气体设备技术规范GC、VMB

1、F5楼气体设备技术规范1.1 GC半自动控制，由独立的控制器+触摸屏进行控制。1.2 VMB半自动控制，需安装独立的控制器+PLC进行控制，不可使用PCB板处理方式。1.3 GC和 VMB的柜体厚度应该大于等于2.5mm。1.4 设备进气口要安装灰尘过滤器。1.5 设备门可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。1.6 操作窗口可以自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。1.7 气瓶柜排气管的直径必须大于等于6英寸并装有挡板以调节气瓶柜内适当的抽风量。1.8 气柜盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过。1.

2、9 气瓶柜要装有作动点为68的喷水头，用作火灾事故时冷却气瓶。同时要装有温度传感器并与盘面控制器联动。1.10 所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。1.11 控制器上必须安装一个紧急制动按钮(EMO)已实现完全停止供气的目的。1.12 气柜至少要有三级密码设置，如操作界面密码和参数修改密码。1.13 气柜双工艺出口(一备一用)。1.14 气柜每一侧在调压阀后都应安装终端过滤器( 0.003 m)。1.15 气柜内小尺寸钢瓶托架高度，应能调节，如果需要。1.16 GC、 VMB控制箱需有Z-PURG功能。E1.17 GC、 VMB柜体尺寸尽量小，不超过以下尺寸，GC：长800毫米

3、、宽575毫米，高2160毫米，VMB：长640毫米，宽380毫米，高1850毫米。GC设计规格Gas 气体名称CL2-BCL3SiCL4-HFStyle 类型 -用户要求配置GCGCEquipment NO. 设备数量11line size 管路尺寸1/41/4Operation 操作Semi AutoSemi AutoProcess Cylinders1 CL2+ 1 BCL31 SiCL4+ 1 HF工艺气体钢瓶数Process material工艺管路材质SS316L EPSS316L EPProcess line 面盘工艺管路Auto Switch Method自动切换原理Weigh

4、tWeightWeight Unit 称重单元YesYesPanel line Heat Trace盘面管路加热保温BCL3YesCylinder heating jacket 钢瓶加热毯BCL3YesOne Step Regulator 一级减压阀YesYesHigh Pressure Leak Test (HPLT) 高压保压功能N/AN/AVacuum Generator真空发生器YesYes控制及安全装置Enclosure柜体CabinetCabinetExcess Flow Switch过流开关CL2N/AAccess Window操作窗YesYesDoor Closer闭门器Yes

5、YesDoor Latching 门锁YesYesThree Status Lamps (Red :ShutDown)(Yellow : Warning)(Green :Normai)三色报警指示灯YesYesManometer Switch Gauge 排风负压开关表YesYesExhaust fault alarm排风不足警报YesYesSprinkler 消防喷淋头YesN/ATemperature Alarm 温度开关YesYesExhaust manual damper 排风手动风阀YesYesVMB设计规格Gas 气体名称SiH4NH3BCL3CL2Style 类型VMBVMBVM

6、BVMBEquipment No. 设备数量1111Operation 操作Semi-AutoSemi-AutoSemi-AutoSemi-AutoProcess material工艺管路材质SS316L EPSS316L EPSS316L EPSS316L EPProcess line 面盘工艺管路Main line size 主管 - 支路尺寸1/4"1/4"1/4"1/4"Stick line size支路尺寸1/4"1/4"1/4"1/4"Inlet Expansion Valve 入口扩充口YesYesY

7、esYesInlet PressureMonitor 入口压力侦测PGPGPGPGInlet Remote shutdown 入口气动阀远程关断YesYesYesYesStick Pneumatic valve支路气动阀NONONONOStick Pneumatic valve支路手动阀YesYesYesYesStick Regulator 支路减压阀YesYesYesYesStick PressureMonitor 支路压力侦测PGPGPGPGStick Purge line 吹扫支路YesYesYesYes控制及安全装置PLC ControllerPLC控制器YesYesYesYesCon

8、troller Z Purge 控制器Z 吹扫YesYesYesYesEMO 紧急关断按钮YesYesYesYesRemote ESO input 远程紧急切断信号输入YesYesYesYesShutdown Alarm output 关断警报YesYesYesYesEnclosure壳体BoxBoxBoxBoxDoor Closer闭门器YesYesYesYesDoor Latching 门锁YesYesYesYesSafety glass 安全窗YesYesYesYesManometer SwitchGauge 排风负压开关表YesYesYesYesE.M.O 紧急停机功能YesYesYesYesThree Status Lamps (Red :ShutDown)(Yellow : Warning)(Green : Normai) 三色报警指示灯YesYesYesYesDiaphragm Valve 膜阀KITZ/ AptechRegulator 调压阀Aptech/PARKERCheck Valve 单向阀Swagelok/ FujikinVacuum Generator真空发生器TK/ AptechEFS 过流保护器Swagelok/AptechPressure Gauge 压力表NKS/WIKAFilter 过滤器Entegris/P