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文档简介
1、B包.台式电镜(含能谱)台式电镜+能谱1. 运行环境1.1. 环境温度:22C25C1.2. 相对湿度:w 80%2. 用途:可移动式桌面型材料微观分析仪,对金属材 料、非金属材料、无机材料、有机化合物、 陶瓷材料、半导体材料、化学材料、生物类 样品等进行表面微观形貌、组织分布、成分 分析。3. 整套设备原装进口,设备组成:由台式电镜王机、二级电磁透镜系统、真空 系统、样品室及自动样品台、咼真空二次电 子探测器(SE、高真空背散射电子探测器(BSE、牛津电制冷X射线能谱仪、控制系 统、离子溅射仪、光学减振台等部分组成。4. 技术指标4.1电子光学系统4.1.1电子枪:发叉式钨丝阴极 4.1.2
2、分辨率:高真空二次电子像 < 5.0nm 30kV SE 4.1.3加速电压范围:1kV 30kV (30档连 续可调) 4.1.4放大倍数范围:20X 150, 000X,连 续可调 4.1.5三级电磁透镜系统:二级聚光镜+物 镜,二级电磁透镜系统。4.2真空系统4.2.1抽真空系统:涡轮分子泵+机械泵, 不需要冷却水4.2.2样品室最高真空度:优于4X103Pa4.2.3抽真空时间:w 2分钟 4.3自动样品台:三轴马达驱动,X >35mm,Y >35mm,T (045° ) 4.4 SE探测器:高真空二次电子探测器(SE 1 套; 4.5 BSE探测器:高真空
3、背散射电子探测 器(BSE 1套;4.6不少于6个接口,配备X射线能谱仪接口 4.6图像处理系统4.6.1配套计算机系统:不低于 CPU主频3.0GHz, RAMBG 硬盘1T,光盘刻录机,24 液晶显示屏,键盘,鼠标,USE接口1台462存储图像格式:TIFF、BMP与 JPEG463 图像模式(像素):RED选区(320X 240), TV( 640X 480), SLO(800X 600), Photo (1280X 960,2560 X 1920,5120 X 3840).4.7能谱仪(EDS部分技术指标4.7.1 该设备可与台式扫描电镜配套使 用,用于材料的微区成分分析4.7.2技术
4、指标及配置4.7.2.1 探测器:分析型SDD硅漂移电制 冷探测器,20mm有效面积,超薄窗设计,无 需液氮冷却,仅消耗电能.4.7.2.2 能量分辨率:Mn Ka保证优于 129eV,元素分析范围:B5Pu944.7.2.3 圆形对称芯片,最大程度地减少 低能端的能量损失4.7.2.4 FET场效应管同阳极独立封装,避 免X射线的轰击4.7.2.5 谱峰稳定性:1,000cps到 100,000cps,Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV 4.7.2.6具备零峰修正功能,可以快速稳定 谱峰,开机后无需重新修正峰位。4.2.7.8 脉冲处理器与图形处理器均与 计算机米用分立式设计。4.2.7.9 能
5、谱应用软件米用最新的AZtecOne平台,基于 Win7技术,多 线程设计,导航器界面4.2.7.10 高帽滤波法,自动扣除背底4.2.7.11 谱定性分析:可自动标识谱峰, 可进行谱重构,对重叠峰进行手动峰 剥离4.2.7.12 定量分析:米用XPP定量修正 技术,对探测器硬件进行的全面 Q-CAL修正。4.2.7.13 图像分辨率最高可达 2048*2048, 元素面分布图分辨率最咼可达 1024*1024。4.2.7.14 具备全谱面分布分析功能。一 次面分布分析即可存储每一扫描位置 (x, y)的所有元素的信息,用户随后 可以在离线状态下从图像上的任何位 置重建谱图和面分布图.并可在任
6、意 位置重构线扫描结果。4.2.7.15 具备全谱线扫描分析功能。一次线扫描分析即可存储所有元素的信 息。427.16可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上,并以该图为中心做微区分析。4.2.7.17制造符合IS09001标准4.8原装进口离子溅射仪4.8.1自动真空控制,条件设置简单,可以实现快速抽真空(2min);4.8.2完成镀膜后可以自动卸载真空。4.8.3旋片式机械真空泵:100L/min(60Hz)4.8.4靶的尺寸:直径50mm4.8.5样品室内径:100mm4.8.6离子流控制范围:19mA4.9控制系统4.9.1基于操作系统 Windows7的电镜操作控制软件4.9.2自动控制功
7、能:电子枪饱和/电子枪对 中/电子枪偏压/亮度对比度/聚焦4.10、图像处理分析软件4.10.1图像标注编辑存储4.10.2长度、角度,面积等测量功能4.10.3实时图像灰度直方图显示5、产品配置要求5.1主机系统1套5.2真空系统1套5.3自动样品台1套5.4 SE探测器:高真空二次电子探测器(SE)1套;5.5 BSE探测器:高真空背散射电子探测器(BSE 1 套;5.6三级电磁透镜电子光学系统1套;5.7电镜控制系统1套5.8牛津电制冷X射线能谱仪1套5.9原装进口离子溅射仪1套5.10电子枪灯丝50支5.11其它必备备品备件1套5.12光学减振台1套5.13制样附件:5.13.1、金相
8、试样切割机主要参数:最大切割截面:85X 85mm转速:2800r/min;砂轮片规格:300X 2X 32mm电 动 机:Y100L2-2, 3kV,380V, 50Hz5.13.2、双速金相试样磨抛机.主要参数:磨抛盘直径:230mm;砂纸直径:230mm转速:500 r/min , 1000 r/min;电动 机:YS7124 0.55KW 380V, 50Hz5.13.3、电解抛光腐蚀仪技术参数:电流强度调节范围:05A (32V DC);时间精度:1S (默认时间设定90S); 不耐酸锈钢标准谷器组,电腐蚀圈大小:10;配不锈钢容器。6.技术服务:6.1设备安装调试:电镜到货后,根据买方的 时间安排,卖方尽快安排仪器的安装调试和 验收。6.2技术培训6.2.1标准培训:仪器安装调试后,安装工 程师对用户操作人员进行不少于 3天的现场 操作培训。技术人员使用3-6个月后,需免 费安排23人到应用实验室进行咼层次的应 用培训。6.2.2提供终身免费培训:在仪器使用期内, 提供不限时间,不限名额的终身免费培训。6.3保修期:提供一年保修服务,保修期从仪 器验收合格、双方签署验收报告之日算起。 保修期内,仪器的零配件费用、人工费用
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