类金刚石薄膜论文：类金刚石薄膜PECVD表面形貌光学特性

1、【中文摘要】类金刚石(DLC)薄膜是一系列含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的非晶碳膜，具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀，高硬度、高电阻率、高透光率等独特的物理化学特性。不同工艺条件制备的DLC薄膜其禁带宽度一般在1-4eV、折射率在1.54-2.05之间变化。因此，利用DLC薄膜作为太阳能光伏电池的减反射膜和保护层不仅能提高其光电转化效率，而且在紫外线、高能粒子辐射等极其恶劣的环境下也能保持其良好的化学稳定性，具有广阔的应用前景。等离子体增强化学气相沉积(PECVD技术具有沉积温度低，选材广泛，可大面积生长等优点。有希望实现大面积沉积表面形貌和光学特性均优良的DLC薄膜。本文基于DL

2、C薄膜的生长机理、通过研究优化制备工艺条件，用射频等离子增强化学气相沉积技术以CH4为碳源,用高纯Ar气为载气,在硅100和玻璃衬底上，在室温条件下成功地制备出DLC薄膜。通过样品的拉曼光谱分析观察到DLC薄膜在1200cm(-1)-1700cm(-1)间的典型特征峰。利用AFM寸薄膜表面形貌分析发现所制备的薄膜表面均匀光滑致密，且随着溅射功率从100W提高到125W寸,薄膜的晶粒直径由8.018nm降到4.【英文摘要】DLCfilms(Diamond-likecarbonfilms)areamorphouscarbonfilmcontainingdiamond(sp3bonds)andgra

3、phite(sp2bonds),whichhasthewearability,thethermostable,theanti-corrosive,highdegreeofhardness,highelectronicresistivity,hightransmittaneeandotheruniquephysicalandchemicalproperties.Generally,theenergygapvariesintherangeof1-4eVandtherefractiveindexchangesfrom1.54to2.05ofDLCthinfilmspreparedindifferen

4、tconditions.BecauseDiamond-likecarboncangreatlyimpr.【关键词】类金刚石薄膜PECVD表面形貌光学特性【采买全文昱昱】139.9.38.848138.1.13.721同时提供论文写作定制和论文发表服务.保过包发.【说明】本文仅为中国学术文献总库合作提供，无涉版权。作者如有异议请与总库或学校联系。【英文关键词】Diamond-likecarbonfilmsPECVDSurfacemorphologyOpticalproperty【目录】PECV制备DLC薄膜的表面形貌和光学特性研究摘要5-7ABSTRACT-81绪论11-211.1引言111.2

5、薄膜的结构11-141.3DLC薄膜的应用14-171.3.1光学领域的应用151.3.2机械领域的应用15-161.3.3声学领域的应用161.3.4电学领域的应用16-171.3.5医学领域的应用171.4减反射膜原理17-191.5本文的立题依据、研究内容及目的19-212DLC薄膜的制备21-342.1DLC薄膜的制备21-242.1.1离子束沉积（IBD）212.1.2离子束辅助沉积（IBED）21-222.1.3射频溅射（RFS222.1.4磁控溅射（MS222.1.5真空阴极电弧沉积(VCAD22-232.1.6高强度直流电弧(HighCurrentDC-Arc)232.1.7直

6、流辉光放电等离子体化学气相沉积(DC-PECVD232.1.8电子回旋化学气相沉积(ECR-CVD23-242.2射频等离子体化学气相沉积法(RF-PECVD)简介242.3等离子体沉积CVD反应原理24-282.3.1辉光放电24-252.3.2等离子体的产生25-262.3.3自偏压的形成262.3.4等离子体的作用26-272.3.5PECVD沉积薄膜27-282.4等离子体化学气相沉积法制备DLC薄膜的生长机理介绍28-292.5薄膜的制备29-332.5.1射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD装置29-302.5.2衬底的准备302.5.3射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD制备DLC薄膜30-332.6本章小结33-343DLC薄膜的性能检测及结构、厚度和形貌分析34-423.1DLC薄膜薄膜的性能检测34-383.1.1薄膜厚度测试343.1.2双光束紫外-可见分光光度计34-363.1.3原子力显微(AFM表征363.1.4DLC薄膜拉曼(Raman)光谱测试36-373.1.5光致发光光谱的测试37-383.2DLC薄膜的结构特性分析38-393.3DLC薄膜的表面形貌(AFM分析39-403.4射频功率对DLC薄膜厚度的影响40-413.5本章小结41-424DLC薄膜的光学特性42-504.1射频功率对DLC