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文档简介
1、第一章设备说明2第二章设备规格3第三章安装环境要求4第四章安装时注意事项5第五章控制面盘说明7第六章操作面盘说明7第七章使用操作流程8第八章人机接口屏幕画面操作说明9第九章、设备保养与维护15第十章简易故障排除17第十一章恒流源说明19第十二章温控器操作说明21第十三章线路图23第一章设备说明1.1 、设备用途:本机是为感光印刷电路板做曝光而设计的1.2 、系统组成:曝光控制、光源、冷却、台面真空及电控系统1.3 、曝光控制:采用人机界面配合PLC控制,采用数字化设定的操作方式达到更精确的能量控制1.4 、光源系统:采用进口专用UVLE於光源(面阵光源)。1.5 、冷却系统:光源冷却采用水冷式
2、1.6 、真空系统:采用Mylar膜对玻璃配合真空系统之弓金大吸力,达到紧密贴合之效果1.7 、保护措施:异常信息警告及显示1.8 、操作要求:使用本设备之前,请详细阅读本操作与维护手册第二章设备规格型号LED-1200A(B)名称LED手动大台囿平行曝光机解析能力70/70um运行功率<5KW(双面曝光)LED使用寿命约2年LED冷却方式水冷式能量均匀度>85%后效曝光面积1200mmx650mm曝光时间湿膜约10s阻焊15s安装电力单相AC220V±5%50Hz10KVA冷却水15c20c尺寸(LXWKH)2400mm<1750mm<1700mm设备重量1
3、000KG第三章安装环境要求设备安装前,其安装环境务必按以下要求规范:3.1 、为方便设备将来保养及维护,安装设备时机器外围须距离墙面至少保持80cm。3.2 、环境温度要求:20±3。3.3 、环境湿度要求:50%-60%。3.4 、安装电力要求:AC220V±5%、50Hz、100A单相三线制。必须接安全地线。3.5 、安装冷却水:15c20C。3.6 、外形尺寸(LXWXH):2400mmx1750mmx1700mm3.7 、设备重量:约1000KG3.8 、因设备经过长途运输的震动影响,故安装设备前,请先确定设备的机械零件及螺丝、电气连接处及固定螺丝等,务必完好紧固
4、的前提下,再上电运行。第四章安装时注意事项设备安装时,请务必注意以下事项:4.1、 设备应交专业技术人员(电气技术员)负责安装与开通。4.2、 在上电安装时,请先确认断路器开关置于off位置。4.3、 请检查电源规格及容量是否与本设备要求之相符合,否则将发生无法动作或更严重的故障。4.4、 请勿将本设备安装在高温、多湿、灰尘多、腐蚀性瓦斯及易受到振动冲击等异常的环境,否则容易引起触电、火灾及损坏设备等事故。4.5、 安装时请注意不要将杂物以及雨水掉落在断路器的内部,否则容易引起设备损坏及无法操作等更严重的事故。4.6、 安装时请勿裸露接线端子,否则可能会引起触电。4.7、 设备接地端子请务必可
5、靠接地,以保证操作安全。4.8、 当断路器跳闸时,请在排除原因之后再重新上电,否则容易引起机器损坏。4.9、 如果此设备是安装漏电断路器的,若开关老是处在off的位置即表示故障,请和设备制造商售服联络处理。4.10、 在保养,维护时必须请专业人员切断电源,确认无通电的情形下再进行,否则容易引起触电。4.11、 如果此设备是安装漏电断路器,安装后请务必按下测试钮以便确认运转无误。4.12、 若断路器跳闸时,请先将开关切至off后再合至on位置。4.13、 装有漏电指示的断路器,因漏电而断路时,则漏电指示按钮凸出,若是再启动没有自动复位功能的断路器时,请自行将其按钮按下。4.14、 接线端子的螺丝
6、,必须仔细检查并拧紧。第五章控制面盘说明5.1、 电源灯:当电源开关开启时,电源灯亮。5.2、 控制电源开关:电源开关打开,PLC及人机界面呈待机状态。5.3、 人机界面5.3.1、 操作控制时的选择及开关。5.3.2、 参数资料设定。5.3.3、 异常显示。5.3.4、 感测器状态显示等等。5.4、 真空表:显示真空压力,当框架压力到达设定之真空度时开关。5.5、 温控器:用于检测曝光室及曝光灯的温度。5.6、 蜂鸣器:当设备有任何异常时,蜂鸣器发出报警声;当曝光完成后发出报警声。第六章操作面盘说明6.1、 急停开关:紧急停止按下,枢架移动停止。此时可用手动推动,曝光系统停止。6.2、 真空
7、ON:上、下框框架要抽真空,按此开关。在完成曝光后,真空即自动释放掉。6.3、 真空|off|:上、下框架如己抽真空,按此按钮,即真空释放。6.4、 框架前进:按下此按钮,上、下框架互换移到曝光区。第七章使用操作流程7.1、 打开总电源开关,电源灯亮。7.2、 冰水机开启。7.3、 打开控制面盘电源,PLC及人机界面呈待机状态。7.4、 人机接口显示基本操作画面,按|基本功能设定|曝光参数卜完成后,按|基本功能|,选择|曝光方式选择后如果下次使用一样,则无需再设定。7.5、 按基本操作,按启动键,启动后设备风扇运转,检查冷却水循环是否正常,如果正常,可正常工作。7.6、 放好底片及PCBS到适
8、当位置,关闭上框。注意:放置PCBS前玻璃面一定要保持清洁。7.7、 按下操作面盘上之真空ON按钮,并确定真空表达到所需之真空度,按下操作面板上面的框架前进按钮,送入曝光区曝光。7.8、 框架定位后,开始曝光,曝光时间到,真空释放,蜂鸣器响,表示曝光完成。7.9、 上、下框曝光方式一样,请重复68步骤操作即可。7.10、 停机操作方式:按下停机键后,再将总电源开关关闭。第八章人机接口屏幕画面操作说明8.1、 基本操作画面对话框(如下图)工作灯开关:用于控制台面日光灯的开关。启动:设备工作启动键,绿色时表示设备启动。停机:设备停止工作键,红色时表示设备停止。静止/复归:当设备发生异常时警报响,按
9、此键警报声停止。基本功能:进入基本功能画面。10个数字框分四组。分别对应上框与下框:曝光能量设定的值;曝光强度设定的值。工作灯开关辞音/复归基本功能翼型 工际轨 mJ 0 mJ(I mJ 0 mJmJ o mJ的 mJ 0 mJ欢迎使用威创新设备电送:&75S-333628蝌*.酣鲫工工加藕水蜒环基4Jif.136C2634787玲口$3舞$627革羯工业三段8黑8.2、 曝光方式选择画面对话框在基本功能画面对话框,按“曝光方式选择”按键,即进入如下对话框。(如下图)真空曝光:真空、破真空曝光选择键。上灯曝光:选择框架上面曝光。双灯曝光:选择框架双面曝光。下灯曝光:选择框架下面曝光。框
10、架自动:框架自动运行键。框架半自动:框架半自动动行键,需按框架运行开关。框架手动:框架手动操作键。基本操作:进入基本操作画面。基本功能:进入基本功能画面。8.3、 基本功能画面对话框(如下图)在基本操作画面对话框,按“基本功能”按键,即进入如下对话框。基本功能画面共有6个按扭。基本操作画面:按下此按扭,即进入“基本操作画面”。I/O状态画面:按下此按扭,即进入“I/O状态画面”。异常履历状态画面:按下此按扭,即进入“故障显示画面”。曝光方式选择画面:按下此按扭,即进入“曝光方式选择画面”。曝光能量选择画面:按下此按扭,即进入“曝光能量选择画面”。LED灯使用状态画面:按下此按扭,即进入“LED
11、灯使用状态画面”8.4、 曝光参数选择对话框在基本功能画面对话框,按“曝光参数设定”按键,即进入如下对话框。(如下图)基本操作:点击返回到基本操作画面。基本功能:点击返回到基本功能画面。CHICH2CH3CH4曝光能量选才i频道,共4个频道供选择,绿色表示选中。LED输出设定:上下框曝光时LED输出百分比设定。能量 设定CHIEC113C114-11 - 11 11上框上灯0000nJ上框下灯0000mJ下框上灯0000nJ卜框下灯0000mJLED檎出出设I- #£ 80. 3 %下框 35.0 %玳话:0/55 33933628篇4r堀脚轮S用加水由於癖耀等邂话73聿淑造/取停#
12、 855T工处立葭7承想*际二莅&梅基本功能基本操作8.5、 I/O检测画面(感测器监控画面)在基本功能画面话框,按“I/O状态画面”按键,即进入如下对话框。(如下图)基本操作:按下此按扭,即进入“基本操作画面”。基本功能:按下此按扭,即进入“基本功能画面”。钮钮钮篇常知知仙知按按按异异检检检检止逆动放常常度度速枚速枚合咎空空停访后也异界愠馍减守M定JFtt真亶急集空空灯灯灯灯相框框桩怆枢植也维框真直上F上F上上F下上卜上下012*45678901234bDOoocloaoooooOQMWooo00lOLnlu1XXXXXXXXXKXXXXXX00。qQaso©O.XL0UX
13、-11011102AxiD3G'XIOIg工口hOiX:06,工LEWQX1D9Ohio0X112SXL13叁工.QlXUS台面11度舁常湾却水流异常变颊器异常上框真空过峨F幅出空过载上灯具机过堂下灯风机抻装机台冷和纳班上灯温度控制下灯珥度F*制Qyou。Qyoui*也OJY003QiYOtMJY制6YOO(i午0前®YC10BYOOSYOIOQt:hIY012曼Y0130JYO14上真空4达下真空马达上灯电舞下灯由诲上灯点灯下灯点灯标果前训相颦后用框长城施框架刹脸日光灯峰鸣器上灯冷却以机F灯冷却总机机台售却风鬲8.6、 异常履历画面此画面是对以往设备异常情况的记录。基本操作
14、:按下此按扭,即进入“基本操作画面”。基本功能:按下此按扭,即进入“基本功能画面”。静音/复位:按下此按扭,即清除以往异常内容的全部记录。范本操作静音/品JH基本功能异常内容显示第九章、设备保养与维护9.1、基本保养项目序名称保养项目注意事项及处理意见1镜片定期表面清洁检查清洁时确保表面/、能刮伤2框架玻璃时常清洁检查刮伤或过脏无法清洁时请更换新品4框架迫紧漏气或老化时更换新品真空度来判断5框架真空迫紧圈漏气或老化时更换新品真空度来判断6真空泵进气过滤网每月检查,如有粉层时,拆下过滤网清洁如有异声或真空度无法达到请更换新品。7控制零件定期检查控制零件的状态出现故障时更换8台面输送每半年张力调整
15、无法达到张力时需更换新品9台面定位开关每个月检查定位是否止确如开关有异常时请更换新品9.2、 PLC维护概要9.2.1、 本设备采用OMRON1号之PLG其电源模组备有AC型号电源用AC100-240V规格,内置DC24V电源,当动作有问题可依照输入输出I/O点比照,能快捷的找出故障点。9.2.2、 PLC的I/O接口电源要求很高,请务必配置POWERUPPLYY提供的DC24V否则将出现异常。9.2.3、 各模组要正确联接,当联接有问题时,会造成PLC产生错误信号不能正常工作。9.2.4、 输入信号要正确,输入为24V/DC,在输入端及输入共通点均要求电压为24V/DC,且保证输入指示灯要亮
16、。9.2.5、 软体的逻辑程序要正确,当PROGRAM辑完成后,不可擅自修改软体,以免资料产生错误动作,破坏原有系统。9.2.6、 内部RAM保持电池须有足够电力,一般在完全不使用时,内部的锂电池可维持二年以上的记忆。当需要更换电池时,请务必在五分钟内完成更换,否则内部程序将会消失。上注意:更换PLC内部锂电池时,请将旧锂电池拆掉后,必须在五分钟内装上新锂电池,否则内部程序将会全部消失,给您造成无法弥补的重大损失。第十章简易故障排除10.1、 故障现象:电源灯不亮,排除方法:检查总电源断路器及控制电源开关,如跳脱,请复归即可。10.2、 故障现象:LED温度异常,排除方法:冷却水循环是否运转。
17、检查电磁阀是否异常。10.3、 故障现象:台框无法移动。排除方法:上、下框门框是否关妥,如未关妥门,此sensoRf关未动作,台面是无法移动,请将门关妥即可。上、下框架都不在定位开关上,台框是无法移动的,将画面移到曝光方式选择画面,解除马达刹车,将台框用手推移到定位点位置即可。台面马达是否有故障,电机三相阻值是否平衡,对地是否短路。台面马达减速机、齿轮是否有故障。输送皮带、同步轮是否异常。10.4、 故障现象:曝光系统异常。排除方法:是否有异常故障显示。灯管接线是否接触不良。LED灯老化或不良。电磁开关是否接触不良。恒流源是否异常。10.5、 、故障现象:抽真空异常。排除方法:上、下框架是否定
18、位。 上、下框架门框是否关妥。 马达热保护器是否跳脱,如是请按复位钮即可。 真空电磁阀是否泄漏,无法关闭。 真空管路是否泄漏。 上、下台面迫紧是否老化或破裂。 上、下台面迫紧圈是否老化或泄漏。 真空泵是否故障。第十一章恒流源说明11.1 、安全要求为防止触电,非本公司授权人员,严禁拆开机箱。请勿自行确定在产品上使用或安装替代器件,或执行任何未经授权的修改。需维修时请将产品返回公司的维修部门进行维修,以确保其安全特性。产品内部无操作人员可正常使用之部件,若需维修服务,请联系接受过培训的专业人员。11.2、故障分析与排除故障现象原因分析排除方法通电后电源两输入电源线没接好检查电源线是否接触良好;数
19、字表LED不亮检查电源线是否接错。电源带大负载负载过载太人;或负减负载或换人功率电源或冲击性负载载冲击电流太大电源长期市载过重或环境不利时无输出散热不好,过热保护散热,请改善上述情况电源带较小负负载有短路或干扰情检查负载排除故障载时无输出况电源自身出现故障与维修单位联系解决11.2、 保养、维护a)日常维护、保养保持使用场所清洁干燥。定期进行电源机箱、面板的清洁工作,防止电源输入输出端口出现灰尘聚集现象。请勿在电源上放置较重的杂物和盛有液体的容器。应避免电源工作在周围有挥发性可燃液体、腐蚀性液体、导电纤维粉尘较多的场所。b)运行时的维护保养定期检查输入输出线以及接线端子的绝缘是否受损,若有损坏
20、请及时更换,以免触电。请勿将重物、工具等杂物压着电源线,以免电源线绝缘外皮磨破,造成裸线外露导电,致使人员受伤;并且勿将电源线置于人员往来频繁之处,以免造成危险。请勿在电源周围堆放杂物,以免堵塞电源通风孔。非专业人员请勿自行打开电源,以免造成人员受伤或设备受损。c)长期停用时的维护、保养如果电源长期在潮湿环境下放置,应先将电源置于干燥通风处去除机内潮气,再通电使用。第十二章温控器操作说明调整等级E5CZ温控器说明书-1AT执彳f/取消设定值0(仅限有EVENT功能的机种)设定值1(仅限有EVENT功能的机种)温度输入偏移值上限温度偏移值(选择非接触温度传感器时)下限温度偏移值(选择非接触温度传
21、感器时)通信写入(仅限有通信功能的机种)加热器电流监控单位:A(仅限有加热器断线报警功能的机种)加热器断线检出戟立:A(仅限有加热器断线报警功能的机种)J按口键运行操作等级.1秒以下.I调整等级按口=J®3秒以上按口键1秒以上按键(当按口键1秒以3秒以上上后显示会闪烁)初始设定等级氏7E但初始谀走菜单通拮谀走菜单0可切换(可切换至高级功能设定菜单)可切换1可切换(不可切换至高级功能设定菜单)可切换2不可切拱7、向切操限制以按键操作的设定变更 设定变更保护OFF:可以用按键操作来变更设定 CN:不可以用按键操作来变更设定保护等级运行/调整保护:可显示/变更:可显示:不可显示/不可转换菜单故障查找与排除通信设定等级按口键_1秒以下初始/通信保护显示1错误类型处理5Err输入异常检查输入接线是否错误,断线,短路及检查输入类型。EIH存储错误重新上电,显示依旧异常,则需更换温控器,如果恢复正常,可能是受噪音干扰。内部电路异常EEEC超出显示范围当控制范围大十显示范围也使过程情超出显示范围时明显不
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