苏州纳米所综合考试要点

1、苏州纳米所综合培训要点笔记超净间管理规定超净间进入：进入超净间的用户 报名综合考试 参加培训 参加考试（通过） 填写门禁申请和超净间公约 获得授权穿一次性鞋套、指纹门禁、一次更衣、二次更衣（先戴手套，离开时先脱手套）、风淋室。关于区域管理：在相关工作区域作业，不要随意走动；非紧急情况严禁进入灰区；湿法腐蚀只能在清洗间进行；光刻间（104和105）限制人数，无工艺者请不要进入。关于设备未经平台规定的培训并考核合格及预约人员不得擅自操作任何设备未经许可，严禁挪动任何设备、仪器和装置关于微加工工艺之前必须进行网上预约。工艺取消：提前24小时取消工艺，不收取费用；提前12小时取消工艺，收取50%的费用

2、或200元违约费（取最低），其它情况收取全额费用。工艺加工前必须及时进行check in，工艺结束必须及时进行check out。关于行为规范管理未经许可，除待加工样品、光刻版外严禁带入任何物品在超净间内严禁吸烟、拍照、摄像、饮食、接打手机必须保持工作环境整洁有序在非紧急状况下，严禁使用应急设备和设施关于电脑1.设备配备电脑只能用于机器控制，严禁其他用途2.超净预约电脑只能用于工艺预约与审核，严禁其他用途3.一楼走廊电脑用于数据传输和照片拷贝，严禁其他用途关于预约时间1.工作时间（上午9:00-12:00，下午13:30-18:00）可以随时预约（仅限可以自己操作设备的用户）2.中午12:00

3、-13:30，需提前1小时以上预约,下午18:00以后的工艺需在下午17:00前预约.3.周日时间需在周六下午16:00前预约。安全知识水电气安全：水（漏水、渗水或水管破裂等）电（线路打火、短路或漏电等）气（泄漏、气压过低或过高等）迅速通知平台工作人员，由平台工作人员应急处理遇到火灾（1）呼救并按下紧急按钮（2）第一时间尝试灭火（3）无效后，立即撤退到危险区域外，报警，等待救援（4）要清楚消防器材的位置燃烧的三要素可燃物质（隔离法）、助燃物（窒息法）、燃点（冷却法）使用冷却法注意（1）碱金属不能用水扑灭：水与碱全属反应生成氢，易引起爆炸（2）用喷雾水扑救的物品：三酸（硫酸、硝酸、盐酸）、油（原

4、油、重油）、溶于水的可燃液体（乙二醇）灭火器（灭火器就俩，操作是一拔二压）二氧化碳灭火器（设备旁边）：不导电，无污损，适用于扑救电器等高价物品。缺点是不能扑灭金属钾、钠、镁、铝等物质的火灾，因为二氧化碳与以上物质发生化学反应。干粉灭火器（消防栓旁边）：灭火效率高、不导电、不腐蚀、毒性低、不溶化、不分解、可以长期保存，适用于扑救石油产品、油漆、有机溶剂和电器火灾。缺点是不能防止复燃。消防栓：紧急情况下可击碎玻璃门取出水带甩开水带后一端接水枪，一端连接消防栓技术要求是对准卡口，顺时旋转90度带子不够长度时，可另取一条按上述方法连接水管和水带的阀门是不同的防火棉无机清洗间的清洗台上有机清洗间的药品柜

5、上（无机、有机清洗间都有）用力拉扯黑色拉带，展开，覆盖燃烧液体排烟口开放装置当火灾产生很浓烟雾或有毒气体泄漏时，迅速按下所在区域的排烟口开放装置紧急逃生1.有毒气体、氢气泄漏、发生火灾，需要紧急逃生。2.除了1楼B逃生门内推，其他逃生楼全是外推 清洗间操作流程清洗间1.使用之后要保持整洁2.使用之后要关门1. 预约，并仔细阅读化学品安全技术说明书（MSDSCSDS）(共16项)一份关于危险化学品燃爆、毒性和环境危害以及安全使用、泄漏应急处置、主要理化参数、法律法规等方面信息的综合性文件。国际上称作化学品安全信息卡，简称MSDS或CSDS。2. 化学品和器皿准备常规化学品在清洗间已有，特殊化学品

6、需向平台管理员申请，公用器皿已在清洗间已有一些，额外的器皿需向平台管理员申请。3. 填写加工平台清洗台使用记录表开始时间4. 防护用品准备和穿戴手部防护：防护橡胶手套眼部防护：防护眼镜面部防护：防护面罩身体防护：围裙、护袖所有无机化药和有机中的三氯乙烯、四氯化碳、氯苯均需要穿戴完整防护，其余有机化药需要佩戴防护眼镜和手套5. 化学品操作（1）均须在通风柜内进行，使用后立即盖紧盖子（3）对于不明化学品，严禁任何操作，并通知平台工作人员（4）在使用8槽清洗机（需要考试）进行清洗样片时，必须使用指定的公共清洗器皿，按照平台清洗机的操作规程进行操作。未经平台规定的培训、未通过资格认证考试的人员不得擅自

7、使用和操作清洗设备（ 8槽清洗机和甩干机等）。（5）不可将氢氟酸放置在石英和玻璃类器皿中（6）在进行无机加热时需选择石英制品，并观察石英外观，有裂痕或破损不能使用 （7）工作姿势：上身应避免前倾至清洗槽上方，防止危险污染（8）在用而无人看管情况下而放置于公开、公共位置的任何溶液必须放置清晰明确的指示标志 （ 谁的 、 什么溶液 、 放多长时间 ）（9）原则上有机清洗需在有机清洗间进行，无机清洗、酸碱腐蚀在无机腐蚀间进行。严禁在同一排风柜同时进行有机和无机清洗（10）清洗操作时，要节约使用化药和无尘纸等耗材。新液化药只能用于清洗样品，严禁新液用于其他用途。要选用适合的器皿，不得用大的器皿清洗小的

8、样品。化药用量参考：液面盖过样品不要超过1CM。（11）处理无机废液时，要注意选择好相应的废液桶，倒废液之前加入5倍以上的去离子水稀释（浓硫酸除外），其中废液稀释的水包括原溶液中的水。（12）废浓硫酸桶中存放废液有：废浓硫酸占总体积大于50以上的废液；废纯浓硫酸。两者废液都不需要稀释，直接倒入废浓硫酸桶。如果废液中浓硫酸总体积比小于50，则需要加5倍以上去离子水稀释（废浓硫酸加入水）倒入废酸桶。PS：1. 超声机用完后关闭电源及盖子2. 化药高度不要超过样品1cm3. 倾倒废液时，面部倾斜离开废液桶口，防止废液倒错桶喷射出来，溅到面部6. 操作结束（1）废液必须按照要求和指示倒入相应的废液回收

9、桶，严禁直接倒入下水道内（2）所用化学药品归放原位（装有自行配制化学制剂的容器：必须有明确的标识及带可以旋紧的盖子，并放入相应药品柜内）（3）认真清洗使用过的器皿和工具，干燥后，拿走妥善保管（4）清洗台面并务必保持台面整洁干爽（5）所用个人防护用品使用完毕，必须冲洗干净避免化学药品残留在防护用品上，影响他人使用，使用完毕后放回原位（6）有机无机分开，酸碱分开，浓酸和稀酸分开的原则（7）HF和BOE一起回收和存放，丙酮、乙醇、异丙醇有机溶剂一起回收和存放（8）稀碱单独回收和存放（9）按照每个桶贴上标签或标识，倾倒和回收化学废液（10）桶盖不要拧紧7. 防护用品脱下8. 填写加工平台清洗台使用记录

10、表相关内容与结束时间并签名化学药品知识化学品侵入人体三途径：（1）皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟，就医（安全淋浴器）（2）眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，就医（洗眼装置 ）（3）吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅如呼吸困难，给输氧，如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医（3）食入：腐蚀性：用水漱口，不可催吐。就医非腐蚀性：饮足量温水，催吐。就医。（4）小量泄漏：用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统（5）遇到玻璃割伤时，必须先将伤口中的玻璃碎片全部取出，然后用酒精消毒，再用消毒棉和绷带包好，就医（6）如烧伤或高温烫伤，皮

11、肤起泡，可用医用酒精洗涤，再用消毒的纱布包好，切不可把泡弄破，就医。应急处理常识1. 遇到玻璃割伤时，必须先将伤口中的玻璃碎片全部取出，然后用酒精消毒，再用消毒棉和绷带包好，就医。2. 如烧伤或高温烫伤，皮肤起泡，可用医用酒精洗涤，再用消毒的纱布包好，切不可把泡弄破，就医。急救箱103室不锈钢货架的左边最底层急救箱主要用于紧急止血、消毒、包扎酸类腐蚀：氢氟酸、BOE：易挥发、强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤（1）皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用“六氟灵”冲洗（一分钟内），流水继续冲洗至少15分钟就医。（2）眼睛接触：立即提起眼睑，用“六氟灵”冲洗（一分钟内），流水继续冲洗至少15分钟。就医。（

12、3）吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。（4）食入：用水漱口，不可催吐。就医。（5）小量泄漏：用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。六氟灵在1楼有机、2楼无机清洗间都有其他酸类：皮肤接触：流水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触：流水冲洗至少15分钟。就医。吸入：空气新鲜处、输氧、人工呼吸。就医。小量泄漏：大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。（1）硝酸、硫酸、磷酸、盐酸、氢溴酸、甲酸、冰乙酸强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤用水漱口，不可催吐。就医。（2）草酸本品可燃，有毒，具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤尽快用清水洗胃。就医。（

13、3）柠檬酸本品可燃，具刺激性饮足量温水，催吐。就医碱类皮肤接触：流水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触：流水冲洗至少15分钟。就医。吸入：空气新鲜处、输氧、人工呼吸。就医。（1）氢氧化钾、氢氧化钠 氨水、 氨水、TMAH用水漱口，不可催吐。就医。（2）重铬酸钾本品助燃，强氧化剂，为致癌物，具强腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。食入：用水漱口，不可催吐。就医。（3）氟化氨有毒，具强刺激性、易分解食入：用水漱口，就医。（4）碘化钾有毒，还原剂食入：饮足量温水，催吐。就医。有机物皮肤接触：流水充分冲洗。就医。眼睛接触：流水充分冲洗。就医。吸入：空气新鲜处、输氧、人工呼吸。就医。小量泄漏：大量水冲洗，洗水稀

14、释后放入废水系统。（1）甲醇 乙醇 异丙醇本品易燃，具刺激性食入：饮足量温水，催吐。就医（2）丙酮本品极度易燃，易挥发，具刺激性 、有毒食入：饮足量温水，催吐。就医。（3）酯类、醚、烯类（乙酸正戊脂、丙二醇甲醚醋酸酯）（脂类性质一般都相同）低毒 、易燃食入：饮足量温水，催吐。就医。其他类皮肤接触：流水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触：流水冲洗至少15分钟。就医。吸入：空气新鲜处、输氧、人工呼吸。就医。小量泄漏：大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。（1）溴酸性腐蚀品，有毒，氧化剂食入：用水漱口，不可催吐。就医。（2）碘刺激性，有毒，可能灼伤食入：饮足量温水，催吐。就医。（3）双氧水本品助燃，具强

15、刺激性、爆炸性强氧化剂食入：饮足量温水，催吐。就医。回收时要求稀释后放至废碱桶常用小型设备快速退火炉温度范围：150-1300度冷却水：运行前一定要打开温度降到300度以下才能关闭温度曲线设定应有预热段：一般预热温度为200度，时间为100-150秒，这样可以延长灯的寿命和提高温度重复性。台阶仪禁止在探针扫描过程中接触操作台禁止在探针扫描过程中移动样品禁止在探针落下状态时更换样品膜厚仪膜厚仪是精密的光学部件构成, 外界的冲击或拆卸仪器都可能造成无法恢复的损伤，所以在使用和移动时需要格外小心用于调焦的标样要注意表面的保护光学轮廓仪样片要求：非金属膜层，非透明膜层，上下台面平整。1.保证所测样品的

16、清洁度,背面不要有油脂类/腐蚀类物质2.在放置样品的时候尽量放置在载片台中心位置,尽量避免使用镊子滑动样品,可通过拖动软件图形中的箭头,用步进电机来调整,避免划伤载片台面3.注意开关机的顺序,保证 硬件设备都打开后再开测试 软件4.在调整台面倾斜度的时候,注意观察镜头与样品的距离,防止样品划伤镜头5.如果短时间不使用设备请把设备光源强度调整到最暗6.PSI模式：粗糙度小于160nm7.VSI模式：粗糙度大于160nm，最高达1mm.数码显微镜1.不能让镜头与样品或者载物台接触2.未使用的光纤头必须罩上保护帽3.光纤头与计算机连接时要小心，以免损坏4.摄像头更换要小心，卡口对准，以免损坏5.高倍显微镜未使用时必须用 保护盖保护镜头6.未使用的显微镜，必须用保护盖保护摄像头与显微镜的连接处7.暂不使用或使用结束后，必须将灯光调到最暗，以延长灯的使用寿命，然后关机莱卡金相显微镜1.不能让镜头与样品或者载物台接触，旋转改变镜头时，切不可把着镜头旋转，而应旋转整个卡盘2.调节样品台高度时，必须用手扶好整个载台3.暂不使用或使用结束后，必须将灯光调到最暗