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文档简介
1、XPS分峰的分析实例材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例例:将剂量为1 107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C 退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的Gs高分辨扫瞄谱 进行解析,以确定各种可能存在的官能团。分析过程:1在Origin中处理数据Tr才厂 E wr 4Ctt1tn啊I*.9辩bj.a气崛1 辛MT .*113|nuvHEEF审1 lb7n!帀川1T2.1WU.512V1WVMniriIWlftpkiiiIlfeWlUHVr*lull!1?却IfIMfel将实验数据用记事本打开,其中 Cs表示的是Cis
2、电子,299.4885表示起始 结合能,-0.2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。从15842开始表示是 光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度 数据列。同时将299.4885Copy到Excel软件A列中,并按照步长及个数生成结 合能数据,见图2YVkCoXPS分峰的分析实例Q lir I ui pfr Kai Pl tiiflk 1二j 宜啜4H:J 氏出 lAp 宅 WU r W i4J r nrr-_-_一 1_ u- (-7i:._ LrwrilPj丿药Ra.f.a E!*UuHn,曰1? 1* a.J IlfiiliJ i*将生成
3、的数据导入Origin软件中,见图3。40* 厂、儿皿 小4 2;八(4ata量uh f严讣 l-r-j-常色冷u=l Lm丁釧豐i亘變虽團蚩 虫裁岂旦 間21型 营 墨昼,剖fz画吐I旦I5 1Wli its 呻、1 &H?! lia/Mi!讯拳.2丽4;?3I/?3S5i S-Uiyt4 iiaJfai Mn.lRbIbL蜀 I4S1i nr.wa1W屮 ilJi n/.rjflsiMHiual:24/.JHS1阿1i EMMk&iHJMSI叽皿;卩住,b*iurtsfif1朗RE;邸.他$1 MiK 2冠MFI*|t4 ItH1和Zk;?5i,r3fli1*晦伽,叽押一ifn znni
4、2羽11UIJIi 2啊呦lhW卢丄.曄咔鼻粹和TI4fcp.jri31 E.网l讪III丄-0阑宦业列刨孙邛H可fk” ! irgsivivam*rriiIk-1dXPS分峰的分析实例此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出 图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点 Data-Move Data Points,然后按键盘上的 或 箭头去除脉冲。Cs谱图,检查谱Origin软件中的本例中的实验数据没有脉冲,无需进行此项工作。将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。aW95ST| -帼睜卿封 卩瞪.
5、阳伽世ftsi jftVw.esw-i.j:;丄 口 innr .iwr iri I iJLjcSi 亚二:;I 心 *:-2iFjp-*|v;r園虱蹩国U g巴乂词劃虽亘创丽电J Jj 丄丄丄丄LU II Cb.J1Li皿叭叭眄前M 叭晤叭叫M 叭M昉晒鸠叭 M 叭 晤叫叫 M 眄 J J ?)1 ) * )*)1- Jt )-tot II nJ:IK1暉h亠*UUU.l?qtI b ;IPTT 二“咖自亍,工牡二”它2、打开XPSPeak,引入数据:点Data-Import(ASCII),引入所存数据,则出现相应的XPS谱图,见图5、图6f7wnf。Fb rr * 山* xL( 4 E卒i
6、-中i IrwT jr AM !rt 耳4 旦I订fiLhjidiTfen I V 屮 门和i W *和HIF i 勺I咬 II 欝宁*停I1) n *1 IvkVFNIJL I H LAT -l l IIS53、选择本底:点 Background,因软件问题,High BE和Low BE的位置最好不改,否则无法再回到 Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际情况选择,一般选择Shirley 类型,见图7。D2r2M4、加峰:P、d、f等峰类型(一般 fix前小方框,同法还 可用来固定此峰与另一点Add Peak,出现小框,在 Peak Type处选择s、 选S),在Positio
7、n处选择希望的峰位,需固定时则点 可选半峰宽(FWHM、峰面积等。各项中的constraints 峰的关系。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰,如此 重复。 fNjao。在选择初始峰位时,如果有前人做过相似的实验,可以查到相应价键对应的 峰位最好。但是如果这种实验方法比较新,前人没有做过相似的,就先用标准的 峰位为初始值。最优化所有的峰位,然后看峰位位置的变化。 P07ZC。本例中加了三个峰,C元素注入单晶硅后可能形成 C-C、C-Si和C-H三个价 键。根据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位, 然后添加。具体过程见图8、 9、10。S1QSR.tijwi
8、nwin rtv-a fiHi 區库111的 :rh 24TS ITL ( _l址 Ed nil 庭 rtSiLIl h4*-*m:M 4T : ttt nii_ IIIt - c J- I 23,俺山Ib j L*尸曲=J gq* FftJI*1烬n(Jm L|lEM 帆7 空A呼 *imi tta 士* h rDrtil*hr* UntPMLCiwiufq:. in:Li| nQ Fh Hpta-II JI I f qMl|rt| 1 IRrfJlMMA PhitHHl 肚刚 I俺冰:V I S J - -; t _ J-rwhfaitm 輛 O FtB114i C-hi-v4i 11-A
9、tn.HTW ;B Q. jotIl rr ; I!图10Op timise regi on5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimise region进行拟合,观察拟合后总峰与原始峰的重合情况,如不好,可以多次点最终拟合结果见图11。5SFCdam1沁:51. .vrBidGE,怛.2.bjHyp E 辰审 I /- IZITy hJlUu 把 L3iiin11-AfvfeI 斯 口 Ftebg j g Hu J*i1t CVMlEBlVlAaTHHvjhto . ! iL rs _ K h IAfiFWHN I.4WV NfCi*ftlMff 户 Iwtf Accewt6参
10、数查看。拟合完成后,分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数,此时 XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不 region满意,可改变这些峰的参数,然后再点Optimise。gjem。7、点击Save XPS存图,下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行 处理。8、数据输出。点击DataPrint with peak parameters,可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。Vm6Rx点击DataExport to clip board,则将图和数据都复制到了剪贴板上,打开文档(如 Word文档),点
11、粘贴,就把图和数据粘贴过去了。NX89r。点击DataExport ( spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin中从多列数据栏打开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。062RmXPS能谱数据处理王博吕晋军齐尚奎能谱数据转化成 ASC码文件后可以用 EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的 目的是向大家介绍用 ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。31CP9下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠 8veq7。一、多元素谱图的处理:1、将ASC码文件用 NOTE
12、PAD打开:元素名称采集的数据点总数融口rKZZtKh 殆世诜0J= sA2 ffiS&As00s111&55SA 7 Ds 1OXLissIsgg gsgg gB g1o o ss ss ss59 a sS5MgHBy油屋Y盘蒲血。肯斗 OR_G_N養Y盘蒲議蕃旦型 B (Y;W S. waH P_OT =ne4XPS分峰的分析实例Fc* HtL4F J亚rwr心11J叶两 H丄 cHocaJ. Ckreib - UJIlLTUiU - LUklJ -KiriftAM1234n67nglU11iz13-A LScEtt erI_in.4 + SymbolHi-Lo Clui.flCt ftT
13、FloL iyFT K 比* i ccl iinStack ColKunnB arStack BwFili Cliart.備I勞I朋吕I圉I _壬皐=T_*X = V rm-a-t $1hvc1& rt*丄p4、出现下图:点击 B(Y),再点击Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在“ set X values”中输入起始值和步长。2Faz2。* - - I . ” E-nl侖I痔ISIBlEll侖I画陆隔51石I罡I寻I関I邑圖I J lei II j|川 1x1AFKl10II la上L17IB_2D_l-23-nrvi bznn 6b5U &型5良“JUCIFD tMD Bl ao bUQU
14、iinE?aobH4U BID) GMO b孔H film &?au ftUM) eon II tdik bun bzru Kfli n fi14D t3KZDi2:jr2 IP3、li I r r sL丨 呂I工I y匚r I咀I L I . A 04kU-j Tinsr- jjls L 5n|2 3砒 岂叶foa Hm 二良 tft z-9 hJ5、点击OK,得到下图:匡m EJ.L* gd-t 笙丄七 JF札dvKiM HnEIk ran*H*Ln E 1 云q囲峨电亘画區li圃 刮L周MEAJ冏到 凶冃I釦IjEfll年lilial至J旦劉圏 阖aij1 GOOO -7,I工Dao -
15、1ODOO -a Du-*0Qj2&BX ax IS Iritlerr 二叮 * iiBi ipIti I,/aigd IXPS分峰的分析实例6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。A.位移:如图:选择 analysis translate vertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。1)我们以水平位移为例进行讲解。h6LfZHl croC al Or i gi n LOTT工TLED GrapKl 16000 =,t 71 ew 企宝ph D ata . knalysi s | Tod 三 Format Wi ndov rwpl a 此i+h星mm件
16、+ hi n eiTFT FilterI匚 aXctiltiEISijittrcztIHelp _=J晶I14000 -Aver age Hltii)l* 匚 urvts.Inter/Ex trap olat e.TFT .12000 -Ti L LilLc alTi L Pjl_yiwFThx il10000 -Tit Eirponnti 1Tit Estpoiwnti辺(jro*thVart. i c*l疋口iri z口zkt 辽2)在图中双击峰顶,IIRj Eilu Bdi L如图示(小窗口给出的是此点的X,Y 值)MirriTiJiij - MM 1xM曲赫Ul,IN風処II0|/曲4
17、阖出険1阖 4|姑应imu 普|日|力|吕|晶11 JM陛|啤|)In Uh tplX,Y 值)3)然后在图中 单击其他位置找到合适的 X值(小窗口给出的是红十字的15010Dis.ly _234-*JS OngmAl冲4U 1 U WVI:i A “AfimS-Burtz Icv-o I p y:jf -SE 电1J|-|ri Y岁-.:-z.up口|画罰码辰|曲迪商口TNlElBl湎ml NJ m血I1 eooo -fc1 4口口 口 一1 5Dn 口I dOClOeoo 口stSgwHgky-GoldyAJ|4Ltft 且n J曲I町卩i-kT i-iatc*i|j占I* 啊.q吞剖面分
18、析数据处理:1用写字板打开 ASC码文件,选取所需要的元素nnB04M5r OCWD t -C. 1260MlKTUa.OQUD 10740-ODOD KJlflO-COnD iCBaa.GQDD iriTHa.onop 泗am ooaa KilUO.OUIlD IIQOQ.QQDD LQO.ODQC ICiqa.COPD L7o, moo 豹沁OLiQa P33O. MOP MCimDcmD 1)040.ODPD seoo- HDD S$04. D0 $060.0000 9ion, (UQU Ploo-00on Jlfia. DQUDa* ftat (Hl兀素名称Y轴数据. 剖面分析中的CY
19、CLE数起始值及步长2llflT I2、打开 ORIGIN软件,如图示:pil*B.4- t ViFl+ 匸血讣鼻:? w 耳 匕y 上匸中匚:乎em,E_J_5 fi =LH口m11=亠 n 1厢! irIB_u_ -0-3E6选择 colu mn add new colu mns皿1. Rrtt.引日I rajAf JjjJ d费I 订L_r_birCTBInr_LtI 刖! 4 MV c! ILJI 3 Lal I.- lhe 丄kt 川叮*.如果你的数据有九个 cycle那么你要在下面的窗口选择Il JUJ*AddCoLiinri!Hnw m any rnluninf; rin yni
20、i want xn arid tfi The wnrkshfeT?OKCanceljd然后在B (Y) J (Y)中依次输入不同cycle的丫轴数值亠了已辽宅&业t g EUt :心Md 3乩hw :二a r绅亠疊INAfX11曰苗CMDpqFP1FM 11M IIIMim 1_J_GDOO磁053Z058O51祁51和5&8051100 20zSISD&帕DS?bOIGO47UDSS2D昭uoSTJO52bUa55004 BOO534051DD5340510049G0SOOD4bUUbduu4/0b2UUhOdD醐UD4/404H4(J3Uf测u14U0MlUO411 liUZnofldlf
21、in5?nfl5a (inleoDrn”筛(IP51 flfl4nnnnaeeu5(tU阴铀526059*5VliD&0D60095HEIISBbD55KD心HD5 HID544D4&hO4EII0SIMM10引割)S44fl4騎0対GO4ft00SSflOAKLdS3?011b/hUSJU4I辎uu册Dbl2&滤204fBU49fi048M)5300D4S6O5400*S7BD17510013&ou51VU61UV&020MUM20tl UOC22C4烦U53州s?o吕HsaJ56?nSTOD4a?n4flRn_IS_晰u5跡U45UU492(15H0幅牝51204顶创ZUIEEEflD44
22、8D53JDS540E2nD53004*40JEdO4Thi17轴8053m120ssoo51205280GOODS6C04940lUGLdllSIbU込0価u腹DdUItt)44IIUbttiCJSlIbU195M05PM船副)490059005020舫004顾53DDso翻QU5ZZV(Ifl5ZZV5(MD伦D50 UD5UDD1Wffl4B烈輛40輻WS12D5K01SB0斗瞬0431?Sudu4BN5tiUiAii51UD5饋0忸04WU气(MU23S5aD4&JD4B2OSi 404仙51BDBl07004bDDSJ4Ub缈4uin)b14UIttLDb44(J4MVU44bU4U
23、UIISIIIUSSII4I57IIUdSJU山dDJttlllUbiimiSJ?II底 fTl呵町* 丨 T|I 口I D Iij応Ikd剋血I圈鯉Ml诚辰启以1御爲 回囲尼庇teteladudil蜡胎dUJiff吕魁 Icsluilail 凶囲 L-Ipa erDaUlt Him Y值输入(点击B( Y),然后按住(Y),松开SHIFT键,点击 ADD 键。waterfall点击图中下方工具栏的waterfall=1 Aliqi甸亟|也1则eiYjCIVU(YEMm 1GMH(YJ 1IfVJJY) 11EQOO552053205680SIdQ5H&568051004d2QS4UII52U
24、U4bJU価IIMPU4VII0石齐411S2eii3550048药5340giiiol&J405)004305unuA5啊Q54(W4M0壷005(HD180(11740棉枷190n颈0SIGH00405c?nWD41 nnncnn泗口BQQD4SM5140MJM&JIUL540144GQ5niiD4Bfi755(104960&zgo5080郦D53D556D518(48BDE5960SD6D6060d8052eD594DBOBOS2006ZDDySbGU曲IIUb1UB*04GtU4GUUmmin5LZ0S4)2(114!a)4日604HUDSStfU4H2(JS32uJ1157G05S4
25、06380帕肺5咖512&5K051flC47BQ1?*孤flanno53(1(1D俪D血(1051(1(57BnnU4D518051005020顿D!jJZD5)0052204JBUH53205戏Q弓旺05G2U57 OD伸和IftZQ5倔19BDlfij5B80窕45(n4920E1dD13105120I3D50ZDlfiSRBQ44NI5PJU舟40剧山5JHa4B4(14U(I47flA174uau5105b UO讥ED毙盹50 UD耐(IqiHLlJ8BEOOsiefi2604760E22D438DMDQSGSOSOED19bd4U52311帧IId3UUbguubU204gUUdU
26、UUJUUFnbJdO4Lt40S?fl4?unb地404(14闘UblUllSOhUZI54004SZ048404300512Q.532016SQJtaD492Q2250QO4DD05?G0他0Q30D函D個0帕D5040SIBnnn和釧啲(I51411昭PUMO帀0570(14Gnn2453呢U)4Q00512051*4他5他40 eo41bD54500引W6500魂no牺和冏和19Q05WD吕髯0T1卡-1 |T|/|r-|z|aIo|*11 . 叩叫 H I * .rLSrliwI. r-.ll ihiirv H. -p Ttjll 曲 亦i-1 Eile E如I jtJ TV 212
27、nl!P i;ialvj & bolt 血门时.里iiU.怙 H?lr然后在下图中 先输入X轴起始值及步长,再将SHIFT键不放,再点击最后一个丫值选项:如点击0K得到下图:莎冈谱图修改工具 栏cycle 数OFFSET视角_ i4aBlammt冶 皿. y:Y J占n颜色代 表字母, 对应于IL*44J选 项Waturall OpOon*前后翻转工具,用上法作图, 得到的谱图需翻转oe比a决定YOFFSET 两条谱线间距决定*113*srH3C a c ttftEdit 1 l?aijiJyii ,J jiJ.5Wgrna 七 辽:讯“_JJelpI囲覆巳囱I浮启喝口161墜圈圍回風iT回撇
28、區目昱BI囲贬囲|gRTqI申 土卜-I丁 / 爪|/|口|总 Hi r-T nriDiMVg应用修改工具得:(X OFFSET 设为0, 丫 OFFSET 设为100)注意谱线对应的CYCLE 数C= YPDCuncntj-and Scttin3b口oncllrDocuicnt:rUllT ITLLDfGraphll*pli 11*1-1 AnTiiiI囲脸肚副岱危團第I圈日旧I sial圍启|剧 卩|回 撇除刨 睾囲茁 副&viM9 ri pdbint-RteiWrf-M- Qlilnl mi Ahea.羽LE IJ2十田:W 丁 / r-|/|alqjl_k|M蝕囲匡I世胁恤I目目直1對
29、附弹剧困底|回刽歴虺|如如固览口fill汕毗屁TEiiii*jn用如果想要得到其中某一个cycle的谱图,只要调出原来的 worksheet (数据表),再次点击 waterfall。输入X轴数据,然后只选一组 丫轴数据(和多元素分析一样),就可以了。g6*XPS分峰的分析实例注:不同样品同种 元素比较也可以用此种方法三、谱图解叠:和多元素分析步骤一样, 经过平滑、位移,得到下图:(注:画图时,先输入X轴步长等 再输入丫轴数据)i4 IE-1L1.M.Tairn七 HTl H-daA Ktnnlpl磺I钮1圃沱1企lai圖 申lLaLl回旦J齬列 囱戸1一闯 U1 血I列利eu 團 BI逼lg
30、l雪1煙IIIIk:iJUU V1 MOVlaooMEHiaMB17Nl * 口口I i I - I 于J 产 Irp*”I Q judududutiudBeltoflUi|i* iftifc IwJ-|iiteic3iesfe teib 駄 1 g 1绘ii苗也弓 n-d E 4It- Gbl y1*.R fej_iHtbL*H IP2、1、去本底:选择 tools baselineI 111 JI- n lAwnffrnn圭I l1/ 云i 厂二仲 二11 五*飞p.idFLH tvItv ylF=|库|m AJI L I曰 I 爭iisMeij j;4| 貝lealaai 尉,0If 心
31、 TiXc.7-pis- hh rIS 社山bgLh PL- Si -i-i flL-.lv FQVtLip * ! TlidiL-rtvifk uj + I 3 I I. I F i T 产 Iff / I 0| ILTlLdkj匕 1Ii|M|&: lilli|*1E Fai-n *4tf*3 p圖 &ralEil曲IBI旦也圍旦B :怖1旦 国1日 AJI ilifel 楝I 际IBI 朗曰 1岳1551 旦|gjl II2*ODC -,珂口HD -1DOO =I bODC;=I 冲口dc -I3口口0 -1bOOO -aooo -ZlCr&ntA RLa-gd-Hj-hArifle h
32、wIW血*iO悶4X Axiq. titirrr; 立-W * J 出Pee I Fl IJfl *4 lim l-tfKI !*S*fK讥j + 1 由 土 I r| 丿|宀|/|口|015、拖动每一点到合适的位置(点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置):如图I 空J El 1 出 C.J3 t /d M a 43ierh宣knd. 比*1 屮1世1醴|曲hb|出I总ill_jtfj史I适IbNTI寸I Pl冃1星11虽:-j列 企I巫ICB口1區I6bJ ebIQI |umiMiJI扣el*r4tablr wlhim th!i iMi iW 1 Im6430X -ixH mi fLdal+r
33、S 1T| 丿 I 宀| ”丨 cup ldlc:|yM4kJtJ:|llU!Lh|LiM H 血 冏|4蘭西ItsIliSlItavmi国|Lh|uMbdLj|B h-L 】_G .KI*呂I Eli 占 E.-3-. t vj M Qr bi-.343 lavEi E Hal. rat 宣 5d.M ui._h|_LJdlliabib|dfcdllbal_Lmf|w|BME| 审|_国|冃| 崗 | _勺海loal 炉| 踪i圜j 刮 口.1琵1閑 gal型竺一一二運A nr d|+|E3 * 卜:TT|r| X 口 dl I啞udy_kdlUdu|llU!|Lh|Liii|fc H 血
34、L|g|.l|ld4t5lBS|t5|ieh!Si.M|lX|LMLMuMbC|Lj|tB bl l _昭 k7、分别点击X轴、丫轴将坐标更换为原来顺序和数值:iRvno0 ri:e Q-Lii t Tie* 車远,hhnFyMs 口 i FfirMi Ti;n4r 3*1Bl囲密:si色I因迺冏 BficL *1 I nDi?O14 go那型 V.J4 nua-LllZ-C 匚8*化5 d JLOa jtv .I ZDDC1MDOOr I . Li El J “ nNI I . Kaxiiririiih. IIII只 iiFFif ErpfrEFnu a ilhMl t S: cn 3 lL
35、Ka t CwuETiAziMl L.brp*-h+n -flkJ4|.-| llHi.u M CiT? 4S Fa 12DO3 -4舟0X flKisHflJ里勾圖I丄| r|电1爭I昭S|里J貝庙也目目I创ILor Hi. ra tc,J 巧:P吕I * I 田片 I 诃-r I 卢 I e| / I Ed 1匕|:|吒|虹|也|氐|趣顺|區|鼻|1*|?01|込1团|西|:1|四|帖宜|迎|5阳|11锂1口|nuJlkX Cuhli.Uk Pit *44 电l F丄 l_H<hL*a 11vov9、出现下面的窗口:按需要拟合的子峰个数输入Number of PeaksOKCancel
36、 |10、点击ok,得到:Iniiial haH width eslimatc:如图11、点击OK默认选择,根据谱图的形状 双击选择子峰位置(红十字代表峰顶)XPS分峰的分析实例I”刖OiM 歹mJ 1乍:日 C 山 It卯*时 J 畔止 口*匕1 la:Eu山“ IJoliBoi甜正Bl田画囱11禺质旧I呈1曲日I ffli曰I晶11I割 承I孔El里J曰岳lea囲|0I事t 4 Jll uplvr阳A - 5J4.5905H. . - 11946.5J*?IbDuO FHDOO -1 2Da-lOMC =ADR -CDM - DM =A2DIJO -o*zr也o0OWJ3 3flXMfi
37、htigarr 田 Y wiF 列 w口oUJU:IW虹山屋I理ibilUifefelWia型血屈I囚止画QilLLl鮭-s-k La-r- ;a9 皿t.A卜kJ”4t 丄;片 *fhL4 11VOV12、刚才设置为两个子峰,所以双击两个位置,这时电脑自动计算出相关数据:如果想要看拟合后的曲线,需激活(调出)谱图窗口。然后,选择analysis non liner curve fit如图:liUkM。WIZMS1ft ODO1 丄 macI2D041 |:|口|:|Dbun -bOiJO -h亠53a5 4DS=S5- 15 1 J.MJU 卜 11 iJ.P m即 ri )3血金 Jk J 1.屮r I r Litna 廿 F -L E T-rd =心4aaSjinpl H. +K 5f* BOl bxA* rrv Kiij I -tStx hUL it- kHKLAI *C Id r _ hC D 峪盯丹Y、?DR-? r兰孑|:* Ed 出 Z 5f XpH it 斗匹门“Ol囲儘1因因画OJArtoi. ipz.-* rxiTWi-sTzz 皿 u *wl m .FPa t rrpa*BiiP J _匸 GraLhP J % S7H T G Ma Tl X-HFa X. 0| J 杠F . 11 J Jc引圆I l珂创 制命I回1辿J BIE551 E
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