扩散CT工艺规程资料

1、赛赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第1页共10页1、目的：建立正确操作扩散 CT扩散炉的工艺的规范，以保证扩散的质量及保护机器和人身安全。2、范围：本指导书适用于扩散 CT扩散炉工艺规程。3、工艺人员职责3.1负责扩散工序生产工艺运行的正常性、稳定性 。3.2负责部门内工艺运行原始资料的累积，保管，随时检查工艺运行状态，并记录异常，积 极处理工艺异常。3.3负责应对CT扩散炉设备常见、突出、重大的工艺异常，制定落实整改措施、预防措施、应急方案。4、工艺生产4.1检查“ Slider ”是否在上料位置,若不在，手动状态下移到上

2、料处:Man ual/Slider/toport ”（图1）。把插好硅片的舟放到slider ”上。尽量使舟在slider ”中间位置（图2）图1图24.2在Setup ”界面选择Boat ”项（图3），选择一个舟号，进行工艺信息编辑。4.3选择确定后，进入boat activation”界面（图 4），点选 “ Set boat active forhan dli ng ”、 “ Set boat to Ready for process ing 和Boat will be removed for uni oad复选框，再点击“ Next ”按钮。” 赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文

3、件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第2页共10页图3图44.4进入Ha ndling in formation ”界面（图5）,把舟上的编号输入到Boat ID ” 一栏,同时选择 Load position为Slider ”，再点击Next”按钮。4.5 进入Process tube select ion界面（图6），选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next ”按钮图5图64.6 进入 “ Boat in formation界面（图7），在 Actual boat location位置选择“Slider，再点击“ Next ”按钮。在

4、Boat state位置选择“ Wait for tube在 “Lots in boat4.7进入“ Process in formation ”界面（图8）,选择相应的运行工艺名,中输入相关舟的信息，再点击“Finish ”按钮。. -T #h11?1国i芹I b1图12图11曲片闻4*冲扌丿赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第4页共10页4.12在弹出的红色对话框“ 或默认值，再在键盘上点击“4.13在弹出的红色对话框“Adjust diffusi on time?”中Enter ”键。Adjust drive in ti

5、me?”（图（图13）输入需要修改的时间14）中输入需要修改的时间或默认值，再在键盘上点击“ Enter ”键，信息输入完毕,开始扩散工艺。图13桨自动送舟到石英管,图144.14当工艺运行完，自动取舟到“Storage ”位置冷却；冷却后“ Slider ”自动取舟到下料位置并伴有蜂鸣提示，进行取舟卸片和测试方块电阻；再放上需要扩散的舟。4.15同时CMI电脑弹出“ Boat Info ”界面（图15），点击“ Unioad done”按钮，在软件中完成卸舟信息。4.16 进入 “ Boat Info Mode Select ” 界面（图 16）,选择“ Wafer（ Productionw

6、afer withhost validation）”项，点击“ OK按钮图15图164.17 进入“ Material Loading界面（图27）,在“ Boat”输入舟编号，在“ Lot ”输入舟相关的信息，同时弹出“ Recipe ”项，选择相应的工艺名，点击“Load done ”按钮，机 械手自动上料，工艺运行开始A MJ n 1 *耳 j 兴岸 i J F u-MV赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第5页共10页图175、工艺控制(850 10)C；C5.1工艺参数及流程扩散工艺温度：POCL源温：20F:多晶：（

7、待定）Q/O）操作状态进炉恒温磷扩散恒温（推进）岀炉冷却运行时间（min ）气体N2O2N2O2N2C2小N2N2C2N2ON2O流量（L/min）5.2工艺测试及调试工艺测试主要是肥，所要设备是广州半导体四探针测试仪，使用方法如下:打开电源开关，初次测量时，要预热15min位是0.1MA1./1赛赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第6页共10页把” I “的指示灯切换至芯/P:检查各类指示灯是否正确，确保温度正常无强光直射，无高频干扰把”芯/P “的指示灯切换至I :看电流值是否是 4.530MA，如果不是那用手轻轻旋转调节

8、按钮 使电流值为4.530MA。电流校准后，把” I “的指示灯切换至 RO/P。待RO数值稳定时读取数值。调试：工艺人员根据测试的不均匀度计算不均匀度（不均匀度=（Ro max -RO min） /（R O max + Romin ）*100 % ,要求单片7%単管10%,炉管5个不同温区的R的大小，调节温度，气流量，或扩散部时间。 原则是Ro小，温度、时间减少，反之，亦然，主要方式还是温度调节。根据温度与电阻的关系按照 1 : 1的比例调整.（分清要调整的 温区和要调控的点）最后保存设置， 具体情况，具体对待。在红色的对话框“ Adjust temperature? ”中（步骤4.11，图

9、12）输入需要修改的温度，在键盘上点 击“ Enter ”键。异常处理色斑原因与分析解决：手机印：坚强监督，搞好工艺卫生；滚轮印：表现-有规律性的出现在滚轮走过的线路；反馈清洗间，清洗或更换滚轮；片子不干：表现-片状、区域性及片子边沿的滚轮处甚至绒面被破坏；分析-三氯氧磷遇水水解成偏磷酸，可能导致片子出现蓝色色斑（片子不充分干）甚至绒面被破 坏（有水珠）；反馈清洗间，调整或更换风刀。偏磷酸滴落：表现-片状、条状且绒面被破坏；定期清洗扩散管，及时清理偏磷酸。电阻偏大小电阻值与扩散时间、扩散温度、源量与源损失及气流配比等因素有关。电阻偏大的分析解决：温度偏低；提升淀积或扩散步温度；屯1H苇/赛维L

10、DK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第7页共10页小氮流量偏小：分析-扩散小氮流量小或恒温箱温度低于设定值（20度）;增大小氮流量。石英制品的清洗：分析-使用没有做过饱和的石英制品，造成部分源量被石英制品吸收，定期清洗和饱和。523.3 炉口扩散不到不均匀扩散不到的分析解决大氮流量偏小：表现-整片发白；分析-大氮一方面作为平衡气体平衡管内气流， 另一方 面作为携带气体将源携带到炉口； 大氮流量过小不足以将源携带到炉口； 增加大氮流量。抽风过大：表现-整片发白；分析-尾气抽风是将废气排出；抽风过大时，源来不及与硅 片反应就被抽掉，造成炉

11、口片子扩散不到； 减小尾气抽风；在炉口加外挡板也能有效调 整炉口扩散不到的现象。扩散不到的做返工处理。扩散不均匀：大氮流量偏小：分析-气流不均匀造成气流不畅，导致整片淀积不均匀；加匀流板、调整气流配比及流量（附气流配比试验报告）。抽风过大：表现-靠近抽风管后处明显比其他地方白；分析-抽风过大，靠抽风口处的源量比其他处相对少；减小抽风 上述异常问题需要做返工处理。6石英制品处理名称使用寿命（月）HF溶液（1:10）侵泡小时数饱和小时数（个）备注：如发现石英制品被污染，及时停用，并按使用寿命到期的处理方式处理。石英管238石英舟134均流板234舟托2347、注意事项:一赛维LDK太阳能高科技（合

12、肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第8页共10页7.1禁止直接用手触摸石英器具和硅片。7.2发现石英舟、石英管有污染应停止作业，处理后再做。7.3加热时“上电开”与“加热开”之间必须有2-3秒的间隔。7.4片子进炉后要定时核查炉子运行状态及气体流量，以免发生异常动作。7.5关闭设备时，先正常关闭计算机，再按“上电”键关闭电源。7.6三氯氧磷扩散决定太阳能电池的性能，故必须严格按工艺要求进行操作，炉管清洗后 必须按规定做好检查项目及做F先行片，如先行片不合要求，必须重做先行，不能冒险全部投入作业。7.7经常检查三氯氧磷源瓶内的源量，低于1 /4必须更换。

13、7.8检查放置三氯氧磷源瓶的恒温槽的温度设定值，注意恒温槽内的水量，及时添加，以 保证水位高于瓶内的液面。保证水温恒温于20 C。7.9控制柜面板上的“消声”按钮是当系统出现故障，发出声光报警后，按下它，蜂鸣器 不再发声。但此时并不代表故障已经解除，必须在排除故障后将其松开。7.10 “急停”按钮是用于舟的紧急制动，并不会切断扩散炉的电源。8、生产设备与工艺要求：（见附件，没有的后补）编制会审/校审审核批准占 MJ n 1 .峯t# i_n41L赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司文件编号文件名称扩散CT工艺规程生效日期2011-01-06页码第9页共10页附件设备、仪器工具、夹具设备仪器规格或代号名称规格或代号高温扩散炉 石英管清洗机 石英管保管柜 超净柜超净工作台 四探针测试仪 超净吸尘机Centrotherm广州半导体扩散石英管 石英门 均流板 隔热板 源瓶扩散石英舟 小氮进气管 舟叉套管 石英杆石英套管材料名称规格动力硅片HF