台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD321.3.打开软件后单击工具栏的屯 图标，探针缓缓下降，注意此过程中要随时调节测试平台的位置,第#页共3页台阶仪操作规程文件编号：TimesCL-XXXXTimesLZD保证探针落在样品上。探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图像最 清楚。3214 上述操作就绪后，单击工具栏图标，新建一个文件。在转换后的界面中单击“Data File在弹出的对话框 scan data项中设定

3、好文件的存储位置。321.5.然后单击工具栏中的图标1一1进入到参数设置界面，在“Scan Parameters ”中单击任意一个链接，弹出对话框，在“ Length ”中输入扫描距离，“Duration ”中输入扫描时间，“Meas Range ” 中选择适当的量程。“ profile ”中勾选Hill&Valleys 。依次单击 Apply和0K。3.2.1.6.单击工具栏币图标切换到样品表面图像，调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置。321.7.单击工具栏的.图标运行，开始自动扫描。3.2.1.8. 扫描结束，软件会自动切换到曲线数据界面，看曲线是否倾斜，若曲线水平部分/倾

4、斜，则顺时针调节平台水平盘，若曲线水平部分倾斜，逆时针调节。单击旨重新扫描。使曲线大致达到水平。3.2.1.9. 曲线拉平处理，扫描结束后在数据界面会有两条线尺 和汕 拖动R和M将两条线分别移动到同一水平面的不同位置，拖动曲线下方的选择适宜的宽度3.2.1.10. 右键选择Level将曲线拉平。3.2.1.11. 计算数值，将肚|拖动到待测高度的位置，此时左下角Watch List 窗口中读出ASH的值并记录。单点测量结束。3.2.2单点重复测量3.2.2.1. 前面9步与单点测量一致，只是在拉平处理是右键选择“Enter Software Leveling”保留参数，然后将 M |移动到待测

5、量高度的位置，单击analysis选项选择 AnalyticalFunction,.弹出对话框，在 Height中勾选ASH单击Compute。然后单击图标，看至U左侧 Display Parameters 中 Software Leveling为 Enable。3.2.2.2. 单击工具栏的图标，切换到另一界面，再单击 Data file 在弹出的对话框中的 Database项中选中Log （生成报告）并设定到指定的存储位置。依次单击Apply , OK即可。在右侧Scan Routines窗口中，右键单击数据，选择Copy to Range。弹出对话框，设定扫描次数，单击OK。3.2.2.

6、3. 单击干 运行扫描，此时会弹出 Dektak Database 窗口，方便查看每次扫描结果，结束后在窗口下方的Average项中显示几次扫描的平均值。重复设定的测试次数后，单点重复扫描结束。323不同点测量323.1. 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿，在运行扫描前单击EJ 切换到另一项上单击，弹出对话框在Timing 选项中勾选 Adjust Position Before Each SeanApply和OK即可3232再单击工具栏的| 口图标切换到样品表面图像，调旋钮使红色光标对准扫描起始位置,指到结束位置，右键选择Update Alig nment Reticule，定住绿色光标。3233 单击二：运行，在每次扫描前，会停顿弹出对话框确定扫描位置，调好后点击会弹出Dektak Database窗口记录每次结果。重复设定的测试次数后，不同点扫描结束。测试完毕后关闭软件，探针自动升起，取下样品，关闭仪器电源和电脑。4.0注意事项界面，在timin