激光干涉仪的镭射使用校验操作方式讲解

1、API激光干涉仪直线轴使用校验操作方法二、FANUC Oi系列CNC数控系统定位精度误差补偿2.1螺距误差及反向间隙补偿参数介绍：直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有：(1NO.1320各轴的正向软限位。(2NO.1321各轴的负向软限位。(3No.1800#4切削进给和快速进给是否分别进行反向间隙补偿,0:否、1:是。(4NO.1851各轴的切削进给反向间隙补偿量，单位 叩。(5NO.1852各轴的快速进给反向间隙补偿量，单位ym。(6NO.3620各轴参考点的螺距误差补偿号码，范围:01023。(7NO.3621各轴负方向最远端的螺距误差补偿号码，范围:01023。(8NO.3622各轴正

2、方向最远端的螺距误差补偿号码，范围:01023。(9NO.3623各轴螺距误差补偿倍率，范围:0100。注释:存在不规律现象,视设备出厂设置倍率为一倍，除去被厂商锁定的情况，下文会针对常见数设 备倍率的选择做出解释。(10NO.3624各轴螺距误差补偿点的间距，即螺距，范围:099999999.(11No.8135#0 NPE使用存储型螺距误差补偿，此参数可以屏蔽螺距误差功能2.2补偿前的准备工作(1查看上述所介绍的参数，用以确定机台螺距误差补偿的地址及所需测量的各 轴的行程、螺距(数据采样的位置间隔，通过所需测量的行程与螺距来确定所需要采 样的点数。(2导入测试时使用的自动采样数据程式，需要

3、对机床进行预热，使机床达到正常 使用的热平衡状态。注释：不同螺距，不同行程的机台自动数据采样程式时是存在 区别的，但大同小异，下文会通过实例进行阐述。(3确定伺服电机位置环增益 XYZ各轴是否相同(参数1825, B系列电机一般情 况下3000左右，a系列电机一般5000左右。(4对激光干涉进行预热。激光干涉在进行预热状态时，激光会不间断的闪烁。通过RJ45网络通讯协议，与PC链接好后,PC此时会显示未就绪来提示，当激光干涉 预热完成后，激光停止闪烁,PC页面提示路径错误，此时激光干涉仪预热完成。(5架设干涉仪镜组架。通过大丸RM600立式加工中心实例程式做以下解释。O0001主程序名G28G

4、0X0.返回X轴参考点G91采用增量方式进给G4X1.暂停1秒G0X2.0正方向越程2毫米G4X1.暂停1秒G0X-2.返回2毫米,此为消除起步时的反向间隙 G4X4.暂停4秒,开始第一点采M98P02L25调用子程序2号程式，调用25次G91采用增量方式进给G0X-2.负方向越程2毫米G4X1.暂停1秒G0X2.返回2毫米G4X4.暂停4秒M98P03L25调用子程序2号程式，调用25次M99返回程序00002子程序名G91采用增量方式进给G0X-25.负方向移动25毫米，此为螺距G4X4.暂停4秒M99返回程序00003子程序名G91采用增量方式进给G0X25.正方向移动25毫米，此为螺距

5、G4X4.暂停4秒M99返回程序注释:程序说明程序中有关小数点部分，可视情况选择加与不加，请查看参数3401#0。G0X2.、G0X-2.;是X轴回原点后，先往X轴正向移动2mm,再往X轴负向移动2mm,此动作是因回原点后，机器轴会有反向间隙产生，所以设定一个消除反向间隙的 动作，可以视不同情况增大移动量。G4 X4.是在每次移动后,将暂停4秒的指令,以方便定位时PC进行数据采集。 M98为子程序呼叫指令。P02为呼叫子程序之代号。L25为呼叫子程序之循环次数,25次。M99则是反复循环之指令。因为机台各轴向行程都不一定，所以在所实际操作时可灵活改变程序数值。以上程序是以X轴行程做实例，将行程

6、换算成干涉仪定位的点数如下：X轴行程为630mm,以25mm作为量测间距，所以就600除以25等于25点涂下 5mm部分无法进行补偿，所以所需点数将为25点。2.3操作实例参数部分2.3.1确定机台参数机台参数如下：(11320 +X 1.000+Y xxxxxxxxxx+Z xxxxxxxxxx为各轴正向最大极限由于在回原点后将做消除反向间隙之动作，所以最大极限要开至2mm以上。(21321 咲 630.000-Y xxxxxxxxxx-Z xxxxxxxxxx为各轴负向最大极限X轴总行程为627mm所以测试过程中无需外扩行程，即可完成消除反向间隙之 动作。(31851 X出厂时补正数值Y略

7、Z略为各轴G01(切削进给反向间隙补正量在量测完数值输入完成后，再把各轴反向间隙数值输入进去(注释:可以累加测 量后的反向间隙量也可清零后再测量直接补偿进去(41852 X出厂时补正数值Y略Z略为各轴G00(快速定位反向间隙补正量在量测完数值输入完成后，再把各轴背隙数值输入进去(注释:可以累加测量后 的反向间隙量也可清零后再测量直接补偿进去(53620 X 25Y略Z略为各轴基准点，也就是之前换算出来之点数(63621 X 1Y略Z略为各轴补尝之最小点，以倒补方法来说,最小点都是为1(73622 X 26Y略Z略为各轴最大补偿点也就是要把第一点基准点加入，如需测25定位点，将把第一个基准点加入

8、，之所 以设定为26点。(83623 X 1Y略为各轴Pitch error补偿之倍率(93624 X 25.000Y略Z略为各轴量测间距此范例将为25mm打一点之所以设定为25.000注释:在Pitch error补偿中都是以 叩为一个单位，最大补正值为7。大于7后 将改变参数3623里的值来做补正，如补正数据表中给出的是12,则将3623改为2对 应补偿号码里应同时减小一倍的补偿量。2.3.2机台运行与激光干涉仪架设部分1. 导入程式这里阐述通过CF卡对程式的导入。1首先在MDI状态下打开参数可写保护(如图2.1,1/0通道设定为4,表示通过M-CARD进行数据交换，在插拔CF卡时尽可能使

9、关机状态下进行图2.12改变模式为编辑模式。按下PROG功能键，紧接着选择列表，再按操作键之后扩展会显示出来设备选择，紧接着选择M-卡，选择F输入。F设定为存储在CF 卡中的程序的编号，0设定为导入CNC系统中的程序编号设置好后执行导入即可。 不同的系统程序导入的方式会存在一些不同，0i-mc与Oi-md就存在区别但大同小 异，一般生产线上的干部会很熟练的对加工程式的的导入与传出，在导入程式的过程中如遇到一些问题可以随时请教，这里就不再详悉作出解释。2. 运行自动采样程式预热CNC机台选择MEM自动运行模式，调用程式，运行程式即可，预热过程也是验证程式的过 程，在运行过程中一点要注意运行中的机

10、械坐标，是否与自己编程所想的状态运行，以 免在测试过程中导致激光干涉仪部件的损坏。3. 架设预热激光干涉仪并建立数据通讯协议1打卡工具箱,取出激光干涉仪，牢靠固定在机床的一侧；2先连接气象站与网线的通讯，对于气象站只需要插好快速接口即可，对于PC与 机关干涉仪的连接网线，要选择固定的IP地址,一般为IP为192,168,0,1;3连接电源线，打开电源开关即可；4待激光干涉仪光线稳定后，计算机界面会提示路径出错，（如图2.2;图2.2干涉仪预热完成此时即可架设干涉仪镜组，当光线路径满足要求后，即完成了整个准备过程，此时 计算机界面如图2.3（此设备为三维测量装置图2.3预热完成状态4. XD L

11、aser V6.1系统的使用及常用参数介绍1XD Laser V6.1系统的安装每台激光干涉仪都会带有一个优盘，在优盘里都会有安装程序、使用说明书及 次台设备的检验参数。拷贝到PC中安装应用程序即可。2 3D激光干涉仪的主要参数设置图2.3为工作页面即主屏幕,我们单击XD会弹出测量设置对话框如图2.4图2.4测量设置对话框1 3D:在测量设置对话框里系统选项会默认为3D;2双向:方向为双向自动运行采样；3机器信息:根据实际机台编号设置即可；4起点与终点：机床测量运动的起点为测量的起点，终点为测量的终点；5增量:即为螺距，由参数3624决定；6触发窗口 ：可以根据情况进行设定，机台误差过大的情况

12、下，可适当增大。7运行次数:运行4次是指自动运行来回采样4次；8驻留时间:采样信息中的驻留时间，为程序中的暂停时间，用于采样,设置必须一9自动采样时间：40%为4秒中的最后40%的时间用于数据采样；10增大与减小：激光传感器距离里的增大还是减小要根据实际情况选择，取决于激光发射器与镜组开始运行时的距离是增大还是减小；每次测量需要改变XD系统设置,点击图2.4里的改变系统设置选项，此时会弹 出XD系统设置修改选项即可，如图2.5所示图2.5 XD系统设置11公制:在单位精度选项里根据情况进行选择12激活状态：激活项,均是设备配有的选项；13相对湿度：由于对机台误差影响很小可以忽略，设置一个估计值

13、即可14膨胀系数:不同的材质是不同的，根据实际情况选择或手工设置定值即可，钢的膨胀系数为11.7:在传感器选项里，设置测量X轴各参数,如图2.6轴的线性关系。图2.6测试轴的线性设置对于未提及的其它参数可不做选择皆为默认，设置完后逐次保存即可。5自动运行采样逐级保存好设置会弹出对话框设置好文件名单击确定，此时会弹出是否激活超程，激活以后会跳转到信息采样界面，如图2.7图2.7数据采样设置完毕此时运行CNC机床,待程序运行到第一个 G4X4.暂停4秒时，按下循环暂停机床 运行开始第一点采样；点击如图2.7所示R进行复位，再点击S开始,等待第一点采 样完成按下循环启动，继续运行CNC,即可完成全过

14、程的自动采样，直到自动 保存时结束，复位CNC机台即可（MEM程序是无限循环下去的。2.4数据分析并进行反向间隙及螺距误差补偿通过系统提供的数据分析，可以直接进行FANUC数控的反向间隙补偿及螺距误差补偿1点击数据分析,2打开数据，3选择测量完成后自动保存的数据，4点击标准，一般选择ISO23021997,5点击工具，在下拉窗口里选择误差补偿表6在生成的线性误差补偿表对话框里，选择双向平均，以增量的方式，符号为正值 进行补偿，精确位数可视情况进行更改，一般为1。7记录下生成的螺距误差补偿数值,一一对应输入到CNC系统Pitch error数据 表里即可，可能存在数值大于7的情况，这样就需要修改

15、3623号参数。8快速进给反向间隙补偿到1852号参数里，反向间隙补偿量为Backlash Value 里值的大小，取整数补入即可9 XD Laser V6.1系统自动生成的螺距误差补偿值，如下表2.1红色部分数值，表 示应补偿到CNC系统中的螺距误差补偿值。Test Axis: (Xcomme nts: NoneAxis Unit: (mmError Un it: (micro nTable Type: Bidirecti onCompe nsatio n Type: In creme ntalRefere nee Positi on: 0 (mmCompe nsatio n Start:

16、0 (mmCompe nsatio n End: -625 (mmCompe nsatio n Spac ing: 25 (mmBacklash Value: 4.01729(micro n (ISO Mea n B reverse error is used as default valueError Compe nsati on ValueNo. Axis Positi on(mmBidirectio n (micro n0 0 0 01 -25 0.5 12 -50 -1.9 -23 -75 -1.4 -14 -100 0.3 05 -125 -0.7 -16 -150 2.2 27 -

17、175 1 18 -200 2 29 -225 2.5 310 -250 0.8 111 -275 3.4 312 -300 1.1 113 -325 2.5 314 -350 2.3 215 -375 1.3 116 -400 2.5 317 -425 1.3 118 -450 2.5 319 -4752220 -500 0.9 121 -525 1.4 122 -550 -0.1 023 -575 1.3 124 -600 -0.8 -125 -625 1.3 1表2.1螺距误差补偿数据表2.810对应CNC数控系统螺距误差补偿位置如图图2.8 CNC螺距误差补偿位置2.9（补偿前与2.1

18、0（补偿11 API实际测量补偿前与补偿后的精度数据如下图后。图2.9补偿前的采样数据图2.10补偿后的数据采样信息12 XD Laser V6.1系统对X轴补偿前与补偿后的数据 泄行对比分析如下图2.11,可以明显的看出轴的位置精度提高了很多图2.11补偿前后的数据比较分析，可以很大幅度的挺通过使用激光干涉仪进行机床系统的定位精度的误差补偿 高机床的加工制造性能。三、MITSXBISHI CNC数控系统定位精度误差补偿3.1有关螺距误差及反向间隙补偿参数介绍：直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有：1、2014 +X xxxxxxxxxx+Y xxxxxxxxxx+Z xxxxxxxxxx为各

19、轴正向最大极限由于在回原点后将做消除反向间隙之动作，之所以最大极限要加大几个毫米这 是根据机台与编程的实际情况来确定的。2、2013 xxxxxxxxxx-Y xxxxxxxxxx-Z xxxxxxxxxx为各轴负向最大极限，由于在负方向移动时，会有反向间隙产生X轴总行程为xxxxxxxxxx,之所以最大极限开至xxxxxxxxxx减小几个毫米，以 便消除反向间隙3、2011 XYZ为各轴G01反向间隙补正在量测完数值输入完成后，再把各轴反向间隙数值输入进去4、2012XYZ为各轴G00反向间隙补正在量测完数值输入完成后，再把各轴背隙数值输入进去5、4003XZ为各轴Pitch error为各

20、轴原点补偿位置6 4004XYZ为各轴Pitch error补尝位置最小点7、4005XYZ为各轴Pitch erro补尝位置最大点8、4006为各轴Pitch erro补偿之倍率9、4007XYZ为各轴量测间距即为螺距补偿的距离间隔XD3.2对于MITSXBISHI基本操作综述由于三菱数控系统类似于发那科数控系统机床，这里对于机台运动的过程与Laser V6.1系统的使用便不在详细介绍MEM运行程1、确定实际机台内部参数的数值，根据实际情况确定测量行程及式。附图3.1与图3.2 MITSXBISHI M70需查看的参数,图3.1反向间隙补偿值及机台各轴行程图3.2螺距误差补偿参数位置设置2、

21、导入至CNC程式预热CNC机台（程式与第二章节发那科系统的程式大致相 同稍作修改即可使用，取决于调用的次数与工作台行程的大小，还有螺距，套用程式格 式即可。3、架设镜组及预热激光干涉仪。4、数据采样,采样过程与发那克数控一样，先是CNC系统运行至开始采样的第 一点后，暂停CNC系统,PC侧开始采样，启动CNC系统后便会自动采样5、修改参数，三菱数控在修改参数时类似发那科数控，先要打开保护，密码mpara。6生成的数据报告，同样,一一对用补偿到对用的螺距误差补偿值里，附图3.3螺距误差补偿地址界面图3.3 X轴螺距误差补偿具体地址三菱系统的螺距误差补偿应根据 API Lin ear Error Compe nsation Table中的数据进行补正。四、BROTHER数控CNC数控系统定位精度误差补偿目前兄弟数控的螺