ESD防静电介绍(精)

1、KONKA，慾血竺电灌公间_雲iML3ESD防静电知识讲解ESD防静电知识讲解一. 什么是静电放电(ESD)二、静电如何形成三半导体产品抗静电能力四、ESD的形响质量方式五、组件被ESD破坏之原因及型态六、ESD破坏分析七、静电防护八、各类常用静电防护材料九、各种静电标示警告十、制程对ESD之要求ESD防静輕识讲解_令.KONKA一、什么是静电放电(ESD)严寒的冬天-当您脫下暖和的毛衣，您会听到咋呼啪啪川 下燥的冷天当伸手去开车门或窗户会感到触电的感觉用手去抚摸家里的猫，您会发现猫竞然怒发冲冠 这些就是静电瞬间泄放(ESD)所主导产生的现象ESD-Elcctro Static Dischar

2、ge其实静电并不仅由人为才会产生 例如-空中对流的云层-沙漠中随风飘起的砂KONKA-Uih*二、静电如何形成静电足史戟嚴早发现的 种.电-外电其实是自从有人类以釆就影 I 响着人类的生活-公元前 640 年希搭哲学家 THACES (敝奇)把琥珀(Amber)率擦后发现可以吸附毛发而开始知道静电的存在胖电的形成导体具有可移动的电了或价电T T(Valence Electrons)在原 T*结构的放外层其受原了核(Nuclei)的束缚瑕小，当受到外 來电场的吸弓 I 而移动(产生电流)比类物质称为导体绝缘体鉄乏 I 哋之可移动的电尹或价电子的物质称为绝缘体KONKA1A山HJ1L_ESD防ES

3、D防静輕识讲解_令.ESD防静电知识讲解 _吞.以物体抗静电性来区分材质-导电性(Conducive)材质:表面电阻系数在 105ft square 以卞 林电衰减性(SonicDkMpalive)材质:衣更电阻系放介于 1051012D square-抗辭迫性(AniSlalic)材质:表直电阻系数介于 109 701212 square-绝缘体(Insulalor)材质:表面电阻枭数介子 1012Q square上物质产生静电大1誹列如下表其中愈正性与愈负性物质互相摩ESD防静电知识讲解_ 滋KONKAUihWIliUWoodKONKA擦产生之静电愈人Positive正性()Asbesim

4、AlumimimCottonIn OlsHaruiHumanHair LeadIhnd MkaNylonPaperRabbit FurSilkSlxlWoolMqyitivcAmber AccuucRayon Rraz .Sih-er Gold.Platinum Hard人适挖金白金多元脂PU緊亚氯方pvc3.金属层崩熔( (Metaliziition Burnout)由于过大的电流流经金属层并在较脆弱的地方产生，由于此种 破经常是伴随着接面短路或是氧化层短路之右发半故皿于所谓的 二次崩溃(Secondary Breakdown )c而其现象为斷路ESD防静电知识讲解ESD防静电知识讲解静电的

5、累积破坏负伤而行按面崩熔(Walking Wounded )K，但卜玫工即完金破坏其功能工 组件都能通过灣试夜到这些组件谥 行j变成党全失效。下面尼一ESD累积破坏的试验：应用前述HBM接线方式(仅略丈人体的电阻R2 I 5KQ)來 量测54S1631C试验紺牛：试验结果：材料:54763濟试前17883“PASS人体电容：lOOpf第次I-2883HAPASS毎次放电：50V第二次Z890J1APASS放电次敕:5次第三次17.89OjiAPASS激试点:Vin=Pin2 (A)第四次l=l.872mAFAILGND=PinKlB)第五次1=2147mAFAILKONKAism rfiiRK

6、iIESD防静电知识讲解七、静电防护 TFT- LCD设计的静电防护(治本方法)本方法乃是耶电防护最好的办法*但在设计TFT面板的抗胖迫 电路时，必須考虑到电路j热的影响、反应时间、最大电 压、能呈传导、寄生电容等等因子，故并非随心所欲可以办 到。因此静电防护仍必须靠-些治标的方法。静电防护的基本原则1避免静电产生2.疏导或中和所产生之静电3.屛蔽静电场逐一介绍说明如下：KONKAI 避免林电严生(A) 胡湿法 Woiwiring 冰气本身会有导电现象故可降低绝绿体表面电 阻达到静电葫护目的(B)抗静电涂布法(AWShHic Coaling) -有躬份溶浹町咬池 F 绿体責直译 低物故表面电阻

7、 达到林电防护的目的 但此种漁层日久会脫落而 渐渐失去其效果故必须考虑其有效期(C) 内部静电剂法(Imbedcd 八 mi xmcAgcni)这是在材料中加入具有 电性或吸湿性的物质，使其外层具有轻黴导电性。此方法可以不必芍 虑有效期但成本较高-2 疏与或中和静电法(A)疏导法(Bleed Off)典型的疏导法就是配带静电 mWriM Strap) 是将人体产生之肺电电 荷晤由导线将所产生之电琦传导出去通常静电环中会接 TMH 之播地电阻以保护人员工作之安全KONKAESD防静电知识讲解 _ESD防静电知识讲解Ilm.ElL公HlESD防静电知识讲解KONKA兰(B)中和法(Neutrali

8、zation)利用静电消除器(Ionizer)来释出正负离子以中和消涂茹电效应。目前常用的静电消除器有下列几种:枚射性静电消除器-使用放射性物 I 贞针或元素之辎射能来撞击空 气使之分裂成等重的正肉离了使弔比 loiter 必须加防护结构 其优点赴不霜电淙容易装置具有防炸功能：皱点是使用寿命短 (毎年史换)，必须與使用遇火警时杈龟险。b 高压前电效应涌除器 利书针点高压(5KV 左右)尖端牧电来电鬲 空气分子吐种裝置具有高效率及高安全性之特点所产生之电 流仅几c.感应静电效应消除器-这足利用带电物质之蔑电压(対接地点)來 电奧空气與子KONKAESD防静电知识讲解 _益3.扌屛蔽静电场(Fie

9、ld Shielding)此种方法乃利用 Famdy Cnge 之原理使静电场榭 W 融在容器之外围 图是-5KVFU 场 u 各种容器内测得的静电场右图是一庚蔽迫场之心ESD防静电知识讲解KONKA八、各类常用静电防护材料1静电环 由伸缩拉环内含IMcgaQ + IO%电阳之H线及接 头所构成。配带那电环时必须注意到：静电环必须与手紧密接触不可松脫或齐于衣袖上(b) 与接地之间必須保持 1MO 10%之电阻(c)接头必兔固定妥当当按沃未接地妥当时不得碰色材料2 抗静电材料(袋管管塞盒等)在材料上涂伤抗静电液使材料不会产生静电荷或仅产生微量的静电荷(通常在100V以卜)。此类材料衣血电阻要求f

10、fi1012Q square以F 静电消 散时间2sec使用此材，：(a)吐材料仅能防止本身产牛静电而却无法防止静电场破坏(b)表面涂层必须萼虑其有效期(c)一般匸业界会将此类产品制成粉红色ESD防静电担识讲解 _匸詮.驅題腰爲黑嬴矗时勺金 14 脅 105 C. 保护 +外弧去料线之标示： 弔于工具或材料匕已具有控制 ESDB潴驪附示：CAUTON yB-*C*O* c 并经 检定考试认证合格者方可从事该项工作2认证共分A、B C三级A级 各厂训练讲师、Coordinalor、稽核员及各工作区干部 皆需具备之。B级-各厂工作区之匆班线长QC人员均需具备之。C级般作业人另3虫新训练认证 凡经认定为认证资格已失效者（违反BSD规走 二次以上者）及所有人罚每年都必须接受虫新训练及认证ESD防静电知识讲解_儀稽垓1.日点检 由各ESD区域白行点检、记录，I