少子寿命原理

1、少子寿命检测设备结构原理及维护要点少子寿命设备的应用对于太阳能工业而言，少子寿命是一个非常重要的指标，它表征了硅料内 部缺陷的多少，当然也就直接指出了太阳能电池品质的好坏。由于电池制造过程 又是不可逆的，那么在电池工艺之前就了解其品质是极其重要的，少子寿命测量 就为此提供了非常直观可靠的依据。其应用也很广泛，多晶铸锭去头尾、单晶硅棒截头尾、硅片少子寿命测量 等，无论是半导体还是太阳能领域，它都是必备的检测设备。少子寿命设备构成既然是微波+脉冲激光，那必然就有微波模块、激光模块，对应的微波控制 器和激光控制器，然后还有数据采集卡和接口电路。而针对扫描式设备而言，就必然有电机、电机驱动电路和控制电

2、路（电机 卡）、导轨滑块、皮带齿轮、限位开关等等，整体构成了运动系统以支持设备带 着测量头进行扫描操作。少子寿命原理硅材料少数载流子的寿命检测，是一个综合过程，包含激发载流子、微波 信号反馈、数据采集及处理、电机系统管理、软件操作等。其基本原理是通过一定波长并具有一定功率的脉冲激光，照射到硅材料表 面，由于光生伏特效应，硅料内部会产生大量少数载流子，这些载流子在激光撤 掉后趋于消失，而这个过程需要一定的时间，我们将这段时间叫做少数载流子寿 命，也叫做弛豫时间常数（见半导体工艺一书）。那么如何测量少子寿命呢？那就用到了微波，一定波长的微波具有穿透绝 缘体而被导体反射的特性，因此在激光照射硅材料及

3、撤掉激光的这个过程中，硅 材料从近似绝缘体变成了近似导体，再由近似导体变成了近似绝缘体，而照在其 上的微波也由于硅料的这种变化，呈现出震荡，如图：由上图可见，受激光激发后载流子数量激增，因而反射回来的微波能量也 响应增大，随着激光脉冲关闭，反射微波能量也随着降低，载流子数量趋于平衡 态。将这个振荡信号采集到电脑中，通过数据处理从而得到清晰、平滑的曲线， 就是我们看到的少子寿命曲线了。而扫描式少子寿命测试仪的每个扫描点，都是 这样的一个曲线组成的，然后取平均值后，再用相应色标进行画点操作，形成如 下图的图像：P同的颜色代表不的数值，也就是不同的微波功率。11IIIII少子寿命的日常维护少子寿命分

4、开放式和封闭式两种，对于开放式少子寿命设备，主要是轻拿 轻放，并将硅锭严格放到右下角，如果不对齐的话，很可能造成标尺不准确。对于封闭式的设备，要小心不能碰到机器外壳边缘，否则极易造成崩边。另外，需要定期对设备内部进行清理，设备由于长期使用会在设备里面造 成各种杂志、螺丝等，需要定期进行清理，否则的话导致设备里面造成污染，对 高度测量、微波反馈造成影响，从而影响准确性。针对AutoSetting而言，由于硅锭的电阻率分布并不均匀，并且同一个炉 子出来的不同锭其电阻率差别也比较大，如果采用固定频率的微波进行扫描，结 果差别可能会比较大，因此就需要在硅锭的某一点上设定微波频率，然后用这个 固定的微波频率来扫描响应的硅锭，这里我们是做了一个假设，即针对某一个硅 锭而言，其电阻率分布是均匀的。这样就有了一个问题，即针对某一点电阻率的微波设定，其反馈的微波功 率是最强的，而针对其他点，微波反馈强度会有变化，因此以偏概全的对整个