单晶硅拉制工安全操作规程_第1页
单晶硅拉制工安全操作规程_第2页
单晶硅拉制工安全操作规程_第3页
单晶硅拉制工安全操作规程_第4页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、 单晶硅拉制工安全操作规程1检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否敏捷匀称。假如过紧时调整炉膛上的密封圈，紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不敏捷匀称，则要更换密封圈。2真空泵运转的方向应按规定的方向旋转，否则可能引起机械泵油倒灌到集中泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时，应将真空泵和集中泵连接的塑料管拉掉，调整电动机旋转方向。3使用集中泵必需避开油的氧化。4封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同时检查炉膛内有没有多余物件。5增温前要开冷却水，并检查水是否畅流，以防烧坏设备。6运动部件如导轨、丝杠等常常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要常常用纱布酒精或甲苯擦洁净。采纳水冷

2、却要防止漏水生锈。7炉膛内要保持光亮清洁。，工作之后应准时清除氧化物，炉膛应常关闭。炉子不工作时，必需保持真空度，以使石墨件不受潮湿且能延长集中泵使用寿命。8密封圈和橡皮垫，切忌用油和酒精之类擦拭，也不得压得过紧。9先开主机箱风扇电动机使风扇转动，风向向上，说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发觉相序不对，风扇不转，应马上停止增热排解故障。10首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关，操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)。11主机箱中因有鼓风机振动，每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象，如有松动应马上拧紧。12操

3、纵台的边线有其相位关系，操纵台与回路之间也有同位关系，一经调好之后，就不要再动。检查修理时若要拆线必需做好标志，以免搞错。13用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后，要每块认真地检查有无氧化物，若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。14装料时必需检查石英坩埚有无裂纹，有无白点和气泡，装料要装稳。15籽晶必需装牢，也不得装歪(偏离轴心线不大于3)。16装炉时必需检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象，增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正，炉子漏气时不准熔硅。17掺杂时肯定要把籽晶提高，置于掺杂勺上方。18拉晶中途出了事故被迫停炉时，应把石墨托升到最高位置。19不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单

4、晶时，每炉多晶柱应分开使用，以利拉制凹凸阻单晶。20真空复合计的指示必需大于0133帕(0.001毫米汞柱)以上才能开硅管增热器进行测量，真空度要大于00133帕(0.0001毫米汞柱)才能进行除气，除气不能超过5分钟。21用自来水冷却时先打开7号水龙头(注：水龙头编号系依据设备详细状况确定)，再打开4号水龙头，最终开房内的总龙头(在开自来水之前要把调压开关关紧。6号水龙头也要关好)，即可使用。22用水泵时需看7号水龙头的流量，流量过大将调压开关开大，过小将调压开关关小，否则压力过大会损坏设备。23若水槽水温上升而自来水压力不够则按以下程序操作：(1)将5号水龙头打开，(2)将7号水龙头打开，炉内热水从地流出。24若发觉外压上升，应将房内总水龙头关掉，然后关水泵。当炉

人人文库> 全部分类> 应用文书 > 规章制度

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论